技术总结
本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。该物料传送装置，包括：移动底座用于承载物料；物料存放位组件设置在导轨组件的一侧，用于承载移动底座；物料移动机构，设置在导轨组件上，可沿导轨组件移动，第一牵引组件用于将移动底座从物料存放位组件移动到物料移动机构上，还用于将移动底座从物料移动机构移回物料存放位组件上；物料取放位组件设置在导轨组件的另一侧，用于承载移动底座，第二牵引组件用于将移动底座从物料移动机构移动到物料取放位组件上，还用于将移动底座从物料取放位组件移回物料移动机构上。本申请实施例实现了大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间且提高了工作效率。
技术研发人员：林欣家;赵曾男
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2019.10.28
技术公布日：2020.02.04