气被污染包含化学物质污染物，由于设备围挡的存在将被污染的空气限制在设备围挡内，不会在洁净室蔓延；
[0044]之后，被污染的空气通过所述隔板系统的回风口进入所述下层围挡内；由于下层围挡的存在将被污染的空气限制在下层围挡内，不会在下夹层蔓延；
[0045]然后，被污染的空气通过管道进入位于所述下夹层内的化学物质污染物处理装置，经化学物质污染物处理装置处理后进入所述下夹层内和其他从洁净室进入的空气混合；
[0046]最后，混合后的空气，经回风竖井进入所述上夹层。
[0047]本实施例的空气处理系统，设备围挡内的空气被污染后，被污染的空气被限制在设备围挡内和下层围挡内，化学物质污染物处理装置只针对被污染的空气进行处理。与现有技术相比，一方面，减少了需要处理的空气的量，提高了空气处理系统的处理效率，另一方面，减少了化学物质污染物处理装置的数量，降低了空气处理系统的复杂程度，可以降低一次投资和运行成本，并降低空气处理系统安装的难度。
[0048]需要说明的是，在图5所示的空气处理系统中设备围挡110自所述洁净室的顶部延伸至底部只是一种具体的实施方式，适用于工作中会散发化学物质污染物的设备可以全部设置在设备围挡内的情形。所述设备围挡还可以是自洁净室的底部延伸至洁净室的某一高度，适用于会散发化学物质污染物的设备的上部不适合围起来的情形；还可以是自洁净室的顶部延伸至洁净室的某一高度，适用于会散发化学物质污染物的设备的下部不适合围起来的情形；还可以是三面作围挡，适用于会散发化学物质污染物的设备的操作面不适合围起来的情形。
[0049]在上述实施例中，如图5所示，所述下层围挡310位于所述设备围挡的下方。
[0050]具体的，如图5所示，所述隔板系统包括带回风口的高架地板600，高架地板支撑系统，以及位于高架地板下方带回风口的华夫板700，所述中层围挡从所述高架地板的下表面延伸至华夫板的上表面
[0051]作为一种可选的方式，所述隔板系统包括带回风口的高架地板，高架地板支撑系统，以及位于高架地板下方的格构梁，所述中层围挡从所述高架地板的下表面延伸至格构梁的上表面。
[0052]如图5所示，所述中层围挡610位于所述设备围挡110的下方；所述设备围挡110在所述下夹层底部的投影，所述中层围挡在所述下夹层底部的投影和所述下层围挡在所述下夹层底部的投影宜重合。
[0053]在实际工艺中，所述设备围挡在所述下夹层底部的投影，所述中层围挡在所述下夹层底部的投影和所述下层围挡在所述下夹层底部的投影可能不能完全重合，只要所述上夹层的设备围挡和下层围挡及中层围挡形成相对封闭的空间，被污染的空气漏入下夹层下层围挡之外的几率就大大降低了。
[0054]具体的，所述设备围挡可以是软帘或硬隔断，所述下层围挡是软帘或硬隔断，所述中层围挡是硬隔断或软帘。
[0055]具体的，所述化学物质污染物处理装置是带风机且可处理化学物质污染物的空气处理装置。
[0056]在上述实施例中，如图5所示，所述上夹层200内包括风机过滤器机组；所述洁净室和上夹层通过风机过滤器机组加吊顶龙骨或顶板加吊顶龙骨隔开，所述风机过滤器机组置于所述吊顶龙骨之上；所述上夹层的空气经风机过滤器机组进入洁净室；所述下夹层内的空气可经所述回风竖井400进入所述上夹层。
[0057]这样，就实现了洁净室内的空气的循环。
[0058]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种空气处理系统，包括洁净室，分别位于其上方和下方的上夹层和下夹层及回风竖井；其特征在于，所述洁净室内包括设备围挡，所述设备围挡围成的空间用于容纳工作中会散发化学物质污染物的设备； 所述下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；所述下夹层内包括自所述下夹层的顶部延伸至底部的下层围挡，所述设备围挡内的空气可通过所述隔板系统的回风口进入所述下层围挡内； 位于所述下夹层内的化学物质污染物处理装置，其通过管道与所述下层围挡围成的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经所述回风竖井进入所述上夹层。
2.根据权利要求1所述的空气处理系统，其特征在于，所述设备围挡自所述洁净室的底部向上延伸。
3.根据权利要求2所述的空气处理系统，其特征在于，所述下层围挡位于所述设备围挡的下方。
4.根据权利要求1-3任一所述的空气处理系统，其特征在于，所述隔板系统包括自所述隔板系统的顶部向下延伸的中层围挡；所述设备围挡内的空气可通过所述隔板系统的中层围挡围成的空间中的回风口进入所述下层围挡内。
5.根据权利要求4所述的空气处理系统，其特征在于，所述中层围挡位于所述设备围挡的下方；所述设备围挡在所述下夹层底部的投影不越过所述中层围挡在所述下夹层底部的投影。
6.根据权利要求5所述的空气处理系统，其特征在于，所述设备围挡是软帘或硬隔断，所述下层围挡是软帘或硬隔断，所述中层围挡是硬隔断或软帘。
7.根据权利要求6所述的空气处理系统，其特征在于，所述化学物质污染物处理装置是带风机且可处理化学物质污染物的空气处理装置。
8.根据权利要求7所述的空气处理系统，其特征在于，所述上夹层内包括风机过滤器机组；所述洁净室和上夹层通过吊顶龙骨加风机过滤机组或吊顶龙骨加顶板隔开；所述上夹层的空气经安装于吊顶龙骨上的风机过滤器机组进入洁净室。
9.根据权利要求8所述的空气处理系统，其特征在于，所述隔板系统包括带回风口的高架地板和位于其下方的华夫板，所述中层围挡从所述高架地板的下表面延伸至华夫板的上表面。
10.根据权利要求8所述的空气处理系统，其特征在于，所述隔板系统包括带回风口的高架地板和位于其下方的格构梁，所述中层围挡从所述高架地板的下表面延伸至格构梁的上表面。
【专利摘要】本实用新型公开了一种空气处理系统，包括洁净室，分别位于其上方和下方的上夹层和下夹层及回风竖井；洁净室内包括设备围挡，设备围挡围成的空间用于容纳工作中会散发化学物质污染物的设备；下夹层和洁净室通过带回风口的隔板系统隔开；下夹层内包括自下夹层的顶部延伸至底部的下层围挡，设备围挡内的空气可通过隔板系统的回风口进入下层围挡内；位于下夹层内的化学物质污染物处理装置，其通过管道与下层围挡围成的空间相连通；经化学物质污染物处理装置处理后的空气可经回风竖井进入上夹层。本实用新型解决了洁净室内循环空气全部经过化学物质污染物处理装置处理，导致的需要处理的空气的量巨大，处理效率低的技术问题。
【IPC分类】F24F13-28, F24F1-00
【公开号】CN204460472
【申请号】CN201520109365
【发明人】秦学礼, 郑伊文, 黄文胜, 恽飞, 李鹏, 余少晖, 肖红梅, 李卫
【申请人】世源科技工程有限公司, 武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年2月13日