一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，主要用来回收光阻剥膜液，可以应用于液晶玻璃基板的制作工艺中。
【背景技术】
[0002]现有技术中，液晶玻璃基板是液晶平板显示器的重要组成部分，具有十分广阔的发展前景。目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.7 mm及0.5 mm，且即将迈入更薄(如0.4 mm)厚度之制程。超薄平板玻璃基材之特性主要取决于玻璃的组成，而玻璃的组成则影响玻璃的热膨胀、黏度(应变、退火、转化、软化和工作点）、耐化学性、光学穿透吸收及在各种频率与温度下的电气特性，产品质量除深受材料组成影响外，也取决于生产制程。
[0003]现有技术中，液晶玻璃基板的主要制程如下：（I)将主要由基板、铝层、光阻层三层层叠设置的半成品设置掩膜，然后进行UV照射；（2)采用显影液溶解去除未被掩膜覆盖部分的光阻层，露出下面的铝层；（3)刻蚀，去除上述部分铝层；（4)采用光阻剥膜液将剩余的光阻层全部去除。其中，步骤(4)中，光阻剥膜液一般采用乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)的混合液;而且，步骤(4)一般是在高温（约80°C)下进行的，因此光阻剥膜液会发生出现挥发现象。因此，如何回收这部分挥发的光阻剥膜液成为了本领域必须解决的技术问题之一。
[0004]针对上述问题，现有方法是采用冷凝回收系统，现有的冷凝回收系统参见图I所示，主要包括立式的冷凝器I，冷凝器一般包括冷凝盘管和其上的翅片2;其中，翅片是竖直设置的，以便于冷凝液的滴落。为了增加接触面积，加大热交换效果，气体进口和气体出口均位于冷凝器的侧面，使气体流动方向呈水平状，参见图I所示。
[0005]然而，实际应用发现：由于冷凝盘管上设有大量的翅片，且翅片之间的间距较小，在冷凝处理一段时间后，翅片上会凝结大量的光阻剥膜液，且位于越下方的翅片上光阻剥膜液越多，甚至造成冷凝液堵塞翅片的现象，这便使翅片及冷凝器的冷凝效果大打折扣，影响了其正常使用。
【发明内容】
[0006]本实用新型的目的是提供一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统。
[0007]为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，包括至少I个冷凝模组。
[0008]所述冷凝模组包括冷凝器、设于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及气体进口；冷凝器中的翅片竖直设置;所述气体进口位于冷凝器的正上方，使气体流动方向与翅片的设置方向相平行。
[0009]所述冷凝模组包括冷凝器、设于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及气体进口，这些都可以参照现有技术。
[0010]所述冷凝器中的翅片竖直设置;所述气体进口位于冷凝器的正上方，使气体流动方向与翅片的设置方向相平行；即气体流动方向与翅片平行，这便使气体可以推动（吹动）翅片上的冷凝液，使冷凝液在气体推动（吹动）和自身重力作用下尽快滴入冷凝液收集槽，从而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
[0011]优选的，所述冷凝模组的数量至少为2个，且冷凝模组层叠设置。
[0012]上文中，所述冷凝回收系统包括层叠设置的至少2个冷凝模组，每个冷凝模组即可形成一道冷凝体系，本实用新型采用的是多道冷凝体系，且各个冷凝体系层叠设置，形成串联结构，即待处理的气体先通过上方的冷凝模组进行第一道冷凝，然后进入下方的冷凝模组进行第二道冷凝，即进行多次冷凝，从而到的更佳的冷凝效果。
[0013]优选的，所述冷凝模组的数量为2?4个。
[0014]优选的，所述冷凝器为板式换热器。
[0015]上文中，所述板式换热器可以采用现有技术，其具有良好的传热强度。板式换热器具有进水口、出水口，以及气体入口和气体出口 ；板式换热器的进水口与供水管路连通;所述板式换热器的出水口与排水管路连通。所述板式换热器内设有气体通道和冷却水通道，两者通过热交换来对气体进行冷凝。
[0016]优选的，所述板式换热器为不锈钢板式换热器。
[0017]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
[0018]1、本实用新型设计了一种全新的用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，通过将翅片竖直设置，并使气体流动方向与翅片的设置方向相平行;使气体可以推动（吹动)翅片上的冷凝液，使冷凝液在气体推动（吹动)和自身重力作用下尽快滴入冷凝液收集槽，从而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果；
[0019]2、本实用新型采用的是多道冷凝体系，且各个冷凝体系层叠设置，形成串联结构，待处理的气体先通过上方的冷凝模组进行第一道冷凝，然后进入下方的冷凝模组进行第二道冷凝，即进行多次冷凝，从而到的更佳的冷凝效果；
[0020]3、本实用新型的结构简单，易于制备和使用，适于推广应用。
【附图说明】
[0021 ]图I是【背景技术】中冷凝回收系统的示意图。
[0022]图2是本实用新型实施例一的示意图。
[0023]图3是本实用新型实施例一中气体流动示意图。
[0024]其中：I、冷凝器;2、翅片;3、冷凝模组;4、冷凝液收集槽。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
[0026]实施例一
[0027]参见图2?3所示，一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，包括层叠设置的2个冷凝模组3。
[0028]所述冷凝模组包括冷凝器I、设于冷凝器下方的冷凝液收集槽4，以及气体进口；冷凝器中的翅片竖直设置;所述气体进口位于冷凝器的正上方，使气体流动方向与翅片的设置方向相平行。
[0029]所述冷凝器为板式换热器。所述板式换热器为不锈钢板式换热器。
[0030]上文中，所述冷凝回收系统包括层叠设置的2个冷凝模组，每个冷凝模组即可形成一道冷凝体系，本实施例采用的是2道冷凝体系，且各个冷凝体系层叠设置，形成串联结构，即待处理的气体先通过上方的冷凝模组进行第一道冷凝，然后进入下方的冷凝模组进行第二道冷凝，从而到的更佳的冷凝效果。
[0031]所述冷凝模组包括冷凝器、设于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及气体进口，这些都可以参照现有技术。
[0032]所述冷凝器中的翅片竖直设置;所述气体进口位于冷凝器的正上方，使气体流动方向与翅片的设置方向相平行；即气体流动方向与翅片平行，这便使气体可以推动（吹动）翅片上的冷凝液，使冷凝液在气体推动（吹动）和自身重力作用下尽快滴入冷凝液收集槽，从而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
【主权项】
1.一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，其特征在于:包括至少I个冷凝模组(3);所述冷凝模组包括冷凝器(1)、设于冷凝器下方的冷凝液收集槽(4)，以及气体进口；冷凝器中的翅片竖直设置;所述气体进口位于冷凝器的正上方，使气体流动方向与翅片的设置方向相平行。2.根据权利要求I所述的用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，其特征在于:所述冷凝模组的数量至少为2个，且冷凝模组层叠设置。3.根据权利要求2所述的用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，其特征在于:所述冷凝模组的数量为2?4个。4.根据权利要求I所述的用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，其特征在于:所述冷凝器为板式换热器。5.根据权利要求4所述的用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，其特征在于:所述板式换热器为不锈钢板式换热器。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于光阻剥膜液的冷凝回收系统，包括至少1个冷凝模组；所述冷凝模组包括冷凝器、设于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及气体进口；冷凝器中的翅片竖直设置；所述气体进口位于冷凝器的正上方，使气体流动方向与翅片的设置方向相平行。本实用新型通过将翅片竖直设置，并使气体流动方向与翅片的设置方向相平行；使气体可以推动（吹动）翅片上的冷凝液，使冷凝液在气体推动（吹动）和自身重力作用下尽快滴入冷凝液收集槽，从而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
【IPC分类】F28B1/02
【公开号】CN205156657
【申请号】CN201520886697
【发明人】杨政谕
【申请人】亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月9日