一种mocvd集尘过滤器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种MOCVD集尘过滤器，包括：冷却过滤装置和滤芯过滤装置，所述冷却过滤装置包括：设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管，所述冷却水管接入外部水管；所述滤芯过滤装置包括：设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯；所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。本实用新型设有冷却过滤装置和滤芯过滤装置，冷却过滤装置对废气进行粗过滤，气体经过该冷却区域动能降低，粗滤后的气体再通过滤芯进一步细滤，保证气体的充分净化。
【专利说明】—种MOCVD集尘过滤器
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种MOCVD集尘过滤器。
【背景技术】
[0002]MOCVD是半导体LED行业的基础性设备，而我国在该设备主要依赖于进口，随着国家能源的紧缺和半导体照明工程的发展，国产MOCVD设备的研发工作的重要性愈加凸显。目前该型设备上一般都使用工艺废气排放过滤器，过滤器的主要作用是过滤工艺废气中的粉尘，延长干泵的使用寿命，避免干泵内粉尘积累引起故障停机。现有过滤器主要采用滤网或滤芯对废气进行过滤，滤网只能对大颗粒的粉尘进行过滤，对废气中的小颗粒粉尘无法做到完全过滤清除，净化效果不好，滤网极易被粉尘堵塞，干泵和过滤器的维护周期短。
[0003]因此，如何设计一种过滤效果好、维护周期长的高的MOCVD集尘过滤器是业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型针对上述现有技术中存在的问题提供了一种过滤效果好、维护周期长的高的MOCVD集尘过滤器。
[0005]本实用新型提出的技术方案是，设计一种MOCVD集尘过滤器，包括:冷却过滤装置和滤芯过滤装置，所述冷却过滤装置包括:设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管，所述冷却水管接入外部水管；所述滤芯过滤装置包括:设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯；所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。
[0006]所述水冷粗滤层上横向间隔设有定位孔，所述冷却水管顺次穿过所述定位孔环绕所有水冷粗滤层。
[0007]所述水冷粗滤层纵向平行设于冷却筒内、所述进气口设于冷却筒的一端，冷却筒内还设有一与进气口相邻的气流挡板，挡板一侧设有引流口，所述连通出气口设于冷却筒上背向引流口的侧面。
[0008]所述滤芯纵向平行设于过滤筒内，所述出气口设于过滤筒的一端，所述连通进气口设于过滤筒的一侧面。
[0009]所述过滤筒内还设有一与出气口相邻的限流板，所述限流板中心设有通孔，限流板与过滤筒内壁形成一与出气口连通的缓冲腔。
[0010]所述冷却筒两端由冷却筒端盖密封，所述过滤筒两端由过滤筒端盖密封，所述进气口设于冷却筒端盖上，所述出气口设于过滤筒端盖上。
[0011]所述冷却筒内设有四层水冷粗滤层及两根冷却水管，所述冷却水管顺次穿过定位孔缠绕在相邻的两层水冷粗滤层之间。
[0012]与现有技术相比，本实用新型设有冷却过滤装置和滤芯过滤装置，冷却过滤装置对废气进行粗过滤，气体经过该冷却区域动能降低，同时热量也大大降低，确保更多的粉尘可以在冷却筒内被捕集，粗滤后的气体再通过滤芯进一步细滤，保证气体的充分净化，安全的进入干泵，加长了过滤器和干泵的维护周期。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中:
[0014]图1为本实用新型的剖视图。
【具体实施方式】
[0015]如图1所示，本实用新型提出的MOCVD集尘过滤器，包括:冷却过滤装置I和滤芯过滤装置2。
[0016]冷却过滤装置I包括:设有进气口 11和连通出气口 12的冷却筒13、均匀排列设于冷却筒13内的至少一层水冷粗滤层14、环绕水冷粗滤层14的至少一根冷却水管15，冷却水管15接入外部水管16。滤芯过滤装置2包括:设有出气口 21和连通进气口 22的过滤筒23、均匀排列设于过滤筒23内的滤芯24。冷却过滤装置I与滤芯过滤装置2通过连通出气口 12和连通进气口 22密封连接。冷却过滤装置I对废气进行粗过滤，气体经过该冷却区域动能降低，同时热量也大大降低，确保更多的粉尘可以在冷却筒13内被捕集，粗滤后的气体再通过滤芯24进一步细滤，保证气体的充分净化，安全的进入干泵，加长了过滤器和干泵的维护周期。
[0017]水冷粗滤层14上横向间隔设有定位孔，冷却水管15顺次穿过定位孔环绕所有水冷粗滤层14，冷却水管15环绕穿过每层水冷粗滤层14，与废气充分接触冷却水管15，气体动能大幅降低，废气中大粒粉尘沉降，水冷粗滤层14的过滤效率高。水冷粗滤层14纵向平行设于冷却筒13内、进气口 11设于冷却筒13的一端,冷却筒13内还设有一与进气口 11相邻的气流挡板17，挡板17 —侧设有引流口 18，连通出气口 12设于冷却筒13上背向引流口 18的侧面，即连通出气口 12垂直朝向水冷粗滤层14设置。废气进过进气口 11进入冷却筒13内，被挡板17引流到多层水冷粗滤层14 一侧进入，经过多层水冷粗滤层14的冷却过滤再汇集到连通出气口 12，引流口 18和连通出气口 12的设置保证进入冷却筒内的废气与水冷粗滤层14完全接触。
[0018]滤芯24纵向平行设于过滤筒23内，出气口 21设于过滤筒23的一端，连通进气口22设于过滤筒23的一侧面，即连通进气口 22垂直朝向滤芯24设置，过滤筒23内还设有一与出气口 21相邻的限流板25，限流板25中心设有通孔26，通孔26的设置能减小过滤筒23的出气量，使进入过滤筒23内的气体速度尽量慢的经过滤芯24，更彻底的净化气体，限流板25与过滤筒23的内壁形成一与出气口连通的缓冲腔27，气体经过通孔26后流速较快，缓冲腔27起到缓冲作用，减少气体对干泵的冲击。
[0019]冷却筒13两端由冷却筒端盖19密封，过滤筒23两端由过滤筒端盖28密封，进气口 11设于冷却筒端盖19上，出气口 21设于过滤筒端盖28上。本实施例中，冷却筒13内设有四层水冷粗滤层14及两根冷却水管15，冷却水管15顺次穿过定位孔缠绕在相邻的两层水冷粗滤层14之间，设置两根冷却水管15的目的是保证冷却水管15内的水快速循环，防止冷却水管15过长，与废气热交换后冷却水管15的尾端温度升高，无法满足冷却需要。实际应用中，可根据过滤需要设置相应数量的冷却水管15和水冷粗滤层14。
[0020]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种服)(^0集尘过滤器，其特征在于包括:冷却过滤装置和滤芯过滤装置， 所述冷却过滤装置包括:设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管，所述冷却水管接入外部水管； 所述滤芯过滤装置包括:设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯； 所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。
2.如权利要求1所述的10(^0集尘过滤器，其特征在于:所述水冷粗滤层上横向间隔设有定位孔，所述冷却水管顺次穿过所述定位孔环绕所有水冷粗滤层。
3.如权利要求2所述的顯集尘过滤器，其特征在于，所述水冷粗滤层纵向平行设于冷却筒内、所述进气口设于冷却筒的一端，冷却筒内还设有一与进气口相邻的气流挡板，挡板一侧设有引流口，所述连通出气口设于冷却筒上背向引流口的侧面。
4.如权利要求1所述的10(^0集尘过滤器，其特征在于:所述滤芯纵向平行设于过滤筒内，所述出气口设于过滤筒的一端，所述连通进气口设于过滤筒的一侧面。
5.如权利要求4所述的顯集尘过滤器，其特征在于，所述过滤筒内还设有一与出气口相邻的限流板，所述限流板中心设有通孔，限流板与过滤筒内壁形成一与出气口连通的缓冲腔。
6.如权利要求1所述的10(^0集尘过滤器，其特征在于，所述冷却筒两端由冷却筒端盖密封，所述过滤筒两端由过滤筒端盖密封，所述进气口设于冷却筒端盖上，所述出气口设于过滤筒端盖上。
7.如权利要求2所述的10(^0集尘过滤器，其特征在于，所述冷却筒内设有四层水冷粗滤层及两根冷却水管，所述冷却水管顺次穿过定位孔缠绕在相邻的两层水冷粗滤层之间。
【文档编号】B01D50/00GK204159172SQ201420550764
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年9月24日 优先权日:2014年9月24日
【发明者】李致文, 杨宝立 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司