技术特征：
技术总结
本发明公开了一种用于硅片夹持的夹具机头，属于硅片清洗技术领域。该夹具机头包括机座，机座内穿设有两个驱动杆和两个连接杆，两个驱动杆的左端分别连接有驱动块，两个连接杆的左端直径逐渐缩小，两个驱动块上分别设有支撑件，两个支撑件分别在复位机构的作用下压紧在两个连接杆上，两个连接杆的右端连接有驱动机构，驱动机构驱动两个连接杆左右滑动，在复位机构作用下，支撑件到连接杆中心线的距离发生变化，从而带动两个驱动杆产生旋转，并且两个驱动杆的旋转方向相反。该夹具机头通过将连接杆较大距离的运动转化为支撑件与连接杆中心线之间距离的改变，实现驱动杆旋转的精度控制，便于实现夹爪旋转的精度控制，实现夹爪对硅片的精准夹持。
技术研发人员：丁高生;葛林五;陈景韶;葛林新;李杰
受保护的技术使用者：上海提牛机电设备有限公司
技术研发日：2018.02.26
技术公布日：2018.08.07