一种玻璃基片的清洗设备的制作方法

本实用新型涉及基片清洗的技术领域，具体涉及一种玻璃基片的清洗设备。

背景技术：

在光电器件制造过程中，需要对玻璃基片进行清洗处理，现有玻璃基片清洗设备的结构大多如图1所示，该清洗设备包括箱体1，箱体1具有顶部开口和内腔，内腔中平行成型有两块隔板13，两块隔板13将内腔分割为位于两侧的侧槽11和位于两个侧槽之间的清洗腔体12；水平穿设在箱体上且相对设置的两个喷淋管41，以及位于两个喷淋管41之间的传动轴5；侧槽11的顶部开口位于两个喷淋管41之间，并在侧槽11的顶部开口上通过密封胶固定有盖板2；以及在箱体1的顶部开口上设置的圆锥形的上盖3，也即上盖3的纵向截面形状为“人”字型。

在需要对玻璃基片7清洗时，玻璃基片7放置在传动轴5上，在传动轴5的带动下不断地向前移动，相对的两个喷淋管41上的喷嘴不断地向基片7的两侧表面喷清洗溶液，来对玻璃基片7的两侧表面进行清洗。

但是，此结构的清洗设备，位于下方的喷淋管在向上高压喷射清洗溶液时，必然有部分的溶液喷射到现有技术“人”字形的上盖的内壁面上；同时，箱体内会有大量的水汽在上盖内壁面上凝结，在重力作用下，凝结和残留在上盖内壁面的溶液沿着上盖的内壁面和箱体的内壁面不断地滴落在侧槽的盖板上，大量溶液滴落在盖板上时，使得密封胶长期浸泡在溶液中，会影响盖板与侧槽之间的密封性能，降低其使用寿命。

技术实现要素：

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中玻璃基片的清洗设备中侧槽上的密封胶容易被损坏，盖板与侧槽之间的密封性能差的问题。

为此，本实用新型提供一种玻璃基片的清洗设备，包括

箱体，具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，所述内腔中成型有平行设置的两块隔板，两个所述隔板分别与所述箱体的内壁面之间形成侧槽，两所述侧槽之间形成清洗腔体；

盖板，一一对应且通过密封胶固定在所述侧槽的顶部开口上；

喷淋结构，为至少两个，水平相对设置在所述清洗腔体内，所述盖板位于两个所述喷淋结构之间；

上盖，可拆卸地设置在所述箱体的顶部开口上；

所述上盖的边缘成型有朝向所述内腔凹陷的引流部，所述引流部的底部位于所述清洗腔体的正上方，用于引导凝结在所述引流部内壁面上的溶液回落在所述清洗腔体内。

优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部的纵向截面形状为V形，所述V形的开口朝向外界，其底部朝向所述内腔。

进一步优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述V形的夹角角度为130-165°。

优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述上盖的边缘还具有朝向所述内腔延伸的环形部，所述引流部位于所述环形部的内腔，以使所述上盖的纵向截面形状为M形；

所述上盖通过所述环形部固定在所述箱体的内壁面上。

进一步优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述箱体的顶部开口内壁面具有朝向所述清洗腔体方向水平延伸的环形安装台；

所述环形部的底部安装在所述环形安装台上。

更佳优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部为圆锥形，，所述圆锥形的锥尖朝向所述内腔。

优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部的纵向截面形状为梯形，并且，所述梯形的短边位于所述清洗腔体的正上方。

进一步优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述引流部为圆锥台。

优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，所述喷淋结构包括穿设在所述箱体两侧表面上的喷淋管，间隔安装在所述喷淋管壁面上的至少两个喷嘴，以及与所述喷淋管连接的溶液供给机构。

优选地，上述的玻璃基片的清洗设备，还包括水平穿设在所述箱体两侧壁上的至少一个传动轴，所述传动轴位于所述清洗腔体内以及两个所述喷淋装置之间，用于输送放置在其上的玻璃基片

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的玻璃基片的清洗设备，包括箱体、盖板、两个喷淋结构以及上盖，箱体具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，内腔中成型有平行设置的两块隔板，两个所述隔板分别与所述箱体的内壁面之间形成侧槽，两所述侧槽之间形成清洗腔体；盖板一一对应且通过密封胶固定在所述侧槽的顶部开口上；两个喷淋结构水平相对设置在所述清洗腔体内，所述盖板位于两个所述喷淋结构之间；上盖可拆卸地设置在所述箱体的顶部开口上；上盖的边缘成型有朝向所述内腔凹陷的引流部，所述引流部的底部位于所述清洗腔体的正上方，用于引导凝结在所述引流部内壁面上的溶液顺着所述引流部滴落在所述侧槽之间的清洗腔体内。

此结构的玻璃基片的清洗设备，上盖边缘的朝向内腔设置有引流部，当清洗基板时，即使在引流部的内壁面凝结或喷射有溶液，溶液会及时沿着引流部的内壁面流到其底部，再回落到清洗腔体内，从而减少了侧壁盖板上的残留的溶液量，对侧槽与盖板之间的密封胶起到保护作用，提高密封胶的使用寿命，确保盖板与侧槽顶部开口处的密封性能；同时，回流的溶液再次进入清洗腔体内对玻璃基片的表面进行清洗，形成溶液的循环利用，减少溶液的浪费。

2.本实用新型提供的玻璃基片的清洗设备，引流部的纵向截面形状为V形，所述V形的开口朝向外界，其底部朝向所述内腔。V形的引流部能够使得凝结或喷射在其内壁面上的溶液及时经V形底部回流到清洗腔体内，进一步确保残留在引流部上的溶液不会滴落在侧槽的盖板上。

3.本实用新型提供的玻璃基片的清洗设备，所述V形的夹角角度为130-165°。通过适当地设计V形的夹角，使得凝结或喷射在引流部内壁面上的溶液及时地回流到清洗腔体内。防止当角度过小时，引流部的底部伸入内腔深度大，与喷淋管相碰；或者当角度过大时，凝结在引流部上的溶液不能及时地回流，溶液在重力作用下，有少量溶液还是会滴落在侧槽的盖板上。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的玻璃基片的清洗设备侧向的剖面示意图；

图2为本实用新型实施例1中提供的玻璃基片的清洗设备侧向的剖面示意图；

图3为本实用新型实施例1中提供的玻璃基片的清洗设备中A处的局部放大图；

附图标记说明：1-箱体；11-侧槽；12-清洗腔体；13-隔板；14-环形安装台；2-盖板；3-上盖；31-引流部；32-环形部；41-喷淋管；42-喷嘴；5-传动轴；6-把手；7-玻璃基片；a-V形的夹角；8-密封胶。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种玻璃基片的清洗设备，如图2和图3所示，包括箱体1、盖板2、两个喷淋结构、上盖3、把手6以及传动轴5。

如图2所示，箱体1具有内腔和顶部开口，沿其长度方向，内腔中成型有平行设置的两块隔板13，两个隔板13分别与箱体1的内壁面之间形成侧槽11，两个侧槽11之间形成清洗腔体12。两个侧槽11的顶部开口通过密封胶8分别固定有一个盖板2。

两个喷淋结构水平相对设置在清洗腔体12内，如图2所示，一个喷淋结构包括穿设在箱体1两侧表面上的喷淋管41，间隔安装在喷淋管41壁面上的多个喷嘴42，以及与喷淋管41连接的溶液供给机构(图中未示出)，例如，在箱体1外单独设置一个溶液仓，通过高压泵将溶液仓内的溶液输送至喷淋管41内，并经喷嘴42向外喷出，形成高压喷射方式。两个喷淋结构中的两个喷淋管41的喷嘴42相对设置，以对基板的两侧表面进行清洗，上述的盖板2位于两个喷淋管41之间。

如图2所示，上盖3的边缘具有朝向内腔凹陷的引流部31。优选地，引流部31的纵向截面形状为V形，V形的开口朝向外界，其底部朝向内腔，并位于清洗腔体12的正上方，V形的夹角a角度为150°；同时，上盖3的边缘还具有朝向内腔延伸的环形部32，纵向截面为V形的引流部31位于环形部32的内腔，以使上盖3的纵向截面形状为M形。

箱体1顶部开口内壁面具有朝向清洗腔体12方向水平延伸的环形安装台14，环形部32的底部安装在环形安装台14上。例如，环形安装台14上开设卡槽，环形部32的底部卡入卡槽内，从而将上盖3固定在箱体1的内壁面上。

此外，在纵向截面为V形的引流部31的顶部表面上设置两个对称的把手6，便于上盖3的取放。传动轴5为多个，多个传动轴5水平穿设在箱体1两侧壁上，传动轴5位于清洗腔体12内以及两个喷淋管41之间，用于输送放置在其上的玻璃基片7。

此实施方式的清洗设备，需要对玻璃基片7清洗时，玻璃基片7放置在传动轴5上，传动轴5不断转动过程中，驱动玻璃基片7向前运行；两个喷淋管41上的喷嘴42分别对玻璃基片7的顶部表面和底部表面喷射清洗溶液，对玻璃基片7的两侧表面进行清洗；位于下方的喷淋管41喷出的溶液喷射在引流部31的内壁面上，或者大量的水汽凝结在引流部31的内壁面上时，溶液能够及时地沿着V形引流部31的内壁面流到V形的底部，再滴落回到清洗腔体12内，甚至滴落在玻璃基片7上对玻璃基片7的表面再次清洗，形成溶液的二次利用，减少溶液的浪费和提高清洗效率。同时，上盖3的边缘处不会凝结溶液或凝结的溶液很少，对应地滴落在侧槽11盖板2上的溶液量很少，减少残留在盖板2上的溶液，从而对侧槽11与盖板2之间的密封胶8起到保护作用，提高密封胶8的寿命和盖设侧槽11与盖板2之间的密封性能。

作为可替换的实施方式，传动轴5的个数还可以为一个、两个、三个、四个等等，具体设置的个数由实际使用情况而定。作为变形，传动轴5还可以被其他的输送结构代替，例如滑轨。

作为可替换的实施方式，喷淋管41上的喷嘴42的个数可以为两个、三个、四个、五个等等，具体设置个数由实际使用情况而定。作为进一步变形，喷淋装置的个数可以为多个，多个喷淋装置平行设置，来对玻璃基片7的两侧表面进行清洗。作为变形，喷淋装置还可以为现有的其他喷洒装置。

作为变形，把手6还可以仅设置一个，或者三个、四个等等，或者还可以不设置上述的把手6。

作为变形，上盖3的环形部32与环形安装台14的固定方式还可以为其他方式，只需将二者可拆卸地设置即可，例如采用紧固件将上盖3与箱体1的顶部开口连接。

作为变形，上盖3还可以不设置上述的环形部32，只具有上述纵向截面形状为V形的引流部31，直接将引流部31盖设在箱体1的顶部开口上。

作为变形，上述V形的夹角a角度还可以为130°、135°、140°、145°、155°、165°等等。最佳地，将该夹角的角度控制在130°-165°范围内。防止当角度过小时，引流部31的底部伸入内腔深度大，与喷淋管41相碰；或者防止当角度过大时，凝结在引流部31上的溶液不能及时地回流，溶液在重力作用下，有少量溶液还是会滴落在侧槽11的盖板2上。

作为变形，上述引流部31的纵向截面形状还可以为梯形，并且，梯形的短边位于清洗腔体12的正上方，例如圆锥台；或者，引流部31为圆锥形，圆锥形的锥尖朝向内腔；或者，还可以为其他形状，只需成型在上盖3的边缘且朝向内腔向下凹陷，其底部位于清洗腔体12的正上方，用于引导凝结在引流部31内壁面上的溶液回落在清洗腔体12内即可。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。