专利名称：尾气的处理方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及尾气处理领域，特别是指一种尾气的处理方法和装置。
背景技术：
随着人们对环保的要求，工业制程的尾气处理方式越来越受到人们的关注。目前， 制程的尾气处理使用采用单一的热处理技术。热处理方式包括普通热处理方式或者触媒热裂解方式。普通热处理方式是利用高温的方式产生的自由基与氟化物分解的氟物种反应， 形成的最后产物为氢氟酸(溶于水)；经过处理后的气体再通过洗涤塔，利用水洗、吸附等方式去除危害性物质。以下为SF6稳定性较好且键能值较高的气体处理化学式范例
权利要求
1.一种尾气的处理方法，其特征在于，包括 获取反应腔的气体的类型；根据所述气体的类型，获取对应的尾气处理方式； 对所述尾气按照对应的所述尾气处理方式进行处理。
2.根据权利要求1所述的尾气的处理方法，其特征在于，所述获取反应腔的气体的类型的步骤具体为获取反应腔的气体的键能值； 所述根据所述气体的类型，获取对应的尾气处理方式的步骤具体为根据所述气体的键能值，获取对应的尾气处理方式。
3.根据权利要求2所述的尾气的处理方法，其特征在于，所述根据所述气体的键能值， 获取对应的尾气处理方式的步骤具体为判断所述气体是否包含有键能值大于预定值的气体，生成判断结果； 如果所述判断结果为是，则对应的尾气处理方式是电浆处理方式；否则，对应的尾气处理方式是热处理方式。
4.根据权利要求3所述的尾气的处理方法，其特征在于，所述键能值大于预定值的气体包括CF4或SF6,所述键能值小于或等于预定值的气体包括CL2或BCL2。
5.根据权利要求1所述的尾气的处理方法，其特征在于，所述对所述尾气按照对应的所述尾气处理方式进行处理的步骤具体为控制所述反应腔的尾气的阀门，使所述反应腔的尾气进入对应的所述尾气处理方式的处理腔，在所述对应的所述尾气处理方式的处理腔内对所述气体进行处理。
6.根据权利要求1所述的尾气的处理方法，其特征在于，还包括 对处理后的所述尾气进行水溶解处理。
7.根据权利要求1所述的尾气的处理方法，其特征在于，所述获取反应腔的气体的类型的步骤为获取进入反应腔的气体的类型，或者获取从反应腔排出的气体的类型。
8.根据权利要求1所述的尾气的处理方法，其特征在于，应用于等离子体增强化学气相沉积机的尾气处理或耦合式电浆离子蚀刻机的尾气处理。
9.一种尾气处理装置，其特征在于，包括 第一获取单元，获取反应腔的气体的类型；第二获取单元，根据所述气体的类型，获取对应的尾气处理方式； 处理单元，对所述尾气按照对应的所述尾气处理方式进行处理。
10.根据权利要求9所述的尾气处理装置，其特征在于， 第一获取单元具体为获取反应腔的气体的键能值；第二获取单元具体为根据所述气体的键能值，获取对应的尾气处理方式。
全文摘要
本发明提供一种尾气的处理方法和装置，涉及尾气处理领域，为解决现有技术中尾气处理时采用热处理方式时耗能较高的技术问题而发明。所述的尾气的处理方法，包括获取反应腔的气体的类型；根据所述气体的类型，获取对应的尾气处理方式；对所述尾气按照对应的所述尾气处理方式进行处理。本发明能够根据反应腔的气体的类型采用不同的尾气处理方式，降低了采用单一热处理方式时的耗能。
文档编号B01D53/68GK102380292SQ20111025904
公开日2012年3月21日 申请日期2011年9月5日 优先权日2011年9月5日
发明者刘秉承, 苏贤恩, 马擎天 申请人:协鑫光电科技(张家港)有限公司