一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种清洗设备，具体涉及一种可以提高多晶硅棒清洗效果的超声波清洗箱。
【背景技术】
[0002]目前，在多晶硅铸锭生产中，硅锭剖方成硅棒后，由于在剖方工序中要用到砂浆等辅助材料，其中的金刚砂等因素会在硅棒表面形成很多微坑，各种杂质会附着在微坑里及硅棒其他表面上，如不加以清洗洁净，会对下游的加工工序造成不良影响，进而影响多晶硅片产品的品质。因此，从硅锭剖方成硅棒后，工厂都要对硅棒进行超声波清洗。当前多晶硅铸锭工厂通常是将多晶硅棒直接放在普通的超声波清箱中进行清洗。由于普通的超声波清箱底部是光滑平坦的，多晶硅棒放入后与其密切接触，接触的一面超声清洗的效果不好，需要操作工经常去翻动硅棒；另外，由于多晶硅棒与箱底密切接触，在超声的过程中容易发热，造成振子跟箱体脱落，以及电气元件进水烧掉。同时，普通的超声波清洗箱是敞口开放的，一旦超声液中有化学挥发成分(或者超声清洗过程中反应产生化学挥发成分)，则会气味扩散，甚至会腐蚀超声波清洗箱或所在环境中的其他设备仪器，减少其使用寿命。
【发明内容】
[0003]本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供了一种能提高超声波清洗效果，并减少操作过程中环境气体污染的一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱。
[0004]—种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱包括箱体、超声振子、箱口回水槽、格状架子、回流孔、盖子及手柄，所述超声振子位于箱体的底部的夹层里，箱口设有箱口回水槽、回水槽上设有两个回流孔，所述格状架子安装在箱体底部上，所述箱体上设有盖子，盖子上设有手柄。工作时，将硅棒插入格状架子中，盖上盖子，启动超声波清洗机开始工作。
[0005]作为优选，所述格状架子的规格根据硅棒的大小设计，方便使用。
[0006]作为优选，所述格状架子采用耐酸碱材料制成，经久耐用。
[0007]本实用新型超声波清洗箱具有以下技术优势:
[0008]1、因超声波清洗箱底部铺设有格状架子，硅棒跟超声波清洗箱底部不会直接并且密切的接触，提高了硅棒朝下一面的清洗效果，不需要人工在超声波清洗过程中翻转硅棒，提尚生广效率。
[0009]2、超声波清洗箱上加有盖子，可以防止有可能产生的气味扩散，改善超声波清洗箱所在环境，减少环境中其他设备仪器的腐蚀侵害。
[0010]3、箱口回水槽上设有回流孔，可以防止水满溢出。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型箱体俯视图。
[0012]图2为本实用新型箱体侧面剖视图。
[0013]图3为本实用新型箱盖俯视图。
[0014]图4为本实用新型箱盖侧视图。
[0015]附图标记说明:
[0016]I为格状架子，2为箱口回水槽，3为箱体，4为超声振子，5为盖子，6为手柄，7为回流孔。
【具体实施方式】
[0017]下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
[0018]实施例:参看图1-4，一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱包括箱体3、超声振子4、箱口回水槽2、格状架子1、回流孔7、盖子5及手柄6，所述超声振子4位于箱体3的底部的夹层里，箱口设有箱口回水槽2、箱口回水槽2上设有两个回流孔7，所述格状架子I安装在箱体3底部上，所述箱体3上设有盖子5，盖子5上设有手柄6。工作时，将硅棒放入格状架子I上，盖上盖子5，启动超声波清洗机开始工作。
[0019]最后，应当指出，以上实施例仅是本实用新型较有代表性的例子。显然，本实用新型不限于上述实施例，还可以有许多变形。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均应认为属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，包括箱体、超声振子、箱口回水槽、格状架子、回流孔、盖子及手柄，其特征在于所述超声振子位于箱体的底部的夹层里，箱口设有箱口回水槽、回水槽上设有两个回流孔，所述格状架子安装在箱体底部上，所述箱体上设有盖子，盖子上设有手柄。2.根据权利要求1所述一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，其特征在于所述格状架子的规格根据硅棒的大小设计。3.根据权利要求1所述一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，其特征在于所述格状架子米用耐酸碱材料制成。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，该超声波清洗箱包括箱体、超声振子、箱口回水槽、格状架子、回流孔、盖子及手柄，所述超声振子位于箱体的底部，箱体内设有箱口回水槽，箱口回水槽上设有两个回流孔，所述格状架子安装在超声振子的上端，所述箱体上设有盖子，盖子上设有手柄。本实用新型超声波清洗箱提高了硅棒朝下一面的清洗效果，不需要人工在超声波清洗过程中翻转硅棒；改善超声波清洗箱所在环境，减少环境中其他设备仪器的腐蚀侵害。
【IPC分类】B08B3/12
【公开号】CN204974593
【申请号】CN201520678089
【发明人】郑王海, 汪新平, 王文广
【申请人】浙江晟辉科技有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年9月2日