图3示出储料器单元12的详细结构。货架16的后端部朝向铅直上方折弯从而构成铅直板24，此处安装有控制部26、流量计36以及阀38。每个货架16的分支管路34通过接头32与清洗管路18连接，通过负载传感器22的信号，控制部26打开阀38，通过流量计36监视分支管路34的流量从而向阀38反馈，使恒定流量的洁净气体在分支管路34中流动。分支管路34通过接头39分为两股，并且从喷嘴19、19经由F0UP44的气体导入孔将洁净气体向F0UP44内导入。此外，45是F0UP44的盖，46是用于供桥式吊车把持的把手。从喷嘴20排出的氮气经由排气管47、以及由与柱14大致平行的配管构成的排气管路48被回收。另外，42是用于将货架10安装于柱8的安装部件。
[0038]柱8对应于技术方案的第一柱，柱14对应于第二柱，柱8是储料器2的框架的主要部分。柱14的前端与柱8的后端之间的空间特别是F0UP44的后端与柱8的后端之间的空间容易成为空的空间。因此，在该空间收容清洗管路18、控制部26、流量计36、阀38等。柱14、14被配置于柱8、8的斜前方，柱14、14的间隔比柱8、8的间隔窄。而且，通过L字部件28与紧固部件30将柱14紧固于柱8。另外，F0UP44的后侧进行俯视观察时形成为越向后端端部越细的形状，即形成为水平方向的宽度变窄的形状。例如在俯视观察下可以为圆弧状，也可以为将左右两侧以倒角状切口的形状。由于这种形状，所以能够将柱14设置于不会与F0UP44发生干扰的位置。此外，可以如图2中点划线29所示那样将L字部件配置于柱14的后端侧，另外也可以如在图2的下部放大所示那样例如使用十字状的安装片31。能够根据储料器的结构等进行适当的设计变更。
[0039]储料器单元12的水平方向的宽度与货架10的宽度大致相同，能够在架4的柱8、8间设置储料器单元12。因此，例如能够通过将储料器单元12装入不具备清洗功能的现有的储料器来追加清洗功能。另外，能够在储料器2设置具备清洗功能的货架16与不具备清洗功能的货架10，并且能够将货架10拆下由储料器单元12替换或者反过来将储料器单元12拆下由货架10替换。
[0040]虽然在储料器单元12中，将多个货架16沿上下排列，但是也可以沿水平排列。在该情况下，取代柱14、14，例如将一对梁以沿铅直方向重叠的方式设置，从而将梁安装于储料器的框架的梁等。而且，在一对水平梁安装铅直板24的上下。在该情况下，货架10沿梁的长边方向排列有多个。
[0041]洁净气体向清洗管路18的供给通过被设置于工厂内的管线来进行。此外，也可以使用可搬式的液化气瓶等。在该情况下，向清洗管路18供给洁净气体的液化气瓶等被配置于储料器单元12的最下部等适当的位置。另外，储料器单元12作为相对于储料器2独立的个体来制造，并且利用柱8、8被安装于储料器2。
[0042]在实施例中，能够获得以下效果。
[0043]I)能够将不具备清洗功能的现有的储料器简单地进行改造，从而能够使其成为具备清洗功能的储料器2。
[0044]2)在储料器2中，能够以任意比例配置具备清洗功能的货架16与不具备清洗功能的货架10。
[0045]3)通过将柱14、14的间隔形成为比柱8、8的间隔窄，能够使用L字部件28简单地将储料器单元12装入储料器2。
[0046]4)能够在F0UP44的后端侧的空的空间配置管18、控制部26、流量计36、阀38等。
[0047]附图标记的说明:
[0048]2…储料器；4…架；6…搬运装置用空间;8、14…柱;10、16…货架;12…储料器单元；18…清洗管路；19、20…喷嘴；22…负载传感器；24…铅直板；26...控制部；28...?字部件；30…紧固部件；32、39…接头；34…分支管路;36…流量计;38…阀;40、42…安装部件；44…FOUP ;46…把手；47…排气管；48…排气管路。
【主权项】
1.一种具有清洗功能的储料器，其特征在于， 其具备框架以及储料器单元，其中，所述框架能够将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架，沿上下方向或者水平方向安装有多个， 所述储料器单元具备: 基体，其具有柱或者梁，并且被安装于所述框架； 沿所述基体被设置的洁净气体的供给用的管；以及 多个带清洗功能货架， 所述带清洗功能货架被安装于所述基体，沿上下方向或者水平方向排列，自如地支承容器，并且具备从所述管将洁净气体供给至容器的喷嘴。
2.根据权利要求1所述的具备清洗功能的储料器，其特征在于， 所述框架在容器的收容空间后端具备至少一对第一柱， 所述基体具备容器的收容空间后端的至少一对第二柱， 所述第二柱的间隔比所述第一柱的间隔窄，并且从容器的收容空间前方观察，所述第二柱位于所述第一柱的斜前方，并被安装于所述第一柱。
3.根据权利要求2所述的具备清洗功能的储料器，其特征在于， 所述带清洗功能货架还具备从所述管将洁净气体向所述喷嘴供给的分支管路、以及控制分支管路中的洁净气体的流量的阀， 所述管与所述阀从容器的收容空间前方观察，位于比所述第二柱的前端靠近后侧，并且被设置于比所述第一柱的后端靠近前侧。
4.根据权利要求2或3所述的具备清洗功能的储料器，其特征在于， 在所述框架中，不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架被安装有多个，并且在所述框架中安装有所述储料器单元。
5.—种储料器单元，其特征在于，具备: 基体，其具有柱或者梁，并且被自如地安装于储料器的框架； 沿所述基体被设置的洁净气体的供给用的管；以及 被安装于所述基体，并且沿上下方向或者水平方向排列的多个带清洗功能货架， 所述货架自如地支承容器，并且具备从所述管将洁净气体供给至容器的喷嘴。
6.一种向容器供给洁净气体的方法，其特征在于， 相对于具有将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架，沿上下方向或者水平方向自如地安装有多个的框架的储料器，执行如下步骤: 通过将基体安装于所述框架，从而将具备具有柱或者梁的所述基体、沿所述基体设置的洁净气体的供给用的管、以及沿上下方向或者水平方向被安装于所述基体并且具备从所述管供给洁净气体的喷嘴的多个带清洗功能货架的储料器单元安装于所述储料器的步骤；以及 从所述喷嘴将洁净气体供给至被支承于所述货架的容器的步骤。
【专利摘要】本发明涉及具备清洗功能的储料器、储料器单元以及向储料器内的容器供给洁净气体的方法。本发明提供具备清洗功能的区域与不具备清洗功能的区域能够共存并且能够容易地将不具备清洗功能的区域变更为具备清洗功能的区域的储料器。在能够沿上下方向或者水平方向将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架安装有多个的储料器的框架中，安装有储料器单元的基体。储料器单元具备沿基体设置的洁净气体的供给用的管、以及被安装于基体并且沿上下方向或者水平方向排列的多个带清洗功能货架，货架自如地支承容器，并且具备从管将洁净气体供给至容器的喷嘴。
【IPC分类】B65G1-00, B65G1-14, H01L21-673
【公开号】CN104603032
【申请号】CN201380043277
【发明人】村田正直, 山路孝
【申请人】村田机械株式会社
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2013年6月21日
【公告号】EP2889235A1, US20150202664, WO2014030421A1