专利名称：一种除去氧硫化碳中水分的设备的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种提纯气体的设备，具体涉及一种除去氧硫化碳中水分的干燥设备。
背景技术：
氧硫化碳(COS)又名羰基硫或羰酰硫。它是合成硫代氨基甲酸酯类农药和杀虫剂的重要原料，是一种重要的医药中间体和粮食熏蒸剂。近年来，氧硫化碳被发现在集成电路刻蚀工艺中有特殊的功效，世界上最领先的集成电路制造商已建立了以氧硫化碳为原料的芯片刻蚀生产线，并且该工艺有向所有集成电路制造商扩散的趋势。目前，除去氧硫化碳中水分的方法有多种，主要有低温冷冻法和干燥吸附法。低温冷冻法是在低温条件下，将氧硫化碳中大量饱和的水分除去。干燥吸附法是氧硫化碳以一定的流速通过特定的干燥吸附剂，达到除去氧硫化碳中痕量水分的目的。除去氧硫化碳中水分的方法不同，干燥设备的结构形式也不同。现有干燥吸附技术的设备结构复杂，操作困难，干燥效果不易控制和监测。
发明内容本实用新型为了克服现有技术存在的缺点，其目的在于提供一种除去氧硫化碳中水分的设备。本实用新型的技术方案是一种除去氧硫化碳中水分的设备，包括筒体，筒体的顶部开口、并通过上法兰与顶盖密封连接，筒体的底部开口、并通过下法兰与底盖密封连接。在筒体内部的上端设置有上筛板，在筒体内部的下端设置有下筛板，在筒体外壁的上部设置有氧硫化碳出口和加料口，在筒体外壁的下部设置有氧硫化碳入口和卸料口。 在顶盖上分别设置氮气口和抽气口，在底盖上设置有放气口，在筒体的外壁周围设置有加热装置。 在所述的氧硫化碳入口上设置有流量测量口。在所述的在氧硫化碳出口上设置有水分在线监测口。所述的上筛板和下筛板上形成多个小孔，多个小孔规则排列，或者非规则排列。所述的上筛板和下筛板上的小孔直径要小于筒体内部装填干燥剂的直径。本实用新型具有干燥程度高，设备结构简单，操作方便，干燥效果易于控制和监测，设备使用寿命长等优点。
图1是本实用新型的除去氧硫化碳中水分的设备剖面图。其中[0018]1顶盖2 氮气ロ3抽气ロ4测温装置5上法兰6上筛板7加热装置8支座9下筛板10支架11流量监测ロ12氧硫化碳入口13下法兰14底盖15放气ロ16卸料ロ17加料ロ18氧硫化碳出口19水分在线监测ロ 20筒体。
具体实施方式
下面，參照附图和实施例对本实用新型的除去氧硫化碳中水分的设备进行详细说 明如图1所示，ー种除去氧硫化碳中水分的设备，包括筒体20，顶盖1，底盖14，上筛 板6和下筛板9。筒体20的顶部开ロ、并通过上法兰5与顶盖1密封连接，筒体20的底部 开ロ、并通过下法兰13与底盖14密封连接。在筒体20内部的上端设置有上筛板6，在筒体20内部的下端设置有下筛板9。上 筛板6和下筛板9上形成多个小孔，多个小孔可以规则排列，如正三角形，也可以非规则排 列。在下筛板9的上方放置干燥剂，小孔的直径要小于筒体内部装填干燥剂的直径。上筛 板6焊于筒体20内壁，下筛板9由支架10支撑，支架10由三根以上的立柱組成。在筒体20外壁的上部设置有氧硫化碳出ロ 18和加料ロ 17，在氧硫化碳出ロ 18上 设置有水分在线监测ロ 19。在筒体20外壁的下部设置有氧硫化碳入口 12和卸料ロ 16，在 氧硫化碳入口 12上设置有流量測量ロ 11。在筒体20的顶盖1上分別设置氮气ロ 2和抽气 ロ 3，筒体20的底盖14设置放气ロ 15。在筒体20的外壁周围设置有加热装置7，通过加热 装置7可以对筒体20内部的干燥剂进行加热，加热装置7可以选择电加热器。通过抽气ロ 3可以对筒体20抽空。测温装置4通过顶盖1插入到筒体20的下部。设备采用不锈钢材质，有强的耐腐蚀性能。整个设备由支座8安装固定。本实用新型的工作过程如下首先，通过氮气ロ 2向筒体20内通入氮气，对其内腔进行吹洗，然后通过加料ロ 17 向筒体20内加入一定量的干燥剂，加热并抽空筒体20，对筒体20内干燥剂进行预处理。处 理完毕，开启氧硫化碳入口 12，通过流量測量ロ 11使含有水分的氧硫化碳气体以一定的流 量通过筒体20。氧硫化碳气体中的水分被干燥剂吸收。然后通过水分在线监测ロ 19检测氧硫化碳中的水分含量。通过实验，经过干燥后 的氧硫化碳中的水分含量在15 23ppm范围内。本实用新型具有干燥程度高，设备结构简单、操作方便、干燥效果易于控制和监 測，设备使用寿命长等优点。
权利要求1.一种除去氧硫化碳中水分的设备，包括筒体(20)，筒体(20)的顶部开口、并通过上法兰(5 )与顶盖(1)密封连接，筒体(20 )的底部开口、并通过下法兰(13 )与底盖(14 )密封连接，其特征在于在筒体(20)内部的上端设置有上筛板(6)，在筒体(20)内部的下端设置有下筛板(9)，在筒体(20)外壁的上部设置有氧硫化碳出口(18)和加料口(17)，在筒体 (20)外壁的下部设置有氧硫化碳入口(12)和卸料口(16)，在顶盖(1)上分别设置氮气口 (2)和抽气口(3)，在底盖(14)上设置有放气口(15)，在筒体(20)的外壁周围设置有加热装置(7)。
2.根据权利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的设备，其特征在于在所述的氧硫化碳入口( 12)上设置有流量测量口( 11)。
3.根据权利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的设备，其特征在于在所述的在氧硫化碳出口(18)上设置有水分在线监测口(19)。
4.根据权利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的设备，其特征在于所述的上筛板(6) 和下筛板(9)上形成多个小孔，多个小孔规则排列，或者非规则排列。
5.根据权利要求4所述的除去氧硫化碳中水分的设备，其特征在于所述的上筛板(6) 和下筛板(9)上的小孔直径要小于筒体(20)内部装填干燥剂的直径。
专利摘要本实用新型公开了一种除去氧硫化碳中水分的设备，包括筒体，筒体的顶部开口、并通过上法兰与顶盖密封连接，筒体的底部开口、并通过下法兰与底盖密封连接。在筒体内部的上端设置有上筛板，在筒体内部的下端设置有下筛板，在筒体外壁的上部设置有氧硫化碳出口和加料口，在筒体外壁的下部设置有氧硫化碳入口和卸料口。在顶盖上分别设置氮气口和抽气口，在底盖上设置有放气口，在筒体的外壁周围设置有加热装置。本实用新型具有干燥程度高，设备结构简单，操作方便，干燥效果易于控制和监测，设备使用寿命长等优点。
文档编号B01D53/26GK202263510SQ20112037302
公开日2012年6月6日 申请日期2011年10月8日 优先权日2011年10月8日
发明者侯姝, 张春芳, 李于教, 赵娜, 陈光华 申请人:核工业理化工程研究院华核新技术开发公司