自动插片机的晶片盒夹持装置的制造方法

文档序号:10276427阅读:247来源:国知局
自动插片机的晶片盒夹持装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶棒切片辅助设备技术领域,具体涉及一种自动插片机的晶片盒夹持装置。
【背景技术】
[0002]目前,在晶棒通过切片机切成硅晶片之后,需要对硅晶片进行清洗,清洗后通过自动插片机将清洗后的硅晶片插入到晶片盒中,以便进行下一步的烘干处理。在通过自动插片机插片的过程中,通过夹持装置夹持晶片盒并移动至插片位置,再通过自动送片装置将硅晶片插入晶片盒内。现有自动插片机的夹持装置中大都采用气动装置作为动力来源,气动装置固定的牢靠性会对夹持装置的运作产生直接影响,现有夹持装置中大都存在气动装置安装牢固性较差及安装操作繁琐的问题亟待解决。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种晶片盒夹持装置,能够将气动装置牢靠的固定在安装架上。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型提出一种自动插片机的晶片盒夹持装置,包括安装架和左右对称安装在安装架上的气动装置,所述气动装置的气缸杆端部固定有适于夹持晶片盒的夹板,所述安装架的上表面为平面,该平面上左右两端分别设有用于安装两个气动装置的安装区,两安装区之间设有让位区,所述安装区上设有沿左右方向设置的燕尾凸台或/和燕尾槽,所述气动装置上设有适于与所述燕尾凸台或/和燕尾槽配合的燕尾槽或/和燕尾凸台,所述安装架上设有用于对所述的各气动装置轴向定位的定位结构。
[0005]作为改进,定位结构包括设于所述安装区的外侧端的定位板,所述定位板通过至少一根螺栓与气动装置连接。
[0006]作为改进,定位结构还包括成型于所述安装区的安装槽、设于所述安装槽内的限位件和设于所述安装槽内为所述限位件提供向上弹力的弹簧,所述限位件靠近让位区的一侧为斜面,远离让位区的一侧为阻挡面,所述气动装置安装到位时所述限位件的所述阻挡面抵在所述气动装置的后端。
[0007]作为改进,定位板内侧面上成型有定位凹槽或定位凸台,所述气动装置的前端面上成型有适于与所述定位凹槽或定位凸台配合的定位凸台或定位凹槽。
[0008]作为改进,定位凹槽和所述定位凸台为相匹配的环状或矩形块状。
[0009]采用上述结构后,与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
[0010]1、在气动装置安装时,先将气动装置置于让位区内,将气动装置上燕尾凸台或者燕尾槽与安装区的燕尾凸台或燕尾槽对准后,推动气动装置使燕尾槽与对应的燕尾凸台形成配合,在气动装置移动到固定位置时通过所述定位结构对气动装置进行轴向定位,从而将气动装置固定在安装架的安装区内,这样就能够将气动装置便捷且牢靠的固定在安装架上。
[0011]2、通过燕尾槽和对应的燕尾凸台配合后,实现了气动装置在除其轴向以外的其它方向上的定位,只需要使用螺栓(最少可使用一根螺栓)将定位板与气动装置固定,即可实现轴向定位,进一步为了加强轴向定位效果,在气动装置后端设置了限位件,在气动装置安装到位时,通过限位件的阻挡面抵住气动装置的后端,从而有效确保气动装置固定的牢靠性,并且结构简化合理,气动装置拆装便捷。
[0012]3、进一步,在定位板的内侧与气动装置的前端分别设置相配的环状定位凹槽或定位凸台,进行辅助定位,增加气动装置与定位板之间的定位可靠性。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一种自动插片机的晶片盒夹持装置的结构示意图。
[0014]图2为本实用新型一种自动插片机的晶片盒夹持装置安装架的结构示意图。
[0015]图3为本实用新型一种自动插片机的晶片盒夹持装置的气动装置的结构示意图。
[0016]图4为本实用新型一种自动插片机的晶片盒夹持装置的限位件的结构示意图。
[0017]图中所示,1、气动装置,2、安装架,3、夹板,4、燕尾凸台,5、燕尾槽,6、定位板,7、安装区,8、让位区,9、限位件,10、弹簧,11、定位凹槽,12、定位凸台,13、斜面,14、通孔,15、螺栓。
【具体实施方式】
[0018]下面对本实用新型作进一步详细的说明:
[0019]本实用新型一种自动插片机的晶片盒夹持装置,如图1所示,其包括安装架2和左右对称安装在安装架2上的气动装置I,所述气动装置I的气缸杆端部固定有适于夹持晶片盒的夹板3,安装架2的上表面为平面,该平面上左右两端分别设有用于安装两个气动装置I的安装区7,两安装区7之间设有让位区8,所述安装区7上设有沿左右方向(即气动装置轴线方向)设置的燕尾凸台4或/和燕尾槽5,所述气动装置I上设有适于与所述燕尾凸台4或/和燕尾槽5配合的燕尾槽5或/和燕尾凸台4,所述安装架2上设有用于对所述的各气动装置I轴向定位的定位结构。采用上述结构,在气动装置I安装时,推动气动装置I使燕尾槽5与对应的燕尾凸台4形成配合,在气动装置I移动到固定位置时通过所述定位结构对气动装置I进行轴向定位,从而使气动装置I可靠的固定在安装架2的安装区7内,这样就能够将气动装置I便捷且牢靠的固定在安装架2上。实践操作中,所述燕尾槽5可设置在所述安装区7与所述气动装置I中的一个上,将对应的燕尾凸台4设置在所述安装区7与所述气动装置I中的另一个上,当然,也可在所述气动装置I上同时设置燕尾槽5和燕尾凸台4,并在安装区7设置与之对应的燕尾凸台4和燕尾槽5。
[0020]所述定位结构包括设于所述安装区7的外侧端的定位板6,所述定位板6通过至少一根螺栓15与气动装置I连接,在通过燕尾槽5和对应的燕尾凸台4配合后,实现了气动装置I在除轴向以外的其它方向上的定位,这样只需要使用螺栓15(最少可使用一根螺栓15)将定位板6与气动装置I固定,即可实现轴向定位;进一步为了加强轴向定位效果,在气动装置I后端设置了限位件9,在气动装置I安装到位时,通过限位件9的阻挡面抵住气动装置I的后端,从而有效确保气动装置I固定的牢靠性,并且结构简化合理,气动装置拆装便捷,所述限位件9靠近让位区8的一侧为斜面13,远离让位区8的一侧为阻挡面,所述阻挡面与所述安装区表面垂直,所述气动装置I安装到位时所述限位件9的所述阻挡面抵在所述气动装置I的后端,在气动装置I安装时,限位件9通过斜面13受力,压缩所述弹簧10,在气动装置I安装到位后,弹簧10产生向上的复位弹力使限位件9弹起,阻挡面抵住气动装置I的后端,进一步有效的限制了气动装置I的轴向运动方向,拆卸气动装置I时,先拆除螺栓15,再通过手指或工具将限位件9向下按压,至安装槽内,然后推动气动装置I沿左右方向移动至让位区8内即可完成气动装置I的拆卸,在拆换气动装置I时操作尤为便捷。
[0021]更进一步,定位板6内侧面上成型有定位凹槽11或定位凸台12,所述气动装置I的前端面上成型有适于与所述定位凹槽11或定位凸台12配合的定位凸台12或定位凹槽11,通过在定位板6内侧和气动装置I前端设置定位凹槽11或定位凸台12,使其在完成安装后,定位凹槽11和定位凸台12配合,用于进一步限制气动装置I轴向的移动,同时提高了安装时的精度和安装完成后定位的牢固和可靠性。本实施例中的所述定位凹槽11和所述定位凸台12为相匹配的环状,实践操作中,所述定位凹槽11和所述定位凸台12也可加工成相匹配的矩形块状。
[0022]本实施例中的气动装置I优选双杆气缸,双杆气缸的气缸杆穿过定位板6上的通孔14后连接夹板3,两夹板3可在气缸杆的带动下相离或相向移动。
[0023]本实施例中,所述夹板3的下端还具有和晶片盒上对应凹槽配合的凸条,从而提高夹持晶片盒时的可罪性及稳定性。
[0024]以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式,故凡依本专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均包括于本实用新型专利申请范围内。
【主权项】
1.一种自动插片机的晶片盒夹持装置,包括安装架(2)和左右对称安装在安装架(2)上的气动装置(I),所述气动装置(I)的气缸杆端部固定有适于夹持晶片盒的夹板(3),其特征在于,所述安装架(2)的上表面为平面,该平面上左右两端分别设有用于安装两个气动装置(I)的安装区(7),两安装区(7)之间设有让位区(8),所述安装区(7)上设有沿左右方向设置的燕尾凸台(4)或/和燕尾槽(5),所述气动装置(I)上设有适于与所述燕尾凸台(4)或/和燕尾槽(5)配合的燕尾槽(5)或/和燕尾凸台(4),所述安装架(2)上设有用于对所述的各气动装置(I)轴向定位的定位结构。2.根据权利要求1所述的自动插片机的晶片盒夹持装置,其特征在于,所述定位结构包括设于所述安装区(7)的外侧端的定位板(6),所述定位板(6)通过至少一根螺栓(15)与气动装置(I)连接。3.根据权利要求2所述的自动插片机的晶片盒夹持装置,其特征在于,所述定位结构还包括成型于所述安装区(7)的安装槽、设于所述安装槽内的限位件(9)和设于所述安装槽内为所述限位件(9)提供向上弹力的弹簧(10),所述限位件(9)靠近让位区(8)的一侧为斜面(13),远离让位区(8)的一侧为阻挡面,所述气动装置(I)安装到位时所述限位件(9)的所述阻挡面抵在所述气动装置(I)的后端。4.根据权利要求2或3所述的自动插片机的晶片盒夹持装置,其特征在于,所述定位板(6)内侧面上成型有定位凹槽或定位凸台,所述气动装置(I)的前端面上成型有适于与所述定位凹槽或定位凸台配合的定位凸台或定位凹槽。5.根据权利要求4所述的自动插片机的晶片盒夹持装置,其特征在于,所述定位凹槽(II)和所述定位凸台(12)为相匹配的环状或块状。
【专利摘要】本实用新型提出一种自动插片机的晶片盒夹持装置,包括安装架和安装在安装架上的气动装置,气动装置的气缸杆端部固定有夹板,安装架上设有安装区,两安装区之间设有让位区,安装区上设有燕尾凸台或/和燕尾槽,气动装置上设有适于与燕尾凸台或/和燕尾槽配合的燕尾槽或/和燕尾凸台,安装架上设有定位结构。本实用新型的气动装置安装时,先将气动装置置于让位区内,将其上燕尾凸台或者燕尾槽与安装区的燕尾凸台或燕尾槽对准后,推动气动装置使燕尾槽与对应的燕尾凸台形成配合,在气动装置移动到固定位置时通过定位结构对气动装置进行轴向定位,这样就能够将气动装置便捷且牢靠的固定在安装架上。
【IPC分类】B65G49/07, B65G47/90
【公开号】CN205187337
【申请号】CN201521014153
【发明人】蒋军
【申请人】海宁光泰太阳能工业有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年12月9日
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