一种石墨托盘快速移栽的机构的制作方法

本发明涉及光伏生产技术领域，特别涉及一种石墨托盘快速移栽的机构。

背景技术：

现有的晶片载具石墨托盘的传送方式主要是同步带传送，这种传送方式会导致托盘和同步带之间摩擦一方面导致托盘表面损伤，另外一方面产生粉尘，对实际生产中的真空腔体产生影响，最终会导致产品质量下降。

现有的生产技术中石墨托盘在真空腔室内温度很高达到150°左右，此时需要取放托盘，传统的同步带传送方式结构较大，而且很难在如此高温下工作，同时同步带传送的方式会与托盘摩擦产生粉尘，污染真空腔体内的环境。

技术实现要素：

本发明的主要目的是提出一种石墨托盘快速移栽的机构，通过采用不锈钢大叉臂，托起石墨托盘再有第一、第二电机驱动使得大叉臂进行横向移动实现插臂和顶升电缸配合进行石墨托盘快速移栽出真空腔；通过大叉臂托起托盘整体横移，避免了由于摩擦产生的粉尘，同时不锈钢大叉臂能够耐高温使用寿命更长，伺服驱动也可以提供更高的运动速度；解决了目前现有技术中存在的托盘和同步带之间摩擦一方面导致托盘表面损伤，另外一方面产生粉尘，污染真空腔体内的环境等问题。

为实现上述目的，本发明提出的一种石墨托盘快速移栽的机构，包括大叉臂和移栽安装台，大叉臂包括底板、顶板、垫板、极限硬挡安装块、滑块、吸盘、顶升电缸、第一电机、浮动接头、安装铝轨、插臂、侧支撑板、第一检知钣金、第二检知钣金、拖链滑轨；底板两端上通过螺钉安装有侧支撑板，侧支撑板的前后端面上设置有安装铝轨，顶板底部两端通过第一检知钣金安装在侧支撑板的安装铝轨上，顶板顶部两端上通过垫板安装设置有极限硬挡安装块，极限硬挡安装块上安装设置有插臂，插臂的另一端上表面上设置有若干个吸盘，移栽安装台的两侧上安装设置有内滑台和外滑台，底板底部通过螺钉安装设置有滑块，底板通过滑块滑动设置在内滑台上，移栽安装台的两端上通过安装座安装设置有同步带主动轴座和同步带从动轴座，同步带主动轴座和同步带从动轴座上设置有同步带，同步带主动轴座上还驱动安装设置有第二电机，底板底部上安装设置有同步带连接板，同步带连接板底端固接同步带压板，同步带压板与同步带一端上固接，底板底部还通过电机安装块安装设置有第一电机，第一电机驱动端通过联轴器驱动连接有拖链转轴，拖链转轴通过销安装设置有拖链，拖链另一端固接有拖链钣金，拖链钣金设置在拖链滑轨内。

可选地，所述底板上安装设置有顶升电缸，顶升电缸顶端安装设置有浮动接头，顶板上开设有供浮动接头升降的通槽。

可选地，还包括控制器，控制器型号为ky02s；第一电机、第二电机和顶升电缸分别与控制电性连接。

可选地，所述插臂设置有两条，每条插臂上均间隔设置有3个吸盘。

可选地，所述外滑台上设置有若干个滑座。

可选地，所述移栽台底部安装设置有安装板。

可选地，所述底板通过第二电机驱动同步带经滑块在移栽台的内滑台上进行左右移动。

可选地，所述底板通过第一电机驱动拖链经拖链钣金在拖链滑轨内进行左右移动。

可选地，所述浮动接头通过顶升电缸进行上下移动。

本发明技术方案通过采用不锈钢大叉臂，托起石墨托盘再有第一、第二电机驱动使得大叉臂进行横向移动实现插臂和顶升电缸配合进行石墨托盘快速移栽出真空腔；通过大叉臂托起托盘整体横移，避免了由于摩擦产生的粉尘，同时不锈钢大叉臂能够耐高温使用寿命更长，伺服驱动也可以提供更高的运动速度。

本发明通过控制器控制第二电机启动驱动同步带进行传动，带动大叉臂的底板1随着同步带传动经滑块在移栽台的内滑台上进行左右横向移动；安装在顶板上的插臂插入真空腔体中，顶升电缸驱动浮动接头托起石墨托盘后，插臂上的若干个吸盘吸住石墨托盘底部，托取石墨托盘的插臂在大叉臂通过第二电机驱动同步带经滑块在移栽台的内滑台上进行横向移动，退出腔体取出石墨托盘；

同时为了在大叉臂底板底部安装第一电机驱动拖链经拖链钣金在安装在移栽台上的拖链滑轨内进行横向移动；可以提供更高的运动速度，达到插臂横向移动的动力效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明一种石墨托盘快速移栽的机构的结构示意图；

图2为本发明一种石墨托盘快速移栽的机构中大叉臂的结构示意图；

图3为本发明一种石墨托盘快速移栽的机构中大叉臂底板与同步带连接的结构示意图。

图中：1、底板；2、顶板；3、移栽安装台；4、；5、；6、垫板；7、极限硬挡安装块；8、滑块；9、吸盘；10、顶升电缸；11、拖链；12、第一电机；13、浮动接头；14、同步带连接板；15、同步带压板；16、安装铝轨；17、插臂；18、侧支撑板；19、拖链钣金；20、第一检知钣金；21、第二检知钣金；22、拖链滑轨；31、内滑台；32、外滑台；33、同步带主动轴座；34、第二电机；35、同步带从动轴座；36、同步带；37、安装板；38、滑座。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

如图1-3所示，本发明提出一种石墨托盘快速移栽的机构，包括大叉臂和移栽安装台3，大叉臂包括底板1、顶板2、垫板6、极限硬挡安装块7、滑块8、吸盘9、顶升电缸10、第一电机12、浮动接头13、安装铝轨16、插臂17、侧支撑板18、第一检知钣金20、第二检知钣金21、拖链滑轨22；底板1两端上通过螺钉安装有侧支撑板18，侧支撑板18的前后端面上设置有安装铝轨16，顶板2底部两端通过第一检知钣金20安装在侧支撑板18的安装铝轨16上，顶板2顶部两端上通过垫板6安装设置有极限硬挡安装块7，极限硬挡安装块7上安装设置有插臂17，插臂17的另一端上表面上设置有若干个吸盘9，移栽安装台3的两侧上安装设置有内滑台31和外滑台32，底板1底部通过螺钉安装设置有滑块8，底板1通过滑块8滑动设置在内滑台31上，移栽安装台3的两端上通过安装座安装设置有同步带主动轴座33和同步带从动轴座35，同步带主动轴座33和同步带从动轴座35上设置有同步带36，同步带主动轴座33上还驱动安装设置有第二电机34，底板1底部上安装设置有同步带连接板14，同步带连接板14底端固接同步带压板15，同步带压板15与同步带36一端上固接，底板1底部还通过电机安装块5安装设置有第一电机12，第一电机12驱动端通过联轴器驱动连接有拖链转轴，拖链转轴通过销安装设置有拖链11，拖链11另一端固接有拖链钣金19，拖链钣金19设置在拖链滑轨22内，拖链滑轨22通过支架安装在移栽台3上。

具体的，还所述底板1上安装设置有顶升电缸10，顶升电缸10顶端安装设置有浮动接头13，顶板2上开设有供浮动接头13升降的通槽。

具体的，还包括控制器，控制器型号为ky02s；第一电机12、第二电机34和顶升电缸10分别与控制电性连接。

具体的，所述插臂17设置有两条，每条插臂17上均间隔设置有3个吸盘19。

具体的，所述外滑台32上设置有若干个滑座38。

具体的，所述移栽台3底部安装设置有安装板37。

具体的，所述底板1通过第二电机34驱动同步带36经滑块8在移栽台3的内滑台31上进行左右移动。

具体的，所述底板1通过第一电机12驱动拖链11经拖链钣金19在拖链滑轨22内进行左右移动。

具体的，所述浮动接头13通过顶升电缸10进行上下移动。

本发明的工作原理及使用流程：本发明在使用时，工作人员将移栽台3通过安装板37安装在石墨托盘需要移栽的地方；然后大叉臂的底板1底部通过滑块8滑动设置在移栽台3上内滑台31上；

通过控制器控制第二电机34启动驱动同步带36进行传动，带动大叉臂的底板1随着同步带36传动而进行运动，并且大叉臂的底板1通过第二电机34驱动同步带36经滑块8在移栽台3的内滑台31上进行左右横向移动；大叉臂在横向移动过程中，安装在顶板2上的插臂17插入真空腔体中，插臂17插在石墨托盘的下方，然后控制器控制顶升电缸10驱动浮动接头13穿过顶板2的通槽，直至托起石墨托盘后，插臂17上的若干个吸盘19吸住石墨托盘底部，然后托取石墨托盘的插臂17在大叉臂底板1通过第二电机34驱动同步带36经滑块8在移栽台3的内滑台31上进行横向移动，退出腔体取出石墨托盘；

同时为了在大叉臂底板1底部安装第一电机12驱动拖链11经拖链钣金19在安装在移栽台3上的拖链滑轨22内进行横向移动；可以提供更高的运动速度，达到插臂17横向移动的动力效果。

本发明技术方案通过采用不锈钢大叉臂，托起石墨托盘再有第一、第二电机驱动使得大叉臂进行横向移动实现插臂和顶升电缸配合进行石墨托盘快速移栽出真空腔；通过大叉臂托起托盘整体横移，避免了由于摩擦产生的粉尘，同时不锈钢大叉臂能够耐高温使用寿命更长，伺服驱动也可以提供更高的运动速度。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。