管路粉尘清洁器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体领域，涉及一种管路粉尘清洁器。
【背景技术】
[0002]在集成电路制造中，二氧化硅层的生长是重要的一个环节，其反应方程式为:Si (O
C2H5)4+02----->Si02+副产物(by-products)。由于反应气体充斥于整个反应腔体，不仅会在晶圆表面生长二氧化硅膜从而达到工艺目的，也会在晶圆表面之外的其他地方形成二氧化硅粉末，为了维持正常的工艺过程序要保证腔体内的压力小于4Torr，整个过程需要由栗不停的抽出反应气体，从而导致了工艺过程中产生的多余二氧化硅粉末会经过管路到达栗然后排出，经过一段时间，大量的二氧化硅粉末会凝固在管路内壁甚至堵塞管路，导致腔体内压力过高，影响二氧化硅层的质量。此现象在大量生产Ilk埃厚度以上的膜时尤为明显。
[0003]目前，为了维持反应腔体排气管路畅通，一般每当腔体生产晶圆超过10000片的时候，需要停机维护，拆开管路清除粉末，全过程需要12小时左右(不包含机台监测(monitor)准备时间)，并且会对无尘室周围环境造成一定的影响。如果大量生产比较厚的二氧化硅层，往往8000片就需要停机维护。
[0004]因此，如何提供一种管路粉尘清洁装置，以解决工艺腔体的排气管路堵塞问题，减少停机清管路的频率，从而提高机台的可运行时间，从而提高生产效率，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
【实用新型内容】
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种管路粉尘清洁器，用于解决现有技术中工艺腔体的排气管路清洁效率低的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种管路粉尘清洁器，包括:
[0007]基座，所述基座内部形成有一收容空间，顶部具有第一开口，底部具有第二开口 ；
[0008]齿圈，水平设于所述收容空间内；
[0009]至少一个旋转铲，所述旋转铲底端与所述齿圈连接，顶端从所述第一开口伸出；
[0010]旋转轴，穿通所述基座一侧面，且内端伸入所述收容空间内；
[0011]齿轮，连接于所述旋转轴内端，并与所述齿圈相配合，随所述旋转轴的旋转带动所述齿圈转动，进而带动所述旋转.产运动。
[0012]可选地，所述旋转铲包括柱状主体及连接于所述柱状主体侧面的刮片。
[0013]可选地，所述柱状主体为圆柱体或多面柱体。
[0014]可选地，所述刮片的横截面尺寸由内而外逐渐减小。
[0015]可选地，所述刮片的横截面图形呈弧线弯曲。
[0016]可选地，所述柱状主体为圆柱体，所述刮片的外侧面与所述柱状主体的外侧面平滑连接。
[0017]可选地，所述旋转铲的数量为2-15个，均匀分布于所述齿圈上。
[0018]可选地，所述旋转铲与所述齿圈可拆卸连接。
[0019]可选地，所述齿圈上设有销子，所述旋转铲底部设有与所述销子相配合的销孔。
[0020]可选地，所述旋转铲与所述齿圈焊接连接。
[0021]可选地，所述齿圈通过设于所述收容空间底部的滚动轴承承载于所述收容空间内。
[0022]可选地，所述第二开口边缘设有突出台阶，所述滚动轴承的内圈卡于所述突出台阶，夕卜圈卡于所述齿圈。
[0023]可选地，所述旋转轴与所述基座的连接处设有动密封圈。
[0024]可选地，所述旋转轴外端连接有一旋钮。
[0025]可选地，所述基座侧壁设有一与所述收容空间连通的排气孔，所述排气孔上可开合的设有用于密封或开启所述排气孔的盖体。
[0026]可选地，所述基座顶部和底部均设有管路安装孔。
[0027]如上所述，本实用新型的管路粉尘清洁器，具有以下有益效果:本实用新型的管路粉尘清洁器可安装于工艺腔体的排气管路之间，具体可安装于待清理管道下方、门板阀(gate valve)上方，清洁器的旋转铲伸入待清理管道内，并与管道内壁接触。随着沉积工艺的进行，工艺过程中产生的多余粉末凝固在管道内壁及所述旋转铲表面。当所述管路粉尘清洁器工作时，无需拆开管路，外部扭力通过旋转轴带动内部齿圈转动，旋转铲随着齿圈一起转动，从而将管道内部的二氧化硅层或其它材料粉末凝固层铲下。由于二氧化硅粉末是以粉末颗粒的形式凝固在管路中，所以当其被铲下时，其会碎裂成粉末。清理作业时候，由于下方门板阀是关闭的，上方工艺腔体是大气状态，所以可以通过排气孔轻易地将粉末吸出，达到清除粉尘的目的。使用本实用新型的管路粉尘清洁器之后，原先大预防性维护(大PM)拆开管路清洁粉末的作业可以在小预防性维护(小PM)的时候关闭门板阀进行，不会增加过多时间。大PM频率由之前2个月延长到5个月一次。原先需要清理管路粉末的作业由12小时降低到6小时，机台可运行时间大大提高。
【附图说明】
[0028]图1显示为本实用新型的管路粉尘清洁器的结构示意图。
[0029]图2显示为本实用新型的管路粉尘清洁器中基座的结构示意图。
[0030]图3显示为本实用新型的管路粉尘清洁器中基座的剖视图。
[0031]图4显示为本实用新型的管路粉尘清洁器中旋转铲的结构示意图。
[0032]图5显示为待清理管道的结构示意图。
[0033]图6显示为本实用新型的管路粉尘清洁器与待清理管道的安装示意图。
[0034]图7显示为图6所示结构的剖视图。
[0035]元件标号说明
[0036]I基座
[0037]2第一开口
[0038]3第二开口
[0039]4齿圈
[0040]5旋转铲
[0041]6旋转轴
[0042]7齿轮
[0043]8柱状主体
[0044]9刮片
[0045]10突出台阶
[0046]11旋钮
[0047]12排气孔
[0048]13管路安装孔
[0049]14待清理管道
[0050]15法兰盘
【具体实施方式】
[0051]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0052]请参阅图1至图7。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0053]请参阅图1，本实用新型提供一种管路粉尘清洁器，包括:
[0054]基座1，所述基座I内部形成有一收容空间，顶部具有第一开口 2，底部具有第二开P 3 ；
[0055]齿圈4，水平设于所述收容空间内；
[0056]至少一个旋转铲5，所述旋转铲5底端与所述齿圈4连接，顶端从所述第一开口 I伸出；
[0057]旋转轴6，穿通所述基座I 一侧面，且内端伸入所述收容空间内；
[0058]齿轮7，连接于所述旋转轴5内端，并与所述齿圈4相配合，随所述旋转轴6的旋转带动所述齿圈4转动，进而带动所述旋转铲5运动。
[0059]具体的，所述旋转轴6外端连接有一旋钮11，便于通过外力扭动所述旋钮11，使所述旋转轴6转动。所述旋转轴6与所述基座I的连接处可设有动密封圈。动密封圈主要用于机器(或设备)中相对运动件之间的密封，可以分为旋转密封和往复密封两种基本形式，按密封条件与其作相对运动的零部件是否接触，可以分为接触式密封和非接触式密封，一般来说，接触式密封的密封性能好，但受到摩擦损伤的限制，适用于密封面线速度较低的场合。非接触式密封的密封性能较差，适用于较高的速度。本实用新型中，优选采用接触式旋转动密封圈。
[0060]具体的，所述齿圈4可通过设于所述收容空间底部的滚动轴承(未图示)承载于所述收容空间内。滚动轴承一般由内圈、外圈、滚动体和保持架四部分组成，滚动体分布在内圈和外圈之间，保持架能使滚动体均匀分布，防止滚动体脱落，引导滚动体旋转起润滑作用。
[0061]请参阅图2及图3，分别显示为所述基座I的结构示意图及