一种半导体清洗设备中的抽风装置的制作方法

本实用新型是一种半导体清洗设备中的抽风装置，属于半导体设备技术领域。

背景技术：

目前，半导体清洗设备中的抽风系统是非常重要的设备，它能将化学槽中挥发出的有害气体抽走，避免工人受到有害气体的伤害。

现有技术公开了申请号为：CN201220219711.4的一种半导体清洗设备中的抽风装置，它包括带有排风口的抽风箱，抽风箱上可拆卸式地连接有抽风体，该抽风体上具有环绕在化学槽槽口周边的内壁，并且该内壁上均布有若干抽风口。本实用新型缩短了抽风口与化学槽口的距离，抽风效果更好，有害气体不会散开出来，影响到工作环境中，导致人受到有毒气体的伤害，本实用新型的抽风体为可拆卸式地连接，方便了抽风体内部的清洁。但是其不足之处在于现有的抽风装置无法控制抽风的速度快慢，只能在抽风箱上开抽风口，进行固定死板的抽风工作，抽风效果不理想，不能及时将酸雾抽走，还是有少量有害气体散到空气中，导致人体受到有毒气的伤害。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体清洗设备中的抽风装置，以解决现有的抽风装置无法控制抽风的速度快慢，只能在抽风箱上开抽风口，进行固定死板的抽风工作，抽风效果不理想，不能及时将酸雾抽走，还是有少量有害气体散到空气中，导致人体受到有毒气的伤害的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体清洗设备中的抽风装置，其结构包括底座、电机、挡板、紧固件、抽风箱、抽风口、支撑脚、风扇、控制器、万向轮，所述底座为长60cm的长方体结构，所述底座下表面四个边角分别与万向轮采用过盈配合方式活动连接，且处于同一水平线上，所述万向轮为直径5cm的球体结构，共设有四个，所述底座上表面左段分别与支撑脚下端采用过盈配合方式活动连接，且呈长方形状分布，所述支撑脚为长12cm的长方体结构，共设有四个，所述支撑脚上端分别与抽风箱下表面四个边角采用过盈配合方式活动连接，且处于同一水平线上，所述抽风箱为直径60cm的圆盘体结构，所述底座上表面右下端与控制器采用过盈配合方式活动连接，所述控制器为长20cm的长方体结构；所述控制器由器体、调节旋钮、指示灯、显示屏、处理器组成，所述器体为长方体结构，所述器体正表面上段与显示屏采用过盈配合方式活动连接，所述显示屏为长方形面板，所述器体正表面中央与指示灯采用过盈配合方式活动连接，所述指示灯为球体结构，所述器体正表面下段与调节旋钮采用过渡配合方式活动连接，所述调节旋钮为圆盘体结构，所述器体下表面中央与处理器采用过盈配合方式活动连接，所述处理器为圆柱体结构。

进一步地，所述底座上表面右上端与电机采用过盈配合方式活动连接。

进一步地，所述电机后表面和抽风箱后表面中央分别与紧固件前端采用过盈配合方式活动连接。

进一步地，所述紧固件后端分别与挡板内表面左右两端采用过盈配合方式活动连接。

进一步地，所述抽风箱正表面中央与抽风口采用过盈配合方式活动连接。

进一步地，所述抽风箱内部中央设有风扇。

进一步地，所述万向轮可以对设备的安置位置进行随意的移动。

有益效果

本实用新型一种半导体清洗设备中的抽风装置，设有控制器，通过显示屏显示有害气体的数据值和所需的风速度大小，再转动调节旋钮，经处理器整合分析对风速度大小进行有效的调节控制，使设备能够及时将酸雾抽走，抽风效果好，有害气体不会散开出来，改善了周围的环境。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种半导体清洗设备中的抽风装置的结构示意图；

图2为本实用新型的控制器示意图；

图3为本实用新型一种半导体清洗设备中的抽风装置的风扇结构示意图。

图中：底座-1、电机-2、挡板-3、紧固件-4、抽风箱-5、抽风口-6、支撑脚-7、风扇-8、控制器-9、器体-901、调节旋钮-902、指示灯-903、显示屏-904、处理器-905、万向轮-10。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体清洗设备中的抽风装置，其结构包括底座1、电机2、挡板3、紧固件4、抽风箱5、抽风口6、支撑脚7、风扇8、控制器9、万向轮10，所述底座1为长60cm的长方体结构，所述底座1下表面四个边角分别与万向轮10采用过盈配合方式活动连接，且处于同一水平线上，所述万向轮10为直径5cm的球体结构，共设有四个，所述底座1上表面左段分别与支撑脚7下端采用过盈配合方式活动连接，且呈长方形状分布，所述支撑脚7为长12cm的长方体结构，共设有四个，所述支撑脚7上端分别与抽风箱5下表面四个边角采用过盈配合方式活动连接，且处于同一水平线上，所述抽风箱5为直径60cm的圆盘体结构，所述底座1上表面右下端与控制器9采用过盈配合方式活动连接，所述控制器9为长20cm的长方体结构，所述控制器9由器体901、调节旋钮902、指示灯903、显示屏904、处理器905组成，所述器体901为长方体结构，所述器体901正表面上段与显示屏904采用过盈配合方式活动连接，所述显示屏904为长方形面板，所述器体901正表面中央与指示灯903采用过盈配合方式活动连接，所述指示灯903为球体结构，所述器体901正表面下段与调节旋钮902采用过渡配合方式活动连接，所述调节旋钮902为圆盘体结构，所述器体901下表面中央与处理器905采用过盈配合方式活动连接，所述处理器905为圆柱体结构。

本专利所说的旋钮902，是用手控转的手动元件。根据功能要求分为连续多次旋转，旋转角度可达到360°；也可做定位旋转等。

在进行使用时，首先由万向轮10将设备移动到半导体清洗设备中，然后启动电机2，给设备提供动力，再由抽风箱5上的抽风口6来进行抽风工作，其间，可通过显示屏904显示有害气体的数据值和所需的风速度大小，再转动调节旋钮902，经处理器905整合分析对风速度大小进行有效的调节控制，使设备能够及时将酸雾抽走，抽风效果好，有害气体不会散开出来，改善了周围的环境。

本实用新型的底座1、电机2、挡板3、紧固件4、抽风箱5、抽风口6、支撑脚7、风扇8、控制器9、万向轮10，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有的抽风装置无法控制抽风的速度快慢，只能在抽风箱上开抽风口，进行固定死板的抽风工作，抽风效果不理想，不能及时将酸雾抽走，还是有少量有害气体散到空气中，导致人体受到有毒气的伤害，本实用新型通过上述部件的互相组合，通过显示屏显示有害气体的数据值和所需的风速度大小，再转动调节旋钮，经处理器整合分析对风速度大小进行有效的调节控制，使设备能够及时将酸雾抽走，抽风效果好，有害气体不会散开出来，改善了周围的环境。具体如下所述:

所述器体901为长方体结构，所述器体901正表面上段与显示屏904采用过盈配合方式活动连接，所述显示屏904为长方形面板，所述器体901正表面中央与指示灯903采用过盈配合方式活动连接，所述指示灯903为球体结构，所述器体901正表面下段与调节旋钮902采用过渡配合方式活动连接，所述调节旋钮902为圆盘体结构，所述器体901下表面中央与处理器905采用过盈配合方式活动连接，所述处理器905为圆柱体结构。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。