用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种超声波清洗花篮，具体涉及一种用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮。
【背景技术】
[0002]超声波清洗的一般流程是将待洗件垂直放入清洗花篮中，利用夹持机构在待洗件侧面夹紧，使待洗件稳定且清洗面与液体完全接触。之后将清洗花篮依次放置到不同频率的超声波清洗槽中，一般在第一个清洗槽中会添加相应的清洗剂来提高清洗效果。之后还需将清洗花篮放入慢拉脱水、酒精烘干等用于脱水烘干的设备中，避免在清洗面留下水渍。
[0003]在超声波清洗过程，清洗花篮作为夹持支撑工具是十分重要的。清洗花篮一般由框架和夹持机构构成。框架需要依据清洗槽体的尺寸进行设计，以保证待洗件能够与液体的大面积接触。夹持机构一般使用三个或以上的V字结构在侧面和底部夹持待洗件。在市场上，对于面积、质量较小，且具有生产标准的待洗件，如I?4英寸的Si片，熔石英等都有合适的固定尺寸的清洗花篮。对于一些面积、质量较大的非标准件，也可以使用一些可调节的清洗花篮实现夹持。
[0004]但是，在实际操作中，针对较大口径光学基底，如直径150mm?450mm左右，厚度10mm?200mm左右的光学基底，使用上述的由上方垂直放入的清洗花篮显然是十分不便，同时易碰触到待洗件的光学表面造成损伤的。
【发明内容】
[0005]本发明要解决现有超声波清洗花篮不便于清洗较大口径的光学基底，清洗时易碰触到待洗件光学表面造成损伤的技术问题，提供一种用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮。
[0006]为了解决上述技术问题，本发明的技术方案具体如下:
[0007]—种用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮，是由框架、六个支撑杆、十二个夹持垫圈、三个固定侧梁和三个活动侧梁构成；
[0008]所述框架的一侧设置了三个固定侧梁，所述固定侧梁上开有长条状孔的滑道;所述支撑杆的两端开有通孔，用于固定连接支撑杆与所述固定侧梁，所述支撑杆可以在所述固定侧梁上沿滑道移动；
[0009]第一支撑杆和第二支撑杆与第一固定侧梁连接，第三支撑杆和第四支撑杆与第二固定侧梁连接，第五支撑杆和第六支撑杆与第三固定侧梁连接；
[0010]所述夹持垫圈紧固的套在支撑杆上，通过一对套在支撑杆上的相对的夹持垫圈实现对待洗光学基底的两面夹持，同时保护待洗光学基底不与硬质的支撑杆接触；
[0011 ]第一夹持垫圈和第二夹持垫圈相对地套在第一支撑杆上，第三夹持垫圈和第四夹持垫圈相对地套在第二支撑杆上，第五夹持垫圈和第六夹持垫圈相对地套在第三支撑杆上，第七夹持垫圈和第八夹持垫圈相对地套在第四支撑杆上，第九夹持垫圈和第十夹持垫圈相对地套在第五支撑杆上，第十一夹持垫圈和第十二夹持垫圈相对地套在第六支撑杆上；
[0012]所述框架的另一侧设置了三个与所述固定侧梁相对应的活动侧梁，可以实现拆卸，并与所述固定侧梁具有相同的滑道，可以固定支撑杆。
[0013]在上述技术方案中，所述框架是由不锈钢的材料杆构成的立方体框架，所述材料杆的直径为6mm。
[0014]在上述技术方案中，所述固定侧梁的结构为板状结构，宽度为8mm。
[0015]在上述技术方案中，所述固定侧梁上开有长条状孔的滑道的宽度为5mm，长度小于框架长度。
[0016]在上述技术方案中，所述支撑杆的材料为不锈钢材料。
[0017]在上述技术方案中，所述支撑杆的直径为6_，长度与框架宽度相当。
[0018]在上述技术方案中，所述夹持垫圈的材料为聚四氟乙烯材料。
[0019]在上述技术方案中，所述夹持垫圈为轴对称结构，中间有通孔，尺寸与支撑杆直径相当。
[0020]上述技术方案中，所述夹持垫圈的截面为凸字形、直角三角形或阶梯形形状。
[0021 ]上述技术方案中，所述活动侧梁的材料为不锈钢材料。
[0022]本发明的有益效果是:
[0023]本发明提供的用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮，特别适合用于清洗直径为150mm?450mm左右，厚度I OOmm?200mm左右的光学基底。使用本发明提供的超声波清洗花篮操作步骤简单，对待洗光学基底夹持稳定，能够有效的避免在待洗光学基底放入清洗花篮的操作过程中对其光学表面的碰触风险。
【附图说明】
[0024]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细说明。
[0025]图1为用本发明提供的用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮夹持待洗光学基底的结构不意图。
[0026]图2为本发明提供的用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮的结构示意图。
[0027]图中的附图标记表示为:
[0028]1-框架，2-支撑杆，3-夹持垫圈，4-固定侧梁，5-活动侧梁，6_待洗光学基底；
[0029]21-第一支撑杆，22-第二支撑杆，23-第三支撑杆，24-第四支撑杆，25-第五支撑杆，26-第六支撑杆，31-第一夹持垫圈，32-第二夹持垫圈，33-第三夹持垫圈，34-第四夹持垫圈，35-第五夹持垫圈，36-第六夹持垫圈，37-第七夹持垫圈，38-第八夹持垫圈，39-第九夹持垫圈，310-第十夹持垫圈，311-第^^一夹持垫圈，312-第十二夹持垫圈，41-第一固定侧梁，42-第二固定侧梁，43-第三固定侧梁，51-第一活动侧梁，52-第二活动侧梁，53-第三活动侧梁。
【具体实施方式】
[0030]下面结合附图对本发明做以详细说明。
[0031]如图1和2所示:一种用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮是由框架1、六个支撑杆2、十二个夹持垫圈3、三个固定侧梁4和三个活动侧梁5构成;所述框架I的一侧设置了三个固定侧梁4，所述固定侧梁4上开有长条状孔的滑道;所述支撑杆2的两端开有通孔，用于固定连接支撑杆2与所述固定侧梁4，所述支撑杆2可以在所述固定侧梁4上沿滑道移动；第一支撑杆21和第二支撑杆22与第一固定侧梁41连接，第三支撑杆23和第四支撑杆24与第二固定侧梁42连接，第五支撑杆25和第六支撑杆26与第三固定侧梁43连接;所述夹持垫圈3紧固的套在支撑杆2上，通过一对套在支撑杆2上的相对的夹持垫圈3实现对待洗光学基底6的两面夹持，同时保护待洗光学基底6不与硬质的支撑杆2接触;第一夹持垫圈31和第二夹持垫圈32相对地套在第一支撑杆21上，第三夹持垫圈33和第四夹持垫圈34相对地套在第二支撑杆22上，第五夹持垫圈35和第六夹持垫圈36相对地套在第三支撑杆23上，第七夹持垫圈37和第八夹持垫圈38相对地套在第四支撑杆24上，第九夹持垫圈39和第十夹持垫圈310相对地套在第五支撑杆25上，第^^一夹持垫圈311和第十二夹持垫圈312相对地套在第六支撑杆26上;所述框架I的另一侧设置了三个与所述固定侧梁4相对应的活动侧梁5，可以实现拆卸，并与所述固定侧梁4具有相同的滑道，可以固定支撑杆2。所述框架I需要根据所用超声波清洗机