技术总结
本发明公开了一种基板清洗用水箱、水箱加热系统、方法以及基板清洗装置，该基板清洗用水箱包括热废气回收管、加热器和换热管，所述热废气回收管用于接收生产线的热废气排放管中的热废气，所述加热器和换热管用于对水箱内的流体进行加热，所述换热管与所述热废气回收管连通。本发明有效利用热废气，减少了电力消耗，节约了生产成本，减少了热废气的排放。
技术研发人员：郭知广;胡金霞;唐大虎;蔡鑫;刘剑锋;李静
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
文档号码：201710014406
技术研发日：2017.01.09
技术公布日：2017.05.10