一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽的制作方法

本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽。

背景技术：

有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在oled（organiclight-emittingdiode，有机电发光二极管）技术中，用于真空蒸镀的掩膜板是一项非常重要和关键的部件，该部件的质量直接影响oled产品的质量和制造成本。

掩膜板（mask），特别是细小网格的掩膜板（finemask），在初加工成型后，会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质，影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中，掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质，这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用，在将掩膜板再次投入使用前必须清除。

目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个清洗槽，由于自身结构设计不够合理，其清洗效果不佳，难以达到用户要求。

技术实现要素：

本发明的目的就是为了解决目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个清洗槽，由于自身结构设计不够合理，其清洗效果不佳，难以达到用户要求的问题，提供一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽。

本发明的具体方案是：一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽，包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，槽体外部一侧装有一台鼓风机，鼓风机的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体侧壁上方的u型管，u型管伸入槽体内装有一根沿槽体长度方向布置的水平直管，水平直管顶部沿全长设有若干个风孔。

本发明所述槽体侧壁上装有电加热管。

本发明所述槽体底部设有一凹坑，所述出水管安装在凹坑上。

本发明工作原理如下：装有金属掩膜板的载具通过机械手放入清洗槽内，使金属掩膜板完全浸入清洗液中，系统打开鼓风机将外界的空气鼓入清洗槽内，空气从位于槽底的风孔向上窜动的过程中增加了清洗液与金属掩膜板的接触，可将金属掩膜板的角落及难以清洗的地方清洗干净；电加热管用于维持清洗液的温度以保持清洗液的活性。

本发明相比现有技术具有以下优点：可将金属掩膜板的角落及难以清洗的地方清洗干净，清洗后金属掩膜板的清洁度更高；槽体底部设计凹坑利于将需要更换的清洗液放完。

附图说明

图1是本发明的立体视图；

图2是图1的俯视图；

图3是图2的a-a视图；

图4是图2的b-b视图；

图中：1-槽体，2-u型管，3-进水管，4-鼓风机，5-水平直管，6-电加热管，7-出水管，8-风孔，9-凹坑。

具体实施方式

参见图1-4，本实施例包括一个上端开口的矩形槽体1，槽体1侧壁上装有进水管3，槽体1底部装有出水管7，槽体1外部一侧装有一台鼓风机4，鼓风机4的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体1侧壁上方的u型管2，u型管2伸入槽体1内装有一根沿槽体1长度方向布置的水平直管5，水平直管5顶部沿全长设有若干个风孔8。

本实施例所述槽体1侧壁上装有电加热管6。

本实施例所述槽体1底部设有一凹坑9，所述出水管7安装在凹坑9上。

技术特征：

1.一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽，包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，其特征是：槽体外部一侧装有一台鼓风机，鼓风机的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体侧壁上方的u型管，u型管伸入槽体内装有一根沿槽体长度方向布置的水平直管，水平直管顶部沿全长设有若干个风孔。

2.根据权利要求1所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽，其特征是：所述槽体侧壁上装有电加热管。

3.根据权利要求1所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽，其特征是：所述槽体底部设有一凹坑，所述出水管安装在凹坑上。

技术总结
本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的鼓泡清洗槽，包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，槽体外部一侧装有一台鼓风机，鼓风机的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体侧壁上方的U型管，U型管伸入槽体内装有一根沿槽体长度方向布置的水平直管，水平直管顶部沿全长设有若干个风孔；本发明清洗后金属掩膜板的清洁度更高。

技术研发人员：唐军
受保护的技术使用者：湖北浚山光电有限公司
技术研发日：2018.12.13
技术公布日：2020.06.23