专利名称：真空炉电极散热结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空炉的电极散热结构，属于真空炉技术领域。
背景技术：
真空炉是一种在真空环境中进行加热的设备，其真空室通过真空泵抽成真空。真 空炉的一般结构如图1所示，真空室1用管道与真空泵系统联接，变压器4的次极(变压器 4变压后的输出电压为5V)两端分别通过连接板5与两个电极2连接，两个电极2与真空 室1内的石墨加热床连接，工件放在石墨加热床上加热。由于加热过程中电极2的温度达 到100—20(TC ，产生大量的热，使铜制电极2受热伸长，因为连接板5是刚性的，铜制电极2 只能向上伸长，容易造成电极2与真空室1连接处的密封装置6损坏，致使真空室1内的真 空度下降，真空炉随之失去应有的性能。因此，真空炉都设有为电极2散热的装置。目前， 真空炉上电极2的散热装置是在电极2的外侧缠绕有螺旋状冷却管3，冷水由冷却管3的一 端进入，由另一端流出，通过间接热传导将电极2产生的热量由冷水带走，达到电极2散热 的目的。但是这种方式，由于是间接传导散热，散热效果差，速度慢，而且结构复杂，成本高。
发明内容本实用新型针对现有真空炉电极散热技术存在的不足，提供一种结构简单、散热 效果好的真空炉电极散热结构。 本实用新型的真空炉电极散热结构采用下述技术方案 该真空炉电极散热结构是将真空炉的电极钻有一个盲孔，在该盲孔的开口处连接 有堵头，堵头上设有与盲孔连通的进水管和出水管。 由进水管向盲孔内通入冷水，冷水与电极直接热交换后由出水管排出。 本实用新型直接在电极上制作散热结构，省去了电极外侧的螺旋状冷却管，简化
了结构，降低了成本，同时冷水与电极直接接触热交换，提高了散热效率。
图1是现有真空炉的结构示意图。
图2是本实用新型真空炉电极散热结构的示意图。 图中1、真空室，2、电极，3、冷却管，4、变压器，5、连接板，6、密封装置，7、堵头，8、 进水管，9、出水管，10、盲孔。
具体实施方式如图2所示，本实用新型的真空炉电极散热结构是将真空炉的电极2沿轴线钻一 个深至底部的盲孔IO，在该盲孔10的开口处通过螺纹连接有一个堵头7，堵头7上设有与 盲孔10连通的进水管8和出水管9，出水管9长至盲孔10的底部，进水管8较短。 由进水管8向盲孔10内通入冷水，冷水与电极2直接热交换后由出水管9排出。由于冷水与电极2直接接触，提高了散热效率。由于电极2的电压为5V低压，所以电极2 内通入水后不会带来安全隐患。
权利要求一种真空炉电极散热结构，其特征是真空炉的电极钻有一个盲孔，在该盲孔的开口处连接有堵头，堵头上设有与盲孔连通的进水管和出水管。
专利摘要本实用新型提供了一种真空炉电极散热结构。该真空炉电极散热结构是将真空炉的电极钻一个深至底部的盲孔，在该盲孔的开口处连接有堵头，堵头上设有与盲孔连通的进水管和出水管。由进水管向盲孔内通入冷水，冷水与电极直接热交换后由出水管排出。本实用新型直接在电极上制作散热结构，省去了电极外侧的螺旋状冷却管，简化了结构，降低了成本，同时冷水与电极直接接触热交换，提高了散热效率。
文档编号F27D9/00GK201528432SQ200920252568
公开日2010年7月14日 申请日期2009年11月12日 优先权日2009年11月12日
发明者张立基, 赵仕庆, 马玉水 申请人:山东高唐杰盛半导体科技有限公司