度(不高于沸点)与时间，点击“开始”键后，加热器(例如PTC加热器)开始加热。
[0131]d)温度传感器(例如内置于原始酸液中的温度传感器)不断采集酸液的温度信号，并传送给电脑，软件根据设定值与实际值，自动判断是否继续加热或停止，从而保持酸液温度稳定在设定值。
[0132]e)干净酸液在低于沸点的温度下，缓慢蒸发，酸蒸汽通过套管内管的酸蒸汽通路(例如，如图2和图4的标号220所指示的酸蒸汽通路)上升，并从四周和/或顶部的酸蒸汽排出孔(例如，如图4的标号230和330所指示的酸蒸汽排出孔)中喷出到器皿的内表面上，进行酸清洗，如图12的示意图所示。
[0133]f)清洗过的酸汽凝结为酸液，经排废口(例如，图8的标号901指示的排废口 )排出系统，如图13的示意图所示。
[0134]g)在程序运行过程中，原始酸液位传感器(例如如图7所示的非接触式液位传感器13)不断采集干净酸液即原始酸液的液位变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最低值时，自动终止程序，而无论加热时间是否到达。
[0135]h)在程序运行过程中，废酸液位控制器不断收集废酸容器，并传送给电脑，当达到预先设定的最高值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。
[0136]i)当加热时间达到预设值时，系统停止加热，即停止酸清洗，步骤S4100的酸清洗步骤完成，即系统自动转入纯水冲洗阶段，即前进到步骤S4200。
[0137]在步骤S4200中，进行纯水喷淋，以纯水喷淋经酸蒸气清洗后的器皿内外表面。
[0138]具体地，例如，超纯水被水栗从超纯水瓶中抽出，进入酸蒸清洗系统，然后例如充满上下支架之间的密闭空间，然后在压力作用下，一部分经外管上的水/气进入孔(如图3的标号310所示)进入内外管之间的水/气通路(如图2、图4的210所示)，从外管上的水/气排出孔(如图2、图4所示的320所示)喷出到器皿表面，将残留在上面的酸液冲洗掉；一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面残留的酸液冲洗掉，这些夹带着酸液的“脏水”，也从排废口排出到废水瓶，如图14和15所示。
[0139]在程序运行过程中，纯水液位控制器不断采集干净水的液位变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最低值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。
[0140]在程序运行过程中，废水液位控制器不断采集废水瓶重量的变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最高值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。
[0141]当纯水冲洗时间达到预设值时，系统停止冲洗，步骤S4200完成。系统自动转入热空气干燥阶段，前进到步骤S4300。
[0142]在步骤S4300中，进行热空气干燥，以热空气干燥经纯水喷淋的器皿内外表面。
[0143]具体地，例如空气被空压机抽进管路，并经过加热后进入过滤器，过滤掉大于例如0.lum的颗粒及病菌等污染物，然后进入酸蒸清洗器，类似于纯水冲洗的流程，先充满上下支架之间的整个密闭空间，然后在压力作用下，经外管上的水/气进入孔(如图3的标号310所示)进入内外管之间的水/气通路(如图2、图4的210所示)，从外管上的水/气排出孔(如图2、图4所示的320所示)喷出到器皿内表面，将内壁干燥；一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面干燥，这些夹带着水分的“湿空气”，也从排废口排出，如图16和图17所示。
[0144]当干燥时间达到预设值时，系统停止空压机和空气加热器。整个流程全部结束。
[0145]五、实施例5:集成式原始酸液位控制部件
[0146]根据本发明的一个实施例，酸蒸清洗器配置有集成式原始酸液位控制部件。
[0147]图18(a)和(b)分别示出了根据本发明实施例的集成式原始酸液位控制部件800(例如，可用作图7中所示的部件8)的立体视图和剖面图。集成式原始酸液位控制部件800配置为将加液漏斗810、液位管820和排废液阀830 —体化，原始酸通过加液漏斗810进入原始酸液容器内部，液位管820的液位反映原始酸液容器的液位，排废液阀830打开时能够排出废液。
[0148]盖子840盖在加液漏斗810上，固定螺丝孔850和860供通过螺丝将集成式原始酸液位控制部件800固定在如图1所示的原始酸液容器1上。
[0149]870和880分别指示上接口部分和下接口部分，与原始酸液容器内部联通。890指示排废液口，当打开头排废液阀830时，原始酸液容器1中的溶液经由下接口部分880从排废液口 890排出。
[0150]本实施例的集成式原始酸液位控制部件800能够集中实现加液、排液和液位监测功能，具体地:
[0151]加液:打开盖子840，向加液漏斗810倒入原始酸液，液体会通过上接口部分870和下接口部分880联通的上下两个通路进入原始酸液容器主体内部。
[0152]排液:旋转排废液阀90 °，废液将从排废液口 890排出。
[0153]液位:通过观察液位管820，可以目测当前液位情况。
[0154]本实施例的集成式原始酸液位控制部件800将液位管、加液漏斗、排废液阀合而为一，既可以观察液位变化，又可以作为漏斗来加液，还可以排废液；避免了传统的漏斗、液位管和排废液阀互相分离的方案加完酸液前后漏斗需安装拆卸的麻烦，从而避免了漏斗存放过程中的污染。
[0155]六、实施例6:内置式温度传感器装置
[0156]如前所述，在传统的酸蒸清洗器中，对于用于测量原始酸温度的温度传感器，为避免温度传感器被高温强酸轻易地腐蚀，温度传感器均安装在容器外面，避免与强酸接触，但是这样的安装方式测量的是容器外壁的温度，无法反映酸液的真实温度，通常溶液温度与容器外壁的温度要相差10-30°C，温度的测量误差很大；而且现有技术中，通常温度控制器是多档位型的，而不是连续可调型，只能大概设定一个温度值，无法进行准确的温度设定。
[0157]根据本发明的实施例，提供了一种内置式温度传感器装置，温度传感器直接放置在酸液中。控制器设置温度阈值，接收酸液温度传感器测量的温度，将该温度与温度阈值相比较，并相应地控制加热器。
[0158]在一个示例中，采用热电偶型温度传感器和配套部件。该实施例的温度传感器装置需要解决两个问题:1、热电偶导线和热电偶头不能和酸液直接接触；2、热电偶头所接触的介质温度要等于或基本等于酸液的温度。
[0159]在一个示例中，采用毛细热电偶传导线(例如，外径约0.8mm)，将该热电偶穿入内径例如约1mm的PTFE(聚四氟乙烯)毛细管中，然后PTFE毛细管穿过支撑管内孔，并在绕管器上缠绕一周后又进入支撑管，然后两根PTFE毛细管再通过原始酸液容器壁上的连接孔延伸出桶外。
[0160]在一个示例中，两条热电偶导线可以被置于聚四氟乙烯PTFE毛细管中，PTFE毛细管被置于支撑管中，支撑管被置于原始酸液容器内，PTFE毛细管通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外。
[0161]在一个示例中，所述支撑管下端连接有绕管器，所述支撑管内的PTFE毛细管穿过支撑管内孔出来，并在绕管器上缠绕一周后又经支撑管的孔进入支撑管，然后沿着支撑管向上延伸，最后从支撑管的孔并通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器夕卜，其中热电偶头部分处于所述PTFE毛细管被缠绕的一周内，且热电偶头部分与PTFE毛细管接触。
[0162]在一个示例中，所述两条热电偶导线可以对向接触成看似一条导线，对向接触部分成为热电偶头。
[0163]图19(a)和(b)分别示出了根据本发明一个实施例的热电偶型温度传感器装置400的立体图和剖面图。
[0164]标号441指示例如进入支撑管410的热电偶传导线部分，其外部套有PTFE(聚四氟乙烯)毛细管。PTFE材料可耐受250度高温和强酸强碱腐蚀，相当于给热电偶穿上了一层保护膜，起到了防腐蚀的作用。本文中PTFE材料可以被其他耐高温和强酸强碱腐蚀的材料代替，例如PFA(Perfluoroalkoxy alkane，全氟烧氧基树脂)材料。
[0165]然后热电偶传导线沿着支撑管410向下延伸，从支撑管410上的接近绕管壁420处的出口(未示出)伸出，然后在绕管器420上缠绕一周后又经支撑管410上的入口(未示出)进入支撑管410，然后沿支撑管410向上延伸，最后从支撑管420上部出口(未示出)伸出，然后从支撑管420伸出的部分442通过原始酸液容器壁上的连接孔伸出原始酸液容器外。热电偶感应头450位于所述PTFE毛细管缠绕在绕管壁420的一周内，例如如图所示处于绕管壁420的正下方处，以与酸液接触。通过绕管器圆形的回转方式，能够避免直接对折引起的PTFE毛细管容易破裂的问题。
[0166]为了使得热电偶感应头感测的温度为酸液的温度，进行热电偶导线和PTFE毛细管的直径设计，使得热电偶导线与PTFE毛细管紧密接触，例如，PTFE毛细管与热电偶导线之间的直径差小于2mm，优选小于1mm，更优选地小于0.5mm。
[0167]图20示出了根据本发明另一实施例的热电偶型温度传感器500的立体示意图。
[0168]如图20所示，在热电偶导线(两条)510外包裹着PTFE包裹层520。热电偶感应头即热电偶探头530所直接接触的介质温度应该等于或者基本等于酸液的温度，为此，应使得热电偶感应头紧密接触PTFE包裹层，PTFE包裹层直接接触酸液，可以认为PTFE包裹层的温度等于酸液的温度。为保证此热电偶感应头和PTFE包裹层的紧密接触，在图5所示的示例中，在热电偶感应头即探头的位置采用热压方法使探头与PTFE壁完美结合。进一步地，为杜绝外界冷空气进入而造成干扰，在导线上设计了多个密封点540，也采用热压方法密封。作为热压方法的替代，也可以采用焊接方法来达到紧密接触的目的。
[0169]热电偶传导线为例如毛细热电偶传导线，例如外径约0.8_，热电偶表面包裹壁厚约例如0.5mm的PTFE包裹层。PTFE材料可耐受250度高温和强酸强碱腐蚀，相当于给热电偶穿上了一层保护膜，起到了防腐蚀的作用。并且探头位置通过热压方法或焊接方法与薄壁充分结合，测温更准确、更快速。
[0170]七、实施例7:原始酸非接触式液位传感器、废酸液位监测器和废水液位监测器
[0171]如前所述，现有技术的原始酸液容器中，没有液位传感器，考虑到原始酸液容器长期在高温(高于100°c情况下)工作，如果液位传感器紧贴容器外壁安装的话，会很容易造成紧贴容器外壁的液位传感器过热而失效或损坏。根据本发明的一个实施例，原始酸液容器的原始酸液位传感器采用非接触式超声波液位传感器，自动感应液位变化，一旦液位低于设置值，即发送电压信号给软件，软件即自动关机，避免了人员疏忽与重大火灾隐患；而且根据本发明实施例的特殊的液位传感器，其测量表面与容器外壁不直接接触，保持一定的、例如2_的空间，避免了热量的快速积累而容易失效或损坏的