第三流道侧壁118设置在第三间隔壁116与第二侧壁112之间，第三流道侧壁118与第三间隔壁116间定义一第三流道P3，第三流道侧壁118与第二侧壁112间定义第四槽室C4，第三流道侧壁18具有一第三流道侧壁上端1181及一第三流道侧壁下端1182，第三流道侧壁上端1181与底壁110间定义一第三板高L3，第三流道侧壁上端1181与第三间隔壁上端1161间定义一第三流道入口 E3，第三流道侧壁下端1182与底壁110间具有一第三间隙G3，使第三流道P3连通于第四槽室C4 ο在本实施例中，第一壁高Hl大于第一板高LI，第一板高LI大于第二壁高H2，第二壁高H2大于第二板高L2，第二板高L2大于第三壁高H3，第三壁高H3大于第三板高L3，然而本实用新型并不局限于此。在本实施例中，第一间隔壁上端1131、第二间隔壁上端1141及第三间隔壁上端1161可分别形成有一波浪结构122。
[0108]如图4至图6所示，清洗液F通过入水孔1111注入第一槽室Cl，当清洗液F在第一槽室Cl中的一液面高度大于第一壁高Hl时，即清洗液F在第一槽室Cl中的一液面ClO高于第一间隔壁113的第一间隔壁上端1131时，清洗液F可自液面ClO溢过第一间隔壁上端1131，并通过第一流道入口El进入第一流道Pl。进一步地，当清洗液F自液面ClO溢过第一间隔壁上端1131时，位于第一间隔壁上端1131的波浪结构122可将清洗液F均匀溢过第一间隔壁上端1131，即清洗液F可借由波浪结构122而沿第一间隔壁113的长度方向(即一方向X，如图5所示)平均地溢出第一槽室Cl，且通过第一流道入口 El进入第一流道Pl。
[0109]同理，当清洗液F在第二槽室C2中之一液面高度大于第二壁高H2时，即清洗液F在第二槽室C2中的一液面C20高于第二间隔壁114的第二间隔壁上端1141时，清洗液F可自液面C20溢过第二间隔壁上端1141，并通过第二流道入口 E2进入第二流道P2。进一步地，当清洗液F自液面C20溢过第二间隔壁上端1141时，位于第二间隔壁上端1141的波浪结构122可将清洗液F均匀溢过第二间隔壁上端1141，即清洗液F可借由波浪结构122而沿第二间隔壁114的长度方向(即所述方向X，如图2所示)平均地溢出第二槽室C2，且通过第二流道入口E2进入第二流道P2。以此类推，清洗液F溢出第三槽室C3与清洗液F溢出第四槽室C4的过程与上述清洗液F溢出第一槽室Cl或清洗液F溢出第二槽室C2的过程相似，于此不再赘述。
[0110]如图6及图7所示，第一分流板119设置在第一流道侧壁下端1152与第一间隔壁下端1132之间，且斜接于第一间隔壁113与第一流道侧壁115，第一分流板119上形成有多个第一分流孔洞1190，第二分流板120设置在第二流道侧壁下端1172与第二间隔壁下端1142之间，且斜接于第二间隔壁114与第二流道侧壁117，第二分流板120上形成有多个第二分流孔洞1200，第三分流板121设置在第三流道侧壁下端1182与第三间隔壁下端1162之间，且斜接于第三间隔壁116与第三流道侧壁118，第三分流板121上形成有多个第三分流孔洞1210。
[0111]当清洗液F通过第一流道入口El进入第一流道Pl时，通过第一流道入口El进入第一流道Pl的清洗液F可通过第一流道Pl向下流至第一分流板119。当清洗液F向下流至第一分流板119时，清洗液F可通过第一分流板119上的第一分流孔洞1190流过第一分流板119，使清洗液F被第一分流孔洞1190分流，进而平均地经过第一间隙Gl来到第二槽室C2内，借此第一分流板119便可使清洗液F平均而稳定地流入第二槽室C2，进而使第二槽室C2内的清洗液F保持一稳定状态。同理，当清洗液F通过第二流道入口 E2进入第二流道P2时，通过第二流道入口 E2进入第二流道P2的清洗液F可通过第二流道P2向下流至第二分流板120。当清洗液F向下流至第二分流板120时，清洗液F可通过第二分流板120上的第二分流孔洞1200流过第二分流板120，使清洗液F被第二分流孔洞1200分流，进而平均地经过第二间隙G2来到第三槽室C3内，借此第二分流板20便可使清洗液F平均而稳定地流入第三槽室C3，进而使第三槽室C3内的清洗液F保持一稳定状态。以此类推，清洗液F经过第三间隙G3来到第四槽室C4的过程与上述清洗液F经过第一间隙Gl来到第二槽室C2的过程或清洗液F经过第二间隙G2来到第三槽室C3的过程相似，于此不再赘述。最后，进入第四槽室C4的清洗液F便通过出水孔1121流出。
[0112]当欲清洗平板构件2时，可将平版构件2依序放置于第四槽室C4、第三槽室C3、第二槽室C2、第一槽室Cl，即将平版构件2依序通过第四槽室C4、第三槽室C3、第二槽室C2、第一槽室Cl清洗，而当平板构件2依上述通过第四槽室C4、第三槽室C3、第二槽室C2、第一槽室Cl的顺序清洗时，平板构件2在进入各槽室之前的洁净程度，依序是平板构件2进入第四槽室C4之前的洁净程度小于平板构件2进入第三槽室C3之前的洁净程度，平板构件2进入第三槽室C3之前的洁净程度小于平板构件2进入第二槽室C2之前的洁净程度，且平板构件2进入第二槽室C2之前的洁净程度小于平板构件2进入第一槽室Cl之前的洁净程度。
[0113]值得一提的是，随着清洗液F由入水孔1111持续注入第一槽室Cl，清洗液F持续地由第一槽室Cl溢出，使得清洗液F依序流经第一槽室Cl、第一流道Pl、第二槽室C2、第二流道P2、第三槽室C3、第三流道P3与第四槽室C4，加之上述平板构件2在进入各槽室之前的洁净程度，使得第一槽室Cl内清洗液F的一微粒浓度小于第二槽室C2内清洗液F的一微粒浓度，第二槽室C2内清洗液F的所述微粒浓度小于第三槽室C3内清洗液F的一微粒浓度，第三槽室C3内清洗液F的所述微粒浓度小于第四槽室内清洗液F的一微粒浓度，即第一槽室Cl至第四槽室C4内清洗液F的所述些微粒浓度依序递减。因此当欲清洗平板构件2时，将平版构件2依序于第四槽室C4、第三槽室C3、第二槽室C2与第一槽室Cl内清洗便可达到较好的一清洗效果。此外，本实用新型另可以包含一循环过滤系统，连接于入水孔1111及出水孔1121，由出水孔1121排出第四槽室C4的清洗液F可经过循环过滤系统净化的后，再送至入水孔1111，以减少清洗液F的消耗。另外，由于各槽室溢出的清洗液F流经对应的流道以及间隙由下而上地注入下一个槽室，因此溢出的清洗液不会直接落在下一个槽室的液面上，使得各槽室内液面并不会产生过大的波动，进而维持平板构件2的平整度。
[0114]以下说明本实用新型自动化系统I如何利用移载机构13将卡匣结构12以及平板构件2选择性地设置在第一槽室Cl、第二槽室C2、第三槽室C3或第四槽室C4 ο举例来说，于上述清洗过程中，平版构件2需要依序放置于第四槽室C4、第三槽室C3、第二槽室C2、第一槽室Cl内，请参阅图1、图7及图8，图7为图1所示自动化系统I的侧视图，图8为本实用新型实施例自动化系统I处于一缩回状态的示意图。如图1、图7及图8所示，首先所述控制芯片控制第一基座1310与第二基座1330定位于对应第四槽室C4的一第四槽位，且控制第一驱动件1311与第二驱动件1331沿伸出方向D3分别伸出于第一基座1310与第二基座1330，再将平板构件2放置于卡匣结构12内并将卡匣结构12固持于第一驱动件1311与第二驱动件1331(如图7所示)，接着所述控制芯片控制第一驱动件1311与第二驱动件1331沿缩回方向D4分别缩回于第一基座1310与第二基座1330，使乘载着平板构件2的卡匣结构12进入第四槽室C4，进而清洗平板构件2。当平板构件2于第四槽室C4内清洗完毕后，所述控制芯片控制第一驱动件1311与第二驱动件1331沿伸出方向D3分别伸出于第一基座1310与第二基座1330，使乘载着平板构件2的卡匣结构12离开第四槽室C4。当欲将平板构件2切换至第三槽室C3进行下一阶段清洗时，所述控制芯片控制第一基座1310与第二基座1330沿第一方向Dl由对应第四槽室C4的一第四槽位移动至对应第三槽室C3的一第三槽位，接着所述控制芯片控制第一驱动件1311与第二驱动件1331沿缩回方向D4分别缩回于第一基座1310与第二基座1330，使乘载着平板构件2的卡匣结构12进入第三槽室C3，进而可于第三槽室C3内对平板构件2进行下一阶段清洗。以此类推，当平板构件2由于第三槽室C3内清洗完毕后，而欲将平板构件2切换至第二槽室C2进行下一阶段清洗，以及当平板构件2于第二槽室C2内清洗完毕后，而欲将平板构件2切换至第一槽室Cl进行下一阶段清洗，所述控制芯片控制移载机构13的作动过程与上述所述控制芯片控制移载机构13的作动过程相似，于此不再赘述。
[0115]最后当平板构件2于第一槽室Cl内完成最后阶段清洗后，所述控制芯片控制第一驱动件1311及第二驱动件1331沿伸出方向D3分别伸出于第一基座1310与第二基座1330，以使乘载平板构件2的卡匣结构12离开第一槽室Cl，此时则可由卡匣结构12由第一驱动件1311及第二驱动件1331取下，并将平板构件2取出，以便对平板构件2进行下一阶段制程。在本实施例中，第一驱动装置131与第二驱动装置133可分别为一气压缸机构，第一基座1310与第二基座1330可分别为一气压缸座，且第一驱动件1311与第二驱动件1331可分别为一气压顶杆，然而本实用新型并不局限于此。
[0116]相较于先前技术，本实用新型自动化系统利用移载机构将平板构件于对应各槽室的各槽位间移动，且本实用新型自动化系统另利用移载机构的第一驱动件及第二驱动件驱动所述卡匣结构进入或离开对应的槽室，因此本实用新型的自动化