清洗装置以及对象物的清洗和干燥方法与流程

本发明涉及一种清洗装置、对象物的清洗和干燥方法。

背景技术：

提出了一种清洗机的方案，上述清洗机具有清洗区域、把持装置、以面对清洗区域的方式保持工件并使其移动的搬送台装置以及罩装置，并通过搬送台装置将工件移动到清洗区域并进行清洗(日本专利特许第6227496号)。提出了一种用于清洗机的搬送台装置(日本专利特许第6196588号(以下称为“专利文献1”))、日本专利特开2018-12079号公报(以下称为“专利文献2”)的方案。

技术实现要素：

紧凑地设置通用性高的单元(cell)型的清洗机和单元型的干燥机。

本发明的第一侧面是清洗机，具有：

罩，所述罩在内部具有清洗室和干燥室，并且具有形成于所述清洗室的壁面的搬入口和形成于所述干燥室的壁面的搬出口；

隔板，所述隔板具有中间搬送口，并将所述罩内部的空间分隔成所述清洗室和所述干燥室；

中间门，所述中间门对所述中间搬送口进行开闭；

转台，所述转台配置在所述干燥室，并具有把持对象物的第一把持装置，并向经由所述中间搬送口接收所述对象物的放下(drop)位置、对所述对象物进行干燥的干燥位置以及经由所述搬出口将所述对象物送出的送出位置旋转；以及

移动装置，所述移动装置配置在所述清洗室，并具有经由所述搬入口把持所述对象物的第二把持装置，在把持着所述对象物的状态下在所述清洗室内清洗所述对象物，并经由所述中间搬送口将所述对象物搬送至所述第一把持装置。

本发明的第二侧面是对象物的清洗和干燥方法，包括：

移动装置将第一对象物从搬入口搬入，

使所述第一对象物与喷射清洗液的喷嘴对向地进行清洗，

在旋转板把持着第二对象物的状态下，转台旋转到干燥位置，

所述旋转板使所述第二对象物旋转，抖落附着在所述第二对象物上的清洗液，

所述转台旋转到送出位置，

所述旋转板经由搬出口将所述第二对象物送出，

所述转台旋转到放下位置，

所述移动装置经由中间搬送口将清洗后的所述第一对象物安装到所述旋转板。

清洗机同时处理两个对象物。第一对象物在运转时安装于第二把持装置，在运转中被清洗。第一对象物在下次的运转中作为第二对象物而被处理。在运转开始时，第二对象物安装于第一把持装置。第二对象物通过运转而被干燥、送出。即，搬入到清洗机的对象物在两次运转后，清洗和干燥结束，从清洗机被送出。第一对象物和第二对象物也可以是不同的种类。

飞溅罩(以下简称为“罩”)防止清洗液l漏出到外部。罩兼作安全罩。

移动装置例如是垂直多关节机器人、正交轴机器人。垂直多关节机器人例如是六轴垂直多关节机器人。正交轴机器人具有例如3轴的直线轴和1轴或2轴的旋转轴。优选的是，旋转轴中的至少一个轴绕垂直方向旋转。直行轴机器人能够利用例如专利文献1、专利文献2所记载的搬送台装置。移动装置通过第二把持装置抓住处于搬入口附近的搬入位置的对象物，并搬入到罩内。第二把持装置将对象物重复地把持在相同的位置。例如，第二把持装置具有定位销和夹紧件。处于搬入位置的对象物也可以其一部分从搬入口侵入到罩内。移动装置在把持着对象物的状态下，在清洗室内进行清洗。

清洗室具有清洗区域。清洗区域是对象物与清洗液接触的区域。在清洗区域中，固定有例如多个清洗用喷嘴。移动装置使对象物的清洗部位与多个清洗用喷嘴对向地移动。从清洗用喷嘴喷射的清洗液与清洗部位碰撞。这里，清洗部位是对象物的应该清洗的位置。清洗部位例如是内螺纹、油孔、销孔、水孔、切削面。

移动装置通过中间搬送口将对象物安装到第一把持装置。此时，中间搬送口以及中间门与第二把持装置不干涉。安装在第一把持装置上的对象物的一部分也可以向清洗室侧伸出。

中间搬送口以如下方式设置：在转台旋转时，转台、第一把持装置以及对象物不与隔板碰撞。换言之，中间搬送口包括旋转体与隔板的交叉部，所述旋转体是将转台、第一把持装置以及对象物以旋转轴为中心旋转而得到的，所述中间搬送口具有比交叉部宽的封闭区域。

优选的是，在转台旋转到搬出位置时，安装在第一把持装置上的对象物的一部分伸出到罩的外部。由此，能够缩短清洗机的宽度。由于对象物的一部分伸出到罩的外部，因此下一工序的装置(例如送出装置或组装装置)容易接收干燥后的对象物。

搬出口以如下方式设置：在转台旋转时，转台、第一把持装置以及对象物不与罩碰撞。换言之，搬出口包括旋转体与罩的交叉部，所述旋转体是将转台、第一把持装置以及对象物以旋转轴为中心旋转而得到的，所述搬出口具有比交叉部宽的封闭区域。

在搬入口设置有搬入门。搬入门例如是滑动门。搬入门对搬入口进行开闭。

在中间搬送口设置有中间搬送门。中间搬送门例如是滑动门。中间搬送门对中间搬送口进行开闭。

在搬出口设置有搬出门。搬出门例如是滑动门。搬出门对搬出口进行开闭。

转台在放下位置、干燥位置、送出位置之间旋转。在放下位置，第一把持装置朝向中间搬送口。在放下位置，移动装置将第一对象物安装到第一把持装置。优选的是，在放下位置，安装在第一把持装置上的对象物从中间搬送口向清洗室侧伸出。在干燥位置，使旋转板旋转，对第二对象物进行脱水。在送出位置，第一把持装置朝向搬出口。在送出位置，将第二对象物向下一工序送出。优选的是，在送出位置，安装在第一把持装置上的对象物从搬出口伸出到罩的外部。优选的是，转台通过伺服电机进行旋转。转台也可以通过凸轮单元进行旋转和定位。

通过转台，在向清洗室侧伸出的状态下，第一把持装置容易接收对象物，在向搬出口伸出的状态下，第一把持装置容易送出对象物。

优选利用转台和离心力进行的对象物的脱水的组合。将旋转板的中心轴线朝向中间搬送口，移动装置将对象物放下到第一把持装置，转台旋转，将中心轴线朝向搬出口，第一把持装置将对象物释放而送出到下一工序。

可旋转地支撑的旋转轴配置在转台上。也可以在转台上配置支撑筒。旋转轴通过轴承支撑于支撑筒。能够在旋转轴的一侧固定旋转板。旋转板构成第一把持装置的一部分。在旋转板上配置夹紧件。也可以在旋转板上设置定位销、就座销。

清洗机也可以包括鼓风机。鼓风机能够与内侧固定喷嘴或外侧固定喷嘴一起使用。鼓风机送出干燥空气。内侧固定喷嘴或外侧固定喷嘴喷出干燥空气。

内侧固定喷嘴和固定轴组合使用。在使用内侧固定喷嘴的情况下，旋转轴为中空圆筒状。固定轴贯通设置在旋转轴的内部。能够在固定轴的一端侧配置内侧固定喷嘴。在固定轴的内部设置有干燥空气的内侧通路。内侧通路连接鼓风机和内侧固定喷嘴。

优选的是，内侧固定喷嘴沿着旋转轴的轴线延伸。内侧固定喷嘴朝向径向外侧喷出干燥空气。内侧固定喷嘴也可以是狭缝喷嘴。中空轴的旋转轴与旋转轴的内部的固定轴、内侧固定喷嘴组合使用。内侧固定喷嘴对对象物的内部吹气。来自内侧固定喷嘴的干燥空气喷流随着对象物的旋转而与对象物的内面接触。附着在对象物的内面的清洗液等被来自内侧固定喷嘴的干燥空气喷流吹散。

外侧固定喷嘴配置在通过轴线的设置平面上。外侧固定喷嘴配置在第一把持装置和对象物旋转的轨迹的外侧。外侧固定喷嘴不与旋转的第一把持装置和对象物干涉。外侧固定喷嘴沿着使第一把持装置和对象物绕旋转轴旋转而得到的形状的外形而设置。也可以设置多个外侧固定喷嘴。优选的是，外侧固定喷嘴在从外形的外周到旋转中心轴的半周上无间隙地设置。也可以代替多个外侧固定喷嘴而设置狭缝喷嘴。外侧固定喷嘴通过外侧通路与鼓风机连接。

外侧固定喷嘴也可以与内侧固定喷嘴一起配置。也可以不配置内侧固定喷嘴，而仅配置外侧固定喷嘴。对于碗状的对象物，优选使用外侧固定喷嘴和内侧固定喷嘴这两者。

第一把持装置也可以具有包括流体缸的夹紧件。流体缸的驱动流体能够使用压缩空气。也可以在旋转轴的另一端部配置旋转流体接头。旋转流体接头具有与作为旋转轴的外面的圆筒面在旋转方向上滑动接触的固定壳体。固定壳体为中空圆筒状。在固定壳体和旋转轴之间配置环状通路。第一通路配置于固定壳体。第一通路连接压缩空气源和环状通路。第二通路配置于旋转轴。第二通路连接环状通路和流体缸。

能够使用齿轮机构来代替齿形带机构。如果使用齿形带机构，则由于没有齿隙(backlash)，因此能够正确地控制旋转板的旋转相位。齿轮机构例如是非齿隙齿轮机构。

清洗机具有高的通用性。清洗机依次搬入多个种类的对象物，利用与对象物的种类对应的程序进行清洗。清洗后的对象物被搬送到干燥室。清洗机根据对象物的种类进行最佳干燥。干燥后的对象物从搬出口被搬出。

移动装置把持从搬入口搬入的对象物，使其一边自由地移动一边进入清洗室，在把持的状态下进行清洗，清洗后直接安装在干燥机上。在清洗机与干燥机之间不包括搬送装置。由于移动装置能够使对象物相对于喷嘴自由地移动，并且能够变更姿势，因此具有高的通用性。由于能够不经由搬送装置而安装在干燥机上，因此能够减小接地面积。由于能够不经由搬送装置而安装在干燥机上，因此异物不易附着在清洗后的对象物上。干燥机的把持装置不易被污染。通过干燥机的把持装置能够抑制清洗后的对象物污染。一体地包括清洗机和干燥机，并且仅需要单元型的清洗机和单元型的干燥机的两台的设置面积的复合装置是以前不曾有的。

由于能够以从搬入口伸出一半左右的状态搬入对象物，因此在前一工序中，能够将对象物直接投入清洗机。例如，不经由搬送装置，就能够将在前一工序中加工后的对象物直接投入清洗机。

由于将对象物从搬出口伸出一半左右地进行搬出，因此下一工序容易接收被搬出的对象物。例如，下一工序的装置以使其安全罩与本申请的罩接触的方式设置，在下一工序的装置内部接收。

由移动装置进行的从第一对象物的搬入口的搬入可以与转台向干燥位置的旋转同时执行。优选的是，由移动装置进行的第一对象物的清洗与由旋转板进行的第二对象物的旋转、即第二对象物的脱水同时执行。优选的是，对第一对象物进行清洗的时间和对第二对象物进行脱水的时间实质上相同。

依次执行如下动作：转台旋转到送出位置、旋转板送出第二对象物、转台旋转到放下位置、移动装置将清洗后的第一对象物安装到旋转板。

搬入门在搬入第一对象物后，并且在喷嘴喷射清洗液之前关闭。中间搬送门在转台旋转到干燥位置后，并且在喷嘴喷射清洗液之前关闭。搬出门也可以在转台旋转到放下位置后关闭。搬出门可以在开始运转后对象物的旋转开始之前关闭。搬入门和中间搬送门可以同时关闭。

可以在搬入对象物，转台旋转到干燥位置后，并且移动装置清洗对象物，使对象物旋转并干燥之前，同时关闭搬入门、中间搬送门和搬出门。当同时关闭三个门时，步骤简单。优选的是，搬入门、中间搬送门以及搬出门打开的时间实质上相同。

搬入门可以在停止清洗液的喷射后打开。中间搬送门也可以在停止清洗液的喷射后打开。搬出门在转台旋转到送出位置之前，并且在对象物的旋转以及吹气停止后打开。中间搬送门和搬入门可以同时打开。

可以在对象物清洗、对象物干燥后，并且转台旋转到送出位置之前，同时打开搬入门、中间搬送门以及搬出门。当同时打开三个门时，步骤简单。优选的是，搬入门、中间搬送门以及搬出门关闭的时间实质上相同。

从固定喷嘴的吹风可以在对象物的内侧进行。也可以从设置在旋转轴的中心轴的内侧固定喷嘴向径向外侧喷出干燥空气。从对象物的内侧向固定的方向喷出干燥空气。由于对象物以旋转轴为中心旋转，因此随着对象物的旋转，能够向对象物的内侧的全周方向吹风。

从固定喷嘴的吹风可以在对象物的外侧进行。也可以从设置在包括旋转轴的中心轴的设置平面的外侧固定喷嘴向径向内侧喷出干燥空气。也可以从设置于设置平面的外侧固定喷嘴向中心轴的轴向且向对象物表面喷出干燥空气。由于对象物以旋转轴为中心旋转，因此随着对象物的旋转，能够向对象物的外侧的全周方向吹风。

从内侧的固定吹风和从外侧的固定吹风也可以组合实施。

优选的是，将干燥室内的空气排出到干燥室外。在对象物的干燥中，清洗液雾充满干燥室内。另外，在打开中间搬送门时，清洗室内的雾进入干燥室内。通过干燥室内的雾的排出，促进干燥。优选的是，清洗室内的空气也排出到清洗室外。从喷嘴喷射清洗液，在与对象物碰撞时，生成清洗液的雾，并充满清洗室内。通过雾的排出，清洁度容易提高。

第一对象物的清洗是指，从将搬入完成的对象物开始投入到清洗区域，到完成清洗为止的动作。能够喷出清洗液的时间最长为，从搬入门和中间搬送门这两者关闭完成，到开始打开搬入门和中间搬送门中的任一个为止的时间。在该清洗时间的期间，使对象物与清洗液喷流碰撞。

第二对象物的干燥是指从开始对象物的旋转到停止旋转为止的动作。同时，也可以对第二对象物进行吹气。对第二对象物的吹风在从对象物的旋转开始到旋转停止的期间进行。能够干燥第二对象物的时间最长为，转台处于干燥位置，中间搬送门关闭，并且搬出门关闭的时间。优选的是，清洗第一对象物的时间和干燥第二对象物的时间实质上相同。

优选的是，在停止第二对象物的旋转时，与预先设定的旋转相位一致地使旋转板停止。优选的是，在转台旋转时，保持旋转板的旋转相位。

优选用清洗机清洗后的对象物不与把持装置或搬送机接触。本申请的清洗方法将对象物在拾取的状态下进行清洗，并直接使其夹持在干燥装置的把持装置。因此，能够抑制由于其他把持装置夹持清洗后的对象物、或与搬送机接触而引起的异物附着。然后，只要把持装置释放干燥了的对象物，就会直接搬出。下一工序在干燥完成的状态下，什么也不接触，就直接接收对象物。由于清洗机将对象物从搬出口伸出并搬出，因此下一工序容易接收对象物。

发明效果

根据本发明，能够提供一种在清洗机与干燥机之间不另外设置搬送机，通用性高、紧凑的清洗机。

附图说明

图1是实施方式的清洗机的立体图。

图2是实施方式的清洗机的俯视图。

图3是表示清洗的状态的实施方式的清洗室的俯视图。

图4a是图3的iv-iv线的截面图。

图4b是实施方式的喷嘴块体的变形例。

图5是实施方式的干燥单元的立体图。

图6a是表示处于放下位置的转台的实施方式的清洗机的局部俯视图。

图6b是表示处于干燥位置的转台的实施方式的清洗机的局部俯视图。

图6c是表示处于送出位置的转台的实施方式的清洗机的局部俯视图。

图7a是实施方式的清洗方法的流程图。

图7b是实施方式的干燥方法的流程图。

图8是表示实施方式的移动装置拾取对象物的状况的局部俯视图。

图9是表示实施方式的移动装置放下对象物的状况的局部俯视图。

符号说明

1对象物

10清洗机

13隔板

15清洗室

17干燥室

19搬入口

20搬入门

21中间搬送口

22中间搬送门

23搬出口

24搬出门

25套筒(quill)(移动装置)

27把手(把持装置)

37a、37b、37c清洗喷嘴

41台(转台)

43夹具(把持装置)

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式的清洗机10进行说明。以下，将第一把持装置称为夹具。将第二把持装置称为把手。把手和夹具的读法不同是为了方便起见，实质上没有差异。

如图1所示，清洗机10包括罩11、搬入口19、隔板13、中间搬送口(以下称为“搬送口21”)、搬出口23、作为移动装置的套筒25、把手27、转台(以下称为“台41”)以及干燥单元40。干燥单元40包括夹具43。清洗机10也可以具有搬入门(以下称为“门20”)、中间门(以下称为“门22”)、搬出门(以下称为“门24”)、喷嘴块体(以下称为“块体35a、35b、35c”)以及喷嘴37a、37b、37c。

如图2所示，第一对象物1a、第二对象物1b分别具有销孔1aa、1ac和座面1ab、1ad。销孔1aa和座面1ab适合于把手27。销孔1ac和座面1ad适合于夹具43。以后，有时将第一对象物1a、第二对象物1b总称为对象物1。

罩11包围清洗机10整体。罩11俯视为l字状。罩11具有架台12。

隔板13将罩11划分为清洗室15和干燥室17。清洗室15、干燥室17分别例如为俯视矩形。隔板13防止清洗液l侵入到干燥室17。

隔板13具有搬送口21。对象物1b通过搬送口21从清洗室15向干燥室17移动。搬送口21具有在台41旋转时，对象物1b、夹具43不与隔板13碰撞的大小。

门22设置于搬送口21。本实施方式的门22在上下方向上滑动。门22在向下方移动时关闭搬送口21，在向上方移动时打开搬送口21。

罩11在清洗室15具有搬入口19。搬入口19形成于清洗室15的壁面。优选的是，搬入口19设置在清洗机10的正面(图1的跟前侧)或侧面(图1的左侧)。对象物1a从清洗室15的外部通过搬入口19向清洗室15的内部移动。

另外，清洗室15的壁面的形状没有特别限定，例如，壁面也可以是曲面。另外，搬入口19的位置也没有特别限定，例如，搬入口19也可以设置在清洗机10的背面(图1的后侧)。

门20设置于搬入口19。本实施方式的门20在上下方向上滑动。门20在向下方移动时关闭搬入口19，在向上方移动时打开搬入口19。

罩11在干燥室17具有搬出口23。搬出口23形成于干燥室17的壁面。优选的是，搬出口23设置在清洗机10的正面或侧面(图1的右侧)。搬出口23具有在台41旋转时，对象物1b、夹具43不与罩11碰撞的大小。对象物1b从干燥室17通过搬出口23移动到干燥室17的外部。

另外，干燥室17的壁面的形状没有特别限定，例如壁面也可以是曲面。另外，搬出口23的位置也没有特别限定，例如，搬出口23也可以设置在清洗机10的背面(图1的后侧)。

另外，搬入口19和搬出口23不一定需要分别形成在对向的壁面上，例如，搬入口19和搬出口23也可以分别形成在相邻的壁面上。另外，搬入口19或搬出口23也可以以包括相邻的壁面的方式形成在角部。

门24设置于搬出口23。本实施方式的门24在上下方向上滑动。门24在向下方移动时关闭搬出口23，在向上方移动时打开搬出口23。

移动装置例如是具有把手27的套筒25。底座25在前后方向(y方向)、左右方向(x方向)以及上下方向(z方向)上自由地移动。套筒25以在上下方向上延伸的旋转轴3为中心自由地旋转把手27，在旋转方向(c-方向、c+方向)上进行定位。把手27设置在套筒25的前端部。把手27把持对象物1a。套筒25也可以以在前后方向或左右方向上延伸的旋转轴(未图示)为中心旋转把手27。轴名称(x、y、z、c、v)也可以变更。

如图2所示，把手27具有板27a、夹紧件27b、落座销27c以及定位销27d。优选的是，板27a具有开口部27e(参照图1)。开口部27e使对象物1a露出。销27c与座面1ab抵接。销27c将对象物1a稳定地支撑于板27a。销27c将对象物1a相对于板27a的垂直方向定位。夹紧件27b将对象物1a固定于板27a。销27d与销孔1aa嵌合。销27d将对象物1a定位在沿着板27a的平面的方向上。夹紧件27b也可以具有气压缸、连杆以及臂。

如图1和图2所示，清洗室15在前方具有清洗区域33。块体35a在区域33的后方在左右方向上延伸。块体35a在前面具有向前方喷射清洗液的多个喷嘴37a。块体35b在区域33的左方在前后方向上延伸。块体35b在右侧面具有向右喷射清洗液的多个喷嘴37b。块体35c在区域33的前方在左右方向上延伸。块体35c在后面具有向后喷射清洗液的多个喷嘴37c。

另外，也可以在区域33的右方、上方、下方分别设置喷嘴块体。也可以在右方的块体的左面设置向左喷射的喷嘴。也可以在上方的块体的下面设置向下喷射的喷嘴。也可以在下方的块体的上面设置向上喷射的喷嘴。

如图3所示，清洗机10具有泵29。清洗机10具有与块体35a～35c相同数量的开关阀31a～31c。块体35a～35c通过阀31a～31c分别与泵29连接。阀31a～31c能够在互不相同的时机开闭。例如可以是在阀31a打开时，阀31b、31c关闭。

如图4a所示，对象物1a具有多个清洗部位2。由于图4a的块体35a实际上位于截面线iv-iv的背面，因此用双点划线表示。优选的是，喷嘴37a一维地配置在与清洗部位2对应的位置。例如，套筒25使对象物1a沿着箭头59移动。此时，喷嘴37aa配置在清洗部位2a的轨迹61a上。同样地，喷嘴37ab配置在清洗部位2b的轨迹61b上。在对象物1a沿着轨迹59移动时，喷嘴37a配置在清洗部位2的轨迹61上。

可以使用图4b所示的块体135a来代替块体35a。图4b是图3的截面线iv-iv的截面图，表示底座25使对象物1a移动到清洗位置的状态。块体135a的外形用双点划线表示。在块体135a上，以与多个清洗部位2一致的方式二维地配置有喷嘴137a。所有喷嘴137a与阀31a连接，同时喷射清洗液。根据块体135a，由于被配置在对象物1a的y轴正方向侧的所有的清洗部位2同时被清洗，因此能够进一步缩短清洗时间。另外，由于只要使对象物1a仅与块体135a一致即可，不需要使对象物1a与喷嘴37a对应地移动，因此能够进一步紧凑地构成清洗室15。

喷嘴37b、37c的配置和喷嘴37a的配置实质上相同。也就是说，各个喷嘴根据作为清洗对象的对象物1a的面上的清洗部位2的配置和对象物1a的移动轨迹，配置喷嘴。

当喷嘴37a～37c配置在清洗部位的轨迹上时，能够同时清洗多个清洗部位。因此，清洗机10能够缩短清洗时间。

图5表示配置在干燥位置67的干燥单元40。如图5所示，干燥单元40具有台41、旋转轴45、电机63以及齿形带机构65。干燥单元40也可以具有流体旋转接头(以下，称为“旋转接头47”)、固定轴48、鼓风机55、内侧固定吹风喷嘴(以下称为“喷嘴49”)、外侧喷嘴管(以下称为“管51”)、外侧吹风喷嘴(以下称为“喷嘴51a”)、背面喷嘴(以下称为“喷嘴53a”)以及背面喷嘴管(以下称为“管53”)。

台41具有底面板41a、立板41b以及支撑筒41c。底面板41a旋转自如地被架台12支撑。立板41b可以以用多片板折弯的方式配置。支撑筒41c在水平方向上配置。支撑筒41c为中空圆筒状。

如图5所示，旋转轴45通过轴承支撑在支撑筒41c的内部。旋转轴45贯通支撑筒41c。旋转轴45以配置在水平方向的中心轴5为中心可旋转地被支撑。

夹具43具有旋转板43a、夹紧件43b、落座销43c以及定位销43d。

旋转板43a固定于旋转轴45的第一端部。这里，所谓第一端部是指位于放下位置71时的、搬送口21方向(图2的左方向、图5的下斜左方向)。旋转板43a与旋转轴45一体地旋转。板43a也可以具有中央板43e以及多个延长板43f。中央板43e设置在中心轴5的中央。本实施方式的中央板43e为三角形。延长板43f为细长的棒状，从中央板43e的顶点以放射状延伸。中央板43e和延长板43f可以一体地形成。

夹紧件43b、销43c以及销43d设置在延长板43f的前端部。夹紧件43b、销43c以及销43d以处于放下位置71时朝向搬送口21的方式配置。夹紧件43b夹持对象物1b。销43c与对象物1b的座面1ad抵接。销43d与对象物1b的销孔1ac嵌合。

旋转接头47设置在旋转轴45的第二端部。旋转接头47从其外面侧通过旋转轴45供给夹紧件43b的驱动流体(例如压缩空气)。

电机63固定于立板41b。电机63优选为伺服电机。电机63的搬出轴63a与中心轴5平行。电机63和旋转轴45通过齿形带机构65连接。齿形带机构65包括驱动齿形滑轮65a、从动齿形滑轮65b以及环形齿形带65c。滑轮65a固定于轴63a。滑轮65b固定于旋转轴45。齿形带机构65是减速机构。电机63仅在台41处于干燥位置67时旋转。电机63通过齿形带机构65使夹具43向v+或v-方向旋转。电机63也可以仅向v+或v-的任意一个方向旋转。

旋转轴45的内侧由轴承支撑于固定轴48。固定轴48与旋转轴45同轴地固定。优选的是，固定轴48贯通旋转接头47。

喷嘴49固定于固定轴48的前端部。喷嘴49沿着中心轴5延伸。优选的是，喷嘴49具有狭缝49a。固定轴48在内部沿着中心轴5具有通路50d。通路50d与喷嘴49连接。通路50a是外部配管。通路50a连接鼓风机55和通路50d。

固定轴48或喷嘴49贯通板43a。

管51和喷嘴51a配置在通过中心轴5的设置平面上。管51和喷嘴51a以在对象物1b和夹具43旋转时不碰撞的方式配置。即，管51和喷嘴51a配置在对象物1b和夹具43旋转而得到的封闭区域的外侧。优选的是，管51沿着对象物1b的外面配置。本实施方式的管51为l字状。管51从中心轴5向径向的一侧延伸，在离开中心轴5的位置折弯，在中心轴5的轴向上延伸。管51固定于台41或架台12。

喷嘴51a沿着管51设置有多个。喷嘴51a朝向对象物1b配置。

管53设置在板43a的背面。管53在中心轴5的径向上延伸。在图5中，管53在上下方向上延伸。管53固定于台41或架台12。喷嘴53a设置在管53的靠一侧。喷嘴53a通过管53以及通路50b与鼓风机55连接。喷嘴53a从板43a的背面吹对象物1b。

如图2、图5以及图6a～图6c所示，台41以旋转轴7为中心旋转。台41在放下位置71、干燥位置67以及送出位置69之间旋转。如图6a所示，在放下位置71，夹具43朝向搬送口21。在将对象物1b安装在处于放下位置71的夹具43上时，对象物1b从搬送口21向清洗室15伸出。放下位置71是衬套25将对象物1b插入到夹具43的位置。如图6b所示，干燥位置67是干燥对象物1b的位置。例如，干燥位置67是从上方观察从放下位置顺时针旋转了90°的位置。在干燥位置67上，夹具43与对象物1b一起旋转，通过离心力使附着在对象物1b上的清洗液跳起。如图6c所示，送出位置69是将对象物1b向下一工序送出的位置。例如，送出位置69是从放下位置71旋转了180°的位置。在送出位置69，对象物1b朝向搬出口23。在处于送出位置69时，对象物1b从搬出口23向罩11外侧伸出。送出位置69也可以是板43a与下一工序的装置的移动轴平行。

参照图7a，对由清洗机10进行的清洗方法进行说明。

套筒25把持对象物1，搬入清洗室15内(s11)。如图8所示，在向搬入口19插入一半左右的状态下，前一工序的装置(未图示)将对象物1插入清洗机10。套筒25将把手27移动到即将拾取之前位置72。在位置72，定位销27d与销孔1aa对齐。套筒25使对象物1沿着箭头73移动。将定位销27d插入销孔1aa。使就座销27c与座面1ab接触。夹紧件27b夹持对象物1。在把持着对象物1的状态下，底座25将对象物1完全容纳在清洗室15中。

然后，关闭搬入门20(s12)。关闭中间搬送门22(s13)。由此，清洗室15关闭。步骤s12、s13可以同时执行。

对象物1的清洗(s14)按每个块体35a～35c执行。以块体35a～35c的数量重复步骤s14(s15)。

驱动泵29，打开阀31a。向块体35a供给清洗液。喷嘴37a喷射清洗液。套筒25使对象物1沿着程序化的路径59移动。多个清洗部位2与任一个喷嘴37a对向。从喷嘴37a喷出的清洗液与清洗部位2碰撞，清洗部位2内的异物被冲洗。清洗后，关闭阀31a。喷嘴37a停止清洗液的喷射(s14)。

接着，打开阀31b。喷嘴37b喷射清洗液。底座25使对象物1沿着程序化的路径(未图示)移动。从喷嘴37b喷出的清洗液与清洗部位2碰撞，清洗部位2被清洗。然后，关闭阀31b，喷嘴37b停止清洗液的喷射(s14)。

接着，打开阀31c。喷嘴37c喷射清洗液。底座25使对象物1沿着程序化的路径(未图示)移动。从喷嘴37c喷出的清洗液与清洗部位2碰撞，清洗部位2被清洗。然后，关闭阀31c，喷嘴37c停止清洗液的喷射(s14)。

由喷嘴37a、37b、37c进行的清洗的顺序可以变更。

然后，打开搬入门20(s16)。然后，打开中间搬送门22(s17)。步骤s16也可以与步骤s17同时执行。然后，使对象物1移动到干燥室17(s18)。然后，在将接下来清洗的对象物1搬入清洗室15时，再次返回步骤s11，重复上述步骤。

接着，参照图7b，对干燥方法进行说明。

首先，台41使夹具43旋转到放下位置71(s21)。

然后，套筒25将清洗后的对象物1安装于夹具43(s22)。如图9所示，套筒25将把手27移动到即将放下之前位置75。套筒25使把手27的位置和姿势与对象物1一致。套筒25以将定位销27d插入销孔1ac的方式沿着箭头77移动。就座销43c与座面1ad接触。夹紧件43b夹紧对象物1。然后，把手27释放对象物1。套筒25使把手27返回到即将放下之前位置75。

台41使对象物1旋转到干燥位置67(s23)。关闭中间搬送门22(s24)。关闭搬出门24(s25)。步骤s24、s25也可以同时执行。

电机63使旋转轴45、夹具43以及对象物1旋转(s26)。优选的是，对象物1以旋转数200～500rpm旋转。附着在对象物1上的清洗液通过离心力而被抖落。当旋转数为200rpm以上时，对象物1的脱水效果提高。

鼓风机55向管51搬送干燥空气。喷嘴51a向对象物1的外面喷出干燥空气。附着于对象物1的外面的清洗液被干燥空气吹散。

鼓风机55向喷嘴49搬送干燥空气。喷嘴49向对象物1的内面喷出干燥空气。附着于对象物1的内面的清洗液被干燥空气吹散。

鼓风机55向管53搬送干燥空气。喷嘴53a向对象物1的背面喷出干燥空气。附着于对象物1的背面的清洗液被干燥空气吹散(s27)。

步骤s27也可以与步骤s26同时执行。由于对象物1进行旋转，因此从喷嘴49、51a、53a喷出的干燥空气被吹到对象物1的大致全周。

干燥室17由清洗室15、隔板13以及门22分开。在清洗室15内喷出的清洗液不侵入干燥室17。相对于先清洗的对象物1的步骤s26、s27和相会于后面清洗的对象物1的步骤s14、s15也可以同时执行。优选的是，清洗时间和干燥时间实质上相同。

然后，打开中间搬送门22(s28)。然后，打开搬出门24(s29)。步骤s28也可以与步骤s29同时执行。

台41旋转到送出位置(s30)。步骤s30在步骤s29之后执行。这是因为，通过步骤s30，台41能够旋转到送出位置69。

夹具43送出干燥后的对象物1(s31)。具体而言，夹紧件43b释放对象物1。下一工序的装置(未图示)拾取对象物1。下一工序的装置例如是组装装置、搬出机器人等。下一工序的装置拾取对象物1，并将其移动到对台41的旋转没有障碍的区域。下一工序的装置也可以向清洗机10发送拾取完成信号。清洗机10确认送出的结束。

然后，在将接下来干燥的对象物1移动到干燥室17时，再次返回步骤s21，重复上述步骤。

另外，在依次进行多个对象物1的清洗、干燥的情况下，步骤s13和s24、步骤s17和s28、步骤s18和s22成为相同的工序。

本发明不限于上述的实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变形，在权利要求书中记载的技术思想中包括的技术事项全部成为本发明的对象。上述实施方式表示了优选的例子，但是本领域技术人员能够根据本说明书中公开的内容，实现各种代替例、修正例、变形例或改良例，这些包括在附加的权利要求书所记载的技术范围内。