专利名称：液体过滤器的制作方法
技术领域：
本发明涉及过滤器领域，特别涉及一种液体过滤器。
背景技术：
在化学机械抛光过程中，从机台端会有大量使用后的废液排出，在这些废液中存在大量的聚合物颗粒、且随着时间的推移有可能产生更多的结晶物颗粒，如果将废液直接 排放的话，势必会造成排放管道的堵塞，因此在机台端与排放管道之间必须设置过滤器来 过滤废液中含有的聚合物颗粒以及结晶物颗粒，然后再将废液经排放管道传输至后续的附 属设备。图1为现有技术的过滤器的结构示意图。如图1所示，现有技术的过滤器为一 U 形管101，U形管101具有输入端102和输出端103。在U形管101的底部具有扁平状的过 滤板104，过滤板104垂直于U形管101的轴线方向设置在U形管101中、且过滤板104的 外边缘与U形管101的侧壁贴合，过滤板104上具有多个用于过滤废液中所含颗粒的滤孔 105。在使用时，如图1中箭头方向所示，废液从U形管101的输入端102进入过滤器中， 经过过滤板104后，从U形管101的输出端103排出。但是，经过滤板104过滤的颗粒会堆 积在过滤板104朝向U形管101的输入端102的一侧、而由于重力作用而沉积的颗粒会在U 形管101的底部、过滤板104的两侧产生堆积，这些堆积的颗粒会造成过滤器的堵塞、甚至 从U形管101的输入端102或输出端103浮出，从而导致过滤器不能实现有效的过滤。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供了一种液体过滤器，用于过滤具有沉淀物的液体，能 够防止过滤器因沉淀物颗粒堆积而堵塞，从而实现有效的过滤。为了达到上述目的，本发明提出的技术方案为—种液体过滤器，包括输入管和输出管；以及具有若干滤孔的扁平状过滤板；其 中，所述液体过滤器还包括过滤腔，所述过滤腔顶部具有与所述输入管连通的第一开 口、侧壁具有与所述输出管连通的第二开口 ；所述过滤板倾斜放置在所述过滤腔内，以使得所述第一开口和所述第二开口分别 位于所述过滤板两侧；且所述过滤板的外边缘与所述过滤腔的侧壁贴合；所述过滤腔内还具有扁平状的阻挡板，该阻挡板与所述过滤板呈预定大小的夹 角、倾斜放置在所述过滤腔内位于所述第二开口下方的预定位置；且该阻挡板朝向所述第 二开口的部分外边缘与所述过滤腔的侧壁之间具有间隙，该阻挡板的其余部分外边缘则与 所述过滤腔的侧壁贴合。 优选地，倾斜放置的所述过滤板，其垂直位置高的一端位于所述第二开口上方。
优选地，倾斜放置的所述阻挡板，其垂直位置低的一端处的部分外边缘朝向所述第二开口，并位于所述第二开口下方的预定位置、且与所述过滤腔的侧壁之间具有间隙。优选地，所述阻挡板垂直位置高的另一端与所述过滤板垂直位置低的另一端接 触。优选地，所述阻挡板与所述过滤板之间的夹角为锐角。优选地，所述间隙在水平方向上的宽度，小于所述过滤板垂直位置高的一端与低的另一端之间在水平方向上的距离的1/4。优选地，所述第二开口与该过滤器顶部在垂直方向上的距离，等于所述侧壁在垂 直方向上的高度的1/4。优选地，所述过滤板自所述过滤板垂直位置高的一端的1/4的面积内不具有滤 孔。优选地，所述过滤板的滤孔的直径自所述过滤板垂直位置高的一端至所述低的另 一端逐渐增大。优选地，所述过滤腔的底部具有第一排放管。优选地，所述过滤腔的侧壁在位于所述过滤板的所述低的另一端的上方的位置处
具有第二排放管。优选地，所述第一排放管和所述第二排放管分别通过球阀来控制其导通或关闭。优选地，所述过滤板与所述阻挡板通过热熔焊接与所述过滤腔的侧壁贴合。优选地，所述过滤板与所述阻挡板由聚乙烯制成。由上述技术方案可见，本发明的液体过滤器通过设置用于废液沉积的过滤腔、并 将输出管设置在过滤腔的侧壁，可以使经过过滤板的废液中的固体物质在重力的作用下沉 积在过滤腔的底部，而不是堆积在输出管中，从而有效地防止输出管的堵塞。并通过在过滤 腔底部设置排放管，来及时排出沉积在过滤腔底部的固体物质，从而进一步防止该固体物 质堵塞过滤器。进一步地，通过倾斜地设置过滤板、并在过滤腔的侧壁位于所述过滤板的低端上 方的位置处设置排放管，以及时地排出堆积在过滤板上方的由过滤板过滤的固体物质，可 以有效地防止废液中的固体物质堵塞输入管，从而实现有效的过滤。进一步地，通过在输出管的下方设置阻挡板，可以防止沉积在过滤腔底部的固体 物质在过滤腔内液流的作用下进入输出管，从而有效地防止输出管的堵塞。
图1是现有技术的过滤器的结构示意图。图2是本发明实施例的过滤器的剖视图。图3是本发明实施例的过滤器的过滤板的结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对 本发明进一步详细说明。本发明的液体过滤器用于过滤具有沉淀物的液体，与现有技术中的过滤器一样， 该过滤器具有输入管、输出管，且使用过滤板进行过滤。与现有技术中的过滤器不同的是，本发明的液体过滤器还包括过滤腔，该过滤腔顶部具有与所述输入管连通的第一开口、侧 壁具有与所述输出管连通的第二开口 ；所述过滤板倾斜放置在所述过滤腔内，以使得所述 第一开口和所述第二开口分别位于所述过滤板两侧；且所述过滤板的外边缘与所述过滤腔 的侧壁贴合。此外，所述过滤腔内还具有扁平状的阻挡板，该阻挡板与所述过滤板呈预定大小 的夹角、倾斜放置在所述过滤腔内位于所述第二开口下方的预定位置；且该阻挡板朝向所 述第二开口的部分外边缘与所述过滤腔的侧壁之间具有间隙，该阻挡板的其余部分外边缘 则与所述过滤腔的侧壁贴合。图2是本发明实施例的过滤器的剖视图。如图2所示，过滤器200具有过滤腔201、 以及与过滤腔201连通的输入管202和输出管203。其中，输入管202与过滤腔201连通 的第一开口位于过滤腔201的顶部，输出管203与过滤腔201连通的第二开口位于过滤腔 201的侧壁上。过滤腔201内具有扁平状的过滤板204，过滤板204具有用于过滤废液中颗粒物的 滤孔205，过滤板204的外边缘与过滤腔201的侧壁贴合。过滤板204倾斜地设置于过滤 腔201内，过滤板204的高端301位于第二开口的上方。则第一开口和第二开口分别位于 过滤板204的两侧。本实施例中过滤板的倾斜是指过滤板的平面与竖直方向的夹角小于等于90°地 设置在过滤腔内。当夹角等于90°时，该过滤板水平地设置在过滤腔中、且位于第二开口的 上方。在下文中，过滤板的垂直位置高的一端称为高端301，其垂直 位置低的一端称为低 端302，以后不再赘述。滤孔205的大小需要根据所过滤的废液中含有的聚合物颗粒或结晶物颗粒的大 小进行选择，滤孔205的大小应能够恰好阻止废液中的颗粒通过滤孔205。优选地，第二开口的中心与过滤器顶部在垂直方向上的距离小于或等于过滤腔 201的侧壁在垂直方向上的高度的1/4，即第二开口位于侧壁的上部位置。这样，废液经输 入管202进入过滤器后，经过滤板204过滤以后会聚集在过滤腔201内，直到过滤腔201内 的液面高度达到过滤腔201的侧壁在垂直方向上的高度的3/4以上时，经过过滤的废液才 可以经输出管203排出过滤器。经过滤板204过滤的固体物质，例如废液中存在的聚合物颗粒等，会由于重力的 作用聚集在过滤板204的低端302的上方。而在废液聚集在过滤腔201内的时间中所可能 产生结晶物颗粒会由于重力的作用而沉积在过滤腔201的底部。为了能够及时地将聚集在过滤板204的低端302的上方、以及沉积在过滤腔201 底部的固体物质排出过滤器，以保证过滤器的过滤效果，可分别在过滤腔201的侧壁上、位 于过滤板204的低端302上方的位置处设置第一排放管206，在过滤腔201的底部设置第二 排放管207。其中，第一排放管206和第二排放管207的导通或关闭可通过控制开关进行 控制，例如使用球阀来控制第一排放管206和第二排放管207的导通或关闭。当第一排放 管206和第二排放管207导通时，聚集在过滤板204的低端302的上方、以及沉积在过滤腔 201底部的固体物质能够及时地排出过滤器，从而避免了过滤器的堵塞。过滤腔201内还具有扁平状的阻挡板206，阻挡板206用于阻挡沉积在过滤腔的底部的固体物质进入输出管203中。阻挡板206位于过滤板204的下方、与过 滤板204呈预 定大小的夹角、倾斜放置在过滤腔201内位于第二开口下方的预定位置，阻挡板206朝向第 二开口的部分外边缘与过滤腔201的侧壁之间具有间隙，而阻挡板206其余部分的外边缘 与过滤腔201的侧壁贴合，废液中的固体物质可通过该间隙沉积在过滤腔201的底部。如图2所示，阻挡板206倾斜地设置于过滤腔201内，则阻挡板206的低端304位 于第二开口的下方、且低端304与过滤腔201的侧壁之间具有间隙。同样地，在下文中，阻挡板板的垂直位置高的一端称为高端303，其垂直位置低的 一端称为低端304，以后不再赘述。优选地，阻挡板206的高端303与过滤板204的低端302接触，且阻挡板206与 过滤板204之间的夹角为锐角。这样，在废液经过过滤板204以后可以通过阻挡板206的 阻挡作用而产生向上的涡流作用，且废液中的固体物质在重力的作用下脱离向上的涡流方 向而向下落在阻挡板206上，继而在涡流的切向力的作用下沿着阻挡板表面向下的方向滑 落、经阻挡板206的低端304与过滤腔201的侧壁之间的间隙沉积到过滤腔201的底部。此外，阻挡板206的低端304与过滤腔201的侧壁之间的间隙在水平方向上的宽 度小于过滤板204的高端301与低端302之间在水平方向上的距离的1/4。这样，可以有 效地防止沉积在过滤腔201底部的固体物质在涡流的带动下被再次扰动、继而进入输出管 203 中。优选地，由于输出管203与过滤腔201连通的开口的中心与过滤器顶部在垂直方 向上的距离小于或等于过滤腔201的侧壁在垂直方向上的高度的1/4，因此，结合图3所示， 过滤板204自其高端301的1/4的面积内不具有滤孔205。这样，可以防止废液在经过过滤 板204后直接从输出管203排出，避免废液中产生的结晶物颗粒堵塞输出管203。进一步地，过滤板204的滤孔205的直径可自其高端301至其低端302逐渐增大， 即靠近高端301处的滤孔直径小于靠近低端302处的滤孔直径。这样，废液在高端的过滤 速度会小于在低端的过滤速度，则多数废液是经过滤板低端过滤后、再通过阻挡板206的 阻挡作用产生向上的涡流作用，不仅可以增强涡流作用，而且还可以进一步地防止废液在 经过过滤板204后直接从输出管203排出。因此，当废液通过输入管进入本发明的液体过滤器以后，依次经过过滤板的过滤、 在过滤腔中的沉积，然后在液面到达输出管高度的时候经输出管排出该过滤器，可以有效 地防止废液中的固体物质堵塞输入管和输出管。并且，通过在输出管与过滤腔连通的第二 开口下方设置阻挡板，可防止沉积在过滤腔底部的固体物质在过滤腔中涡流的作用下进入 输出管，可以进一步地防止输出管的堵塞。优选地，过滤板和阻挡板的外边缘可通过粘接、焊接等方式而实现与过滤腔的侧 壁之间的贴合。在本实施例中，过滤板和阻挡板的外边缘通过热熔焊接而贴合过滤前的侧壁。由于本发明的液体过滤器用于过滤化学机械抛光过程中产生的废液，因此过滤器 中的过滤板和阻挡板必须使用耐腐蚀的材料制成，例如聚乙烯、聚丙烯等。在本实施例中， 过滤板和阻挡板由聚乙烯制成。由以上的实施例可以看出，本发明的液体过滤器通过设置用于废液沉积的过滤 腔、并将输出管设置在过滤腔的侧壁，可以使经过过滤板的废液中的固体物质在重力的作用下沉积在过滤腔的底部，而不是堆积在输出管中，从而有效地防止输出管的堵塞。并通过 在过滤腔底部设置排放管，来及时排出沉积在过滤腔底部的固体物质，从而进一步防止该 固体物质堵塞过滤器。进一步地，通过倾斜地设置过滤板、并在过滤腔的侧壁位于所述过滤板的低端上 方的位置处设置排放管，以及时地排出堆积在过滤板上方的由过滤板过滤的固体物质，可 以有效地防止废液中的固体物质堵塞输入管，从而实现有效的过滤。进一步地，通过在输出管的下方设置阻挡板，可以防止沉积在过滤腔底部的固体 物质在过滤腔内液流的作用下进入输出管，从而有效地防止输出管的堵塞。以上仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发 明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围 之内。
权利要求
一种液体过滤器，包括输入管和输出管；以及具有若干滤孔的扁平状过滤板；其特征在于，所述液体过滤器还包括过滤腔，所述过滤腔顶部具有与所述输入管连通的第一开口、侧壁具有与所述输出管连通的第二开口；所述过滤板倾斜放置在所述过滤腔内，以使得所述第一开口和所述第二开口分别位于所述过滤板两侧；且所述过滤板的外边缘与所述过滤腔的侧壁贴合；所述过滤腔内还具有扁平状的阻挡板，该阻挡板与所述过滤板呈预定大小的夹角、倾斜放置在所述过滤腔内位于所述第二开口下方的预定位置；且该阻挡板朝向所述第二开口的部分外边缘与所述过滤腔的侧壁之间具有间隙，该阻挡板的其余部分外边缘则与所述过滤腔的侧壁贴合。
2.根据权利要求1所述的液体过滤器，其特征在于，倾斜放置的所述过滤板，其垂直位 置高的一端位于所述第二开口上方。
3.根据权利要求1所述的液体过滤器，其特征在于，倾斜放置的所述阻挡板，其垂直位 置低的一端处的部分外边缘朝向所述第二开口，并位于所述第二开口下方的预定位置、且 与所述过滤腔的侧壁之间具有间隙。
4.根据权利要求3所述的液体过滤器，其特征在于，所述阻挡板垂直位置高的另一端 与所述过滤板垂直位置低的另一端接触。
5.根据权利要求3或4所述的液体过滤器，其特征在于，所述阻挡板与所述过滤板之间 的夹角为锐角。
6.根据权利要求5所述的液体过滤器，其特征在于，所述间隙在水平方向上的宽度，小 于所述过滤板垂直位置高的一端与低的另一端之间在水平方向上的距离的1/4。
7.根据权利要求2所述的液体过滤器，其特征在于，所述第二开口与该过滤器顶部在 垂直方向上的距离，等于所述侧壁在垂直方向上的高度的1鸠。
8.根据权利要求7所述的液体过滤器，其特征在于，所述过滤板自所述过滤板垂直位 置高的一端的1/4的面积内不具有滤孔。
9.根据权利要求8所述的液体过滤器，其特征在于，所述过滤板的滤孔的直径自所述 过滤板垂直位置高的一端至所述低的另一端逐渐增大。
10.根据权利要求2所述的液体过滤器，其特征在于，所述过滤腔的底部具有第一排放管。
11.根据权利要求10所述的液体过滤器，其特征在于，所述过滤腔的侧壁在位于所述 过滤板的所述低的另一端的上方的位置处具有第二排放管。
12.根据权利要求11所述的液体过滤器，其特征在于，所述第一排放管和所述第二排 放管分别通过球阀来控制其导通或关闭。
13.根据权利要求1、2、3、7或10中任一权利要求所述的液体过滤器，其特征在于，所述 过滤板与所述阻挡板通过热熔焊接与所述过滤腔的侧壁贴合。
14.根据权利要求1、2、3、7或10中任一权利要求所述的液体过滤器，其特征在于，所述 过滤板与所述阻挡板由聚乙烯制成。
全文摘要
本发明公开了一种液体过滤器，包括输入管和输出管；以及具有若干滤孔的扁平状过滤板；所述液体过滤器还包括过滤腔，所述过滤腔顶部具有与所述输入管连通的第一开口、侧壁具有与所述输出管连通的第二开口；所述过滤板倾斜放置在所述过滤腔内，以使得所述第一开口和所述第二开口分别位于所述过滤板两侧；且所述过滤板的外边缘与所述过滤腔的侧壁贴合；所述过滤腔内还具有扁平状的阻挡板，该阻挡板与所述过滤板呈预定大小的夹角、倾斜放置在所述过滤腔内位于所述第二开口下方的预定位置；且该阻挡板朝向所述第二开口的部分外边缘与所述过滤腔的侧壁之间具有间隙，该阻挡板的其余部分外边缘则与所述过滤腔的侧壁贴合。
文档编号B01D29/03GK101822916SQ20091004700
公开日2010年9月8日 申请日期2009年3月4日 优先权日2009年3月4日
发明者王宝中, 邹德承 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司