一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置。
【背景技术】
[0002]蓝宝石(AL203)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。
[0003]作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括片面度，平行度达到0.005mm,光洁度达到0.5nm0
[0004]传统单面抛光机如图1所示，主要包括1-气缸，2-上盘，3-工件，4-下磨盘，5-机架，6-驱动，7-主轴，其原理是被加工件3贴合在上盘盘面上，上盘2和下盘4以相同的方向转动，工件3的下表面就与下盘4均匀的摩擦。利用这种原理可以对工件的表面进行化学机械抛光。传统单面抛光机的上磨盘不带驱动，或带有独立驱动的结构不够完美，导致成本过高，或者清洗不便。
【实用新型内容】
[0005]针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置。
[0006]为实现上述目的，本实用新型提供一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括:
[0007]支撑架，所述支撑架上部安装有气缸，所述支撑架中部设有连接体，所述支撑架下部安装有轴承座一，所述轴承座一上安装有主轴；
[0008]所述连接体上安装有电机安装板与轴承，所述电机安装板上安装有电机，所述电机的主轴上安装有主动齿轮；
[0009]所述主轴上部安装有与所述主动齿轮相配合的被动齿轮，所述主轴中部套有滚子轴承，所述主轴下部套固有连接盘，所述连接盘下部安装有轴承座二，所述连接盘与所述轴承座二之间的空隙处安装有键块，所述轴承座二内部安装有调心轴承，所述轴承座二下端安装有上磨盘。
[0010]作为本实用新型进一步改进，所述气缸上的气缸杆与所述连接体相连。
[0011]作为本实用新型进一步改进，所述轴承内圈与所述主轴通过锁紧螺母一固定，所述连接体与所述轴承外圈通过所述电机安装板压固。
[0012]作为本实用新型进一步改进，所述主轴与所述调心轴承的内圈通过锁紧螺母二固定；所述轴承座二与所述调心轴承的外圈通过端盖压固。
[0013]本实用新型的有益效果为:结构简单，使用方便，可提高工作效率，制造成本较低，方便清洗及维修等诸多优点。
【附图说明】
[0014]图1为现有传统单面抛光机的结构示意图；
[0015]图2为本实用新型一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置的结构示意图。
[0016]图2中:1、支撑架；2、连接体；3、电机安装板；4轴承；5、被动齿轮；6、主动齿轮；7、轴承座一 ；8、主轴；9、连接盘；10、调心轴承；11、上磨盘；12、锁紧螺母二 ；13、端盖；14、键块；15、轴承座二 ；17、电机；18、锁紧螺母一 ；19、气缸。
【具体实施方式】
[0017]如图2所示，本实用新型实施例所述的一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括:支撑架1，所述支撑架I上部安装有气缸19，所述支撑架I中部设有连接体2，所述支撑架I下部安装有轴承座一 7，所述轴承座一 7上安装有主轴8 ;所述连接体2上安装有电机安装板3与轴承4，所述电机安装板3上安装有电机17，所述电机17的主轴上安装有主动齿轮6 ;所述主轴8上部安装有与所述主动齿轮6相配合的被动齿轮5，所述主轴8中部套有滚子轴承16，所述主轴8下部套固有连接盘9，所述连接盘9下部安装有轴承座二 15，所述连接盘9与所述轴承座二 15之间的空隙处安装有键块14，所述轴承座二 15内部安装有调心轴承10，所述轴承座二 15下端安装有上磨盘11，所述气缸19上的气缸杆与所述连接体2相连。所述轴承4内圈与所述主轴8通过锁紧螺母一 18固定，所述连接体2与所述轴承4外圈通过所述电机安装板3压固。所述主轴8与所述调心轴承12的内圈通过锁紧螺母二 12固定；所述轴承座二 15与所述调心轴承12的外圈通过端盖13压固。结构简单，使用方便，可提高工作效率，制造成本较低，方便清洗及维修等诸多优点。
[0018]具体使用时:气缸19安装在支撑架I上，气缸杆与连接体2相连，连接体2上安装有轴承4，轴承4内圈通过锁紧螺母18固定在主轴8上，电机安装板3固定在连接体2上，电机17安装于电机安装板3，主动齿轮6安装于电机主轴上，被动齿轮5固定在主轴8上面，如此气缸19便可带动连接体2做上下运动，连接体2便可通过轴承4带动主轴8做上下运动并将气缸的压力传递给主轴8，电机17驱动主动齿轮做旋转运动，主动齿轮6带动被动齿轮5与主轴8做旋转运动，这样主轴8即可做上下的动作，也可做旋转的动作。
[0019]主轴8穿过滚子轴承16，保证主轴即可做上下运动，同时也可做旋转运动，并保证转动精度，滚子轴承16安装在轴承座7内部固定，轴承座7与支撑架固定。
[0020]连接盘9与主轴8固定，连接盘9上安装有键块14，键块14插入端盖13的键槽中，端盖13的键槽与键块14留有一定的间隙，端盖13与轴承座15相连，磨盘11安装在轴承座15上，轴承座15与调心轴承10外圈固定，调心轴承10内圈通过锁紧螺母18固定连接在主轴8之上。如此主轴8的旋转运动可以通过连接盘9和键块14传递给端盖13，使得端盖13和轴承座15及磨盘11做旋转运动，由于轴承座15中安装有调心轴承10，因此轴承座15与磨盘11是可以浮动的，这样可以保证与该机型的下磨盘表面贴合。
[0021]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于，包括: 支撑架(I)，所述支撑架(I)上部安装有气缸(19)，所述支撑架(I)中部设有连接体(2)，所述支撑架(I)下部安装有轴承座一(7)，所述轴承座一(7)上安装有主轴(8)； 所述连接体(2)上安装有电机安装板(3)与轴承(4)，所述电机安装板(3)上安装有电机(17)，所述电机(17)的主轴上安装有主动齿轮(6)； 所述主轴(8)上部安装有与所述主动齿轮(6)相配合的被动齿轮(5)，所述主轴(8)中部套有滚子轴承(16)，所述主轴(8)下部套固有连接盘(9)，所述连接盘(9)下部安装有轴承座二(15)，所述连接盘(9)与所述轴承座二(15)之间的空隙处安装有键块(14)，所述轴承座二(15)内部安装有调心轴承(10)，所述轴承座二(15)下端安装有上磨盘(11)。
2.根据权利要求1所述的单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于:所述气缸(19)上的气缸杆与所述连接体(2)相连。
3.根据权利要求1所述的单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于:所述轴承(4)内圈与所述主轴(8)通过锁紧螺母一(18)固定，所述连接体(2)与所述轴承(4)外圈通过所述电机安装板(3)压固。
4.根据权利要求1所述的单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于:所述主轴(8)与所述调心轴承(12)的内圈通过锁紧螺母二(12)固定；所述轴承座二(15)与所述调心轴承(12)的外圈通过端盖(13)压固。
【专利摘要】本实用新型涉及一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括：支撑架，所述支撑架上部安装有气缸，所述支撑架中部设有连接体，所述支撑架下部安装有轴承座一，所述轴承座一上安装有主轴；所述连接体上安装有电机安装板与轴承，所述电机安装板上安装有电机，所述电机的主轴上安装有主动齿轮；所述主轴中部套有滚子轴承，所述主轴下部套固有连接盘，所述连接盘下部安装有轴承座二，所述连接盘与所述轴承座二之间的空隙处安装有键块，所述轴承座二内部安装有调心轴承，所述轴承座二下端安装有上磨盘。本实用新型的有益效果为：结构简单，使用方便，可提高工作效率，制造成本较低，方便清洗及维修等诸多优点。
【IPC分类】B24B47-14
【公开号】CN204450211
【申请号】CN201520050960
【发明人】岳伟, 陈志嵩, 杨华华
【申请人】常州贝斯塔德机械股份有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年1月24日