1.一种烘干装置，其特征在于，包括：
槽体(1)，所述槽体(1)具有容纳待烘干硅片的容纳腔；
至少一个中空板(2)，所述中空板(2)设置于所述槽体(1)内底部并能够与所述槽体(1)外部的风机连通，且所述中空板(2)上设有多个与其内部连通的喇叭状出风结构(21)；
多个支架(3)，各所述支架(3)设置于所述中空板(2)的出风面上，所述用于支撑花篮，所述花篮用于放置待烘干的硅片，且所述支架(3)的高度高于所述出风结构(21)的高度。
2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述中空板(2)内设有加热空气的加热件。
3.根据权利要求1或2所述的烘干装置，其特征在于，所述中空板(2)连接有与其内部连通的连接管(4)，所述连接管(4)穿过所述槽体(1)的侧壁与所述风机的出风结构连接。
4.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述支架(3)与所述中空板(2)可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的烘干装置，其特征在于，所述支架(3)包括与所述中空板(2)螺纹连接的连接部(31)、与所述连接部(31)连接的支撑部(32)。
6.根据权利要求5所述的烘干装置，其特征在于，所述支撑部(32)的端部设有卡持所述花篮边缘的台阶槽(33)。
7.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述槽体(1)的顶部设有用于放入硅片的开口，所述开口处设置有盖板(11)。
8.根据权利要求7所述的烘干装置，其特征在于，所述盖板(11)与所述槽体(1)枢转连接。
9.根据权利要求7所述的烘干装置，其特征在于，所述槽体(1)上设有至少一个排风口(12)。
10.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述槽体(1)内底部设有定位所述中空板(2)的定位凹槽。