石英坩埚清洗装置的制作方法

本实用新型涉及坩埚清洗设备技术领域，具体为石英坩埚清洗装置。

背景技术：

目前，石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃态器皿，经过切磨、检验、浸泡、清洗、烘干等工艺直接投入生产是国内外坩埚生产厂家的普遍做法，这种做法制成的坩埚在熔制成型后，在切磨和检验过程中表面容易粘有油或手印，虽然要通过手工浸泡和清洗，但难以清洗干净，在投入生产时会影响单晶硅的质量和合格率，同时石英坩埚在蒸发等实验中使用后，内壁容易积累实验产物，需要清洗后才能进行下次操作，而且手工清洗劳动强度大，工作效率低，基于此，本实用新型设计了石英坩埚清洗装置，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供石英坩埚清洗装置，以解决上述背景技术中提出的手工清洗石英坩埚劳动强度大，工作效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：石英坩埚清洗装置，包括工作台，所述工作台的上表面中央设有通孔，所述工作台的上表面一侧间隔设有两组夹具，所述工作台的上表面另一侧固定有电动伸缩杆，所述通孔的内腔通过铰链转动连接有套管，所述套管的底部端面垂直焊接有支撑板，所述套管的内腔通过轴承插接有进水管，所述进水管的外壁上部对称插接有坩埚内壁清洗装置，所述进水管的顶部固定有闷盖，所述支撑板的表面固定有第一电机，所述第一电机的底部动力输出端与进水管的外壁下部之间设有齿轮副，所述进水管的底部设有旋转接头，所述旋转接头的底部设有三通管，所述三通管的底部通过软管设有增压泵，所述电动伸缩杆的顶部固定有横梁，所述横梁的左侧和顶部分别设有坩埚外壁清洗装置和L型支架，所述L型支架上设有喷头，所述喷头通过软管与三通管的支端连接；

所述坩埚内壁清洗装置包括支撑管，所述支撑管的内腔活动插接有顶管，所述顶管与支撑管之间通过弹性件连接，所述顶管的左端设有钢丝刷，所述顶管的外壁设有溢出孔；

所述坩埚外壁清洗装置包括基板，所述基板上表面的一侧通过内嵌轴承转动连接有支撑外包，所述基板上表面的另一侧固定有第二电机，所述第二电机的顶部动力输出端设有传动齿轮，所述支撑外包的外壁上部通过螺纹与传动齿轮啮合，所述支撑外包的内腔至少间隔设有两组刮板，所述刮板与支撑外包的内壁之间通过气压支撑杆连接。

优选的，所述闷盖的顶部设有钢丝球。

优选的，所述弹性件为压簧或弹簧片。

优选的，所述溢出孔在顶管的外壁呈纵横交错排列。

优选的，所述刮板的横截面呈月牙形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过两组夹具夹持石英坩埚，第一电机和齿轮副带动进水管旋转，在通孔内腔转动的套管作用下利用坩埚内壁清洗装置将坩埚内壁清洗干净，再通过电动伸缩杆使坩埚外壁清洗装置可以上下移动，利用第二电机带动支撑外包旋转，在上下移动的同时刮板、喷头和气压支撑杆配合工作，清洗坩埚外壁，该装置可以同时清洗坩埚内外壁，节约清洗时间，同时减小了劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型坩埚内壁清洗装置结构示意图；

图3为本实用新型坩埚外壁清洗装置结构示意图；

图4为本实用新型坩埚外壁清洗装置俯视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-工作台，2-通孔，3-夹具，4-电动伸缩杆，5-套管，6-支撑板，7-进水管，8-坩埚内壁清洗装置，9-闷盖，10-横梁，11-坩埚外壁清洗装置，12-L型支架，13-喷头，14-第一电机，15-齿轮副，16-旋转接头，17-三通管，18-增压泵，80-支撑管，81-顶管，82-弹性件，83-钢丝刷，84-溢出孔，110-基板，111-第二电机，112-支撑外包，113-传动齿轮，114-气压支撑杆，115-刮板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：石英坩埚清洗装置，包括工作台1，工作台1的上表面中央设有通孔2，工作台1的上表面一侧间隔设有两组夹具3，工作台1的上表面另一侧固定有电动伸缩杆4，通孔2的内腔通过铰链转动连接有套管5，套管5的底部端面垂直焊接有支撑板6，套管5的内腔通过轴承插接有进水管7，进水管7的外壁上部对称插接有坩埚内壁清洗装置8，进水管7的顶部固定有闷盖9，支撑板6的表面固定有第一电机14，第一电机14的底部动力输出端与进水管7的外壁下部之间设有齿轮副15，进水管7的底部设有旋转接头16，旋转接头16的底部设有三通管17，三通管17的底部通过软管设有增压泵18，电动伸缩杆4的顶部固定有横梁10，横梁10的左侧和顶部分别设有坩埚外壁清洗装置11和L型支架12，L型支架12上设有喷头13，喷头13通过软管与三通管17的支端连接；

坩埚内壁清洗装置8包括支撑管80，支撑管80的内腔活动插接有顶管81，顶管81与支撑管80之间通过弹性件82连接，顶管81的左端设有钢丝刷83，顶管81的外壁设有溢出孔84；

坩埚外壁清洗装置11包括基板110，基板110上表面的一侧通过内嵌轴承转动连接有支撑外包112，基板110上表面的另一侧固定有第二电机111，第二电机111的顶部动力输出端设有传动齿轮113，支撑外包112的外壁上部通过螺纹与传动齿轮113啮合，支撑外包112的内腔至少间隔设有两组刮板115，刮板115与支撑外包112的内壁之间通过气压支撑杆114连接。

其中，闷盖9的顶部设有钢丝球，避免旋转的闷盖9刮伤坩埚内壁，同时可以清洗坩埚的内壁顶部，弹性件82为压簧或弹簧片，溢出孔84在顶管81的外壁呈纵横交错排列，使坩埚内壁可以充分接触到清洗液，便于清洗，刮板115的横截面呈月牙形，使其与坩埚外壁贴合的面积增大，提高清洗效率。

本实施例的一个具体应用为：通过两组夹具3夹持石英坩埚，增压泵18将清洗液通过三通管17和旋转接头16注入到进水管7和喷头13中，第一电机14和齿轮副15带动进水管7旋转，在通孔2内腔通过铰链连接而可以转动的套管5作用下，弹性件82将顶管81从支撑管80内腔顶出，使钢丝刷83与坩埚内壁接触，利用溢出孔84喷出清洗液，钢丝刷83在坩埚内壁上摆动和旋转，将坩埚内壁清洗干净，再通过电动伸缩杆4使支撑外包112可以上下移动，利用第二电机111带动支撑外包112旋转，在上下移动的同时刮板115和气压支撑杆114配合工作，使刮板115可以在坩埚外壁运动，清洗坩埚外壁。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。