硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置的制作方法

文档序号:12094336阅读:263来源:国知局
硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置的制作方法

本发明涉及硅锭铸锭坩埚喷涂的领域,具体涉及一种硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置。



背景技术:

硅料铸锭需要使用到坩埚作为容器。但是坩埚对硅料进行铸锭之前,需要在坩埚的内壁进行喷涂,喷涂的物质一般为氮化硅粉。氮化硅粉对硅锭具有保护作用,不仅能够防止坩埚成分中的二氧化硅中的杂质氧进入硅锭,并且还能够防止硅锭与坩埚发生粘连。

由此,市面上出现了一系列的用于坩埚喷涂时,固定坩埚用的坩埚固定装置。这样方便了操作工对坩埚的喷涂或者喷涂装置对坩埚的自动喷涂。但是由于硅料铸锭所用的坩埚较大,重量较重,并且坩埚发生磕碰之后很容易损坏而导致报废,所以在坩埚进行上下料的时候,操作工不仅费时费力,而且需要非常小心,操作非常不便。



技术实现要素:

本发明的目的在于:克服现有技术的不足,提供一种硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,通过车体上的侧板槽,便于坩埚固定槽下方的侧板放置,从而便于坩埚沿着侧板进入坩埚固定槽;通过车体上的侧板槽与侧板的作用,在坩埚的上料和下料中,防止了车体的移动,进一步便于了坩埚的上下料操作;通过限位挡片的导向作用,从而便于坩埚进入刚过固定槽内;通过限位立杆的多个固定孔的作用,使得限位立杆可以根据坩埚大小和坩埚固定槽的大小,选择合适的固定孔,从而调节限位挡片之间的距离,提高了适用性;通过压紧弹簧的作用,使得加热板能够与坩埚紧密贴合,保证了坩埚喷涂的效果,并且在坩埚喷涂完成之后进行下料的时候,提高坩埚与两侧侧板之间的摩擦力,避免坩埚下料过快而导致无法控制,甚至导致坩埚发生磕碰而损坏;加强框包括边框和筋框,边框和筋框分别通过压紧弹簧与加热板连接,从而使得压紧弹簧对加热板与坩埚的压紧效果更均匀、接触更紧密;转轴的轴身斜向上设置之后,不仅能够便于干过的上下料操作,而且也便于操作工对坩埚进行喷涂的操作。

本发明所采取的技术方案是:

硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,包括坩埚固定槽,所述坩埚固定槽的底板的侧边分别通过铰链与侧板连接,所述侧板之间通过锁扣结构固定,所述底板固定于转轴的顶端,并且通过转轴与底座转动连接,所述转轴的轴身斜向上设置;所述底座位于坩埚固定槽的槽口一侧设有车体,所述车体的顶面面向坩埚固定槽的一侧设有侧板槽,当位于坩埚固定槽下方一侧的侧板打开、并与相邻两个侧板分离的时候,与侧板槽接触,并且与侧板槽的槽壁贴合。

本发明进一步改进方案是,所述车体顶面的所在平面的高度高于或等于坩埚固定槽下方一侧的侧板内侧面的最低处;所述坩埚固定槽面向该侧板一侧的侧壁的所在高度低于或等于坩埚固定槽下方一侧的侧板内侧面所在平面对应于坩埚固定槽面向该侧板一侧的侧壁位置处的所在高度。

本发明更进一步改进方案是,所述车体顶部面向坩埚固定槽一端的两侧分别设有限位限位挡片,所述限位挡片的一端固定于车体,另一端与坩埚固定槽两侧侧板的内侧面贴合,所述限位挡片位于固定端之间的距离大于另一端之间的距离。

本发明更进一步改进方案是,所述限位挡片通过固定立杆与车体。

本发明更进一步改进方案是,所述车体上沿着限位挡片的长度方向依次固定有限位立杆,所述限位立杆与限位挡片的外侧面贴合。

本发明更进一步改进方案是,所述限位挡片为可弯曲的钢板。

本发明更进一步改进方案是,所述固定立杆和限位立杆分别通过车体上所设的固定孔与车体固定。

本发明更进一步改进方案是,所述固定孔分别位于车体的顶面和侧板槽的槽底。

本发明更进一步改进方案是,固定于车体的侧板槽槽底的限位立杆的固定孔分别设有多个,同一根限位立杆的多个固定孔分别沿平行于坩埚固定槽下方一侧侧板的方向设置。

本发明更进一步改进方案是,所述底板和侧板分别包括加热板,所述加热板的内侧面分别固定有垫板,所述加热板的外侧面分别固定有加强框。

本发明更进一步改进方案是,所述侧板的加强框分别通过压紧弹簧与侧板的加热板固定。

本发明更进一步改进方案是,所述加强框包括边框和筋框。

本发明更进一步改进方案是,所述边框和筋框分别通过压紧弹簧与侧板连接。

本发明更进一步改进方案是,所述转轴通过斜块与支座连接,所述转轴通过轴承座设于斜块的斜面上。

本发明更进一步改进方案是,所述锁扣装置包括固定于其中一个侧板侧端的卡口,以及设于相邻侧板对应侧端的卡杆,所述卡杆为螺杆,所述卡杆上通过螺纹连接有手盘,所述卡口的开口宽度大于卡杆的直径并且小于手盘的直径。

本发明更进一步改进方案是,所述卡杆通过摆轴与侧板侧端所设的支座摆动连接。

本发明更进一步改进方案是,所述卡杆远离摆轴的一端设有限位块,所述限位块直径大于卡杆的直径。

本发明更进一步改进方案是,所述侧板槽的槽底向坩埚固定槽一侧的方向向上倾斜。

本发明更进一步改进方案是,所述侧板槽的槽壁与槽底垂直。

本发明的有益效果在于:

第一、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,通过车体上的侧板槽,便于坩埚固定槽下方的侧板放置,从而便于坩埚沿着侧板进入坩埚固定槽。

第二、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,通过车体上的侧板槽与侧板的作用,在坩埚的上料和下料中,防止了车体的移动,进一步便于了坩埚的上下料操作。

第三、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,通过限位挡片的导向作用,从而便于坩埚进入刚过固定槽内。

第四、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,通过限位立杆的多个固定孔的作用,使得限位立杆可以根据坩埚大小和坩埚固定槽的大小,选择合适的固定孔,从而调节限位挡片之间的距离,提高了适用性。

第五、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,通过压紧弹簧的作用,使得加热板能够与坩埚紧密贴合,保证了坩埚喷涂的效果,并且在坩埚喷涂完成之后进行下料的时候,提高坩埚与两侧侧板之间的摩擦力,避免坩埚下料过快而导致无法控制,甚至导致坩埚发生磕碰而损坏。

第六、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,加强框包括边框和筋框,边框和筋框分别通过压紧弹簧与加热板连接,从而使得压紧弹簧对加热板与坩埚的压紧效果更均匀、接触更紧密。

第七、本发明的硅锭铸锭坩埚喷涂的上下料装置,转轴的轴身斜向上设置之后,不仅能够便于干过的上下料操作,而且也便于操作工对坩埚进行喷涂的操作。

附图说明

图1为本发明结构的主视示意图。

图2 为坩埚固定槽结构的主视示意图。

图3为车体结构的主视示意图。

图4为车体结构的俯视示意图。

具体实施方式

结合图1~图4所示,本发明包括坩埚固定槽1,所述坩埚固定槽1的底板2的侧边分别通过铰链4与侧板3连接,所述侧板3之间通过锁扣结构固定,所述底板2固定于转轴6的顶端,并且通过转轴6与底座5转动连接,所述转轴6的轴身斜向上设置;所述底座5位于坩埚固定槽1的槽口一侧设有车体18,所述车体18的顶面面向坩埚固定槽1的一侧设有侧板槽19,当位于坩埚固定槽1下方一侧的侧板3打开、并与相邻两个侧板3分离的时候,与侧板槽19接触,并且与侧板槽19的槽壁贴合。

所述车体18顶面的所在平面的高度高于或等于坩埚固定槽1下方一侧的侧板3内侧面的最低处;所述坩埚固定槽1面向该侧板3一侧的侧壁的所在高度低于或等于坩埚固定槽1下方一侧的侧板3内侧面所在平面对应于坩埚固定槽1面向该侧板3一侧的侧壁位置处的所在高度。

所述车体18顶部面向坩埚固定槽1一端的两侧分别设有限位限位挡片20,所述限位挡片20的一端固定于车体18,另一端与坩埚固定槽1两侧侧板3的内侧面贴合,所述限位挡片20位于固定端之间的距离大于另一端之间的距离。

所述限位挡片20为可弯曲的钢板。

所述限位挡片20通过固定立杆21与车体18。

所述车体18上沿着限位挡片20的长度方向依次固定有限位立杆22,所述限位立杆22与限位挡片20的外侧面贴合。

所述固定立杆21和限位立杆22分别通过车体18上所设的固定孔25与车体18固定。

所述固定孔25分别位于车体18的顶面和侧板槽19的槽底。

固定于车体18的侧板槽19槽底的限位立杆22的固定孔25分别设有多个,同一根限位立杆22的多个固定孔25分别沿平行于坩埚固定槽1下方一侧侧板3的方向设置。

所述底板2和侧板3分别包括加热板,所述加热板的内侧面分别固定有垫板17,所述加热板的外侧面分别固定有加强框13;所述侧板3的加强框13分别通过压紧弹簧16与侧板3的加热板固定。

所述加强框13包括边框14和筋框15;所述边框14和筋框15分别通过压紧弹簧16与侧板3连接。

所述转轴6通过斜块7与支座5连接,所述转轴6通过轴承座设于斜块7的斜面上。

所述锁扣装置包括固定于其中一个侧板3侧端的卡口10,以及设于相邻侧板3对应侧端的卡杆8,所述卡杆8为螺杆,所述卡杆8上通过螺纹连接有手盘9,所述卡口10的开口宽度大于卡杆8的直径并且小于手盘9的直径;所述卡杆8通过摆轴11与侧板3侧端所设的支座摆动连接。

所述卡杆8远离摆轴11的一端设有限位块12,所述限位块12直径大于卡杆8的直径。

所述侧板槽19的槽底向坩埚固定槽1一侧的方向向上倾斜;所述侧板槽19的槽壁与槽底垂直。

利用本发明将坩埚进行上料的时候,将放置有坩埚的车体18推至坩埚固定槽1的槽口前方,然后通过锁扣装置将坩埚固定槽1位于下方的侧板3与相邻两侧的侧板3分离,并将位于下方的侧板3绕铰链4向下转动至车体18的侧板槽19上,并且使该侧板3的外侧面与侧板槽19的槽底贴合、该侧板3远离底板2的一侧与侧板槽19的槽壁接触;将限位挡片20通过固定立杆21固定于车体18上,并根据坩埚大小和坩埚固定槽1的大小,再通过限位立杆22将限位挡片20向内弯曲,并使限位挡片20与坩埚固定槽1两侧的侧板3贴合;操作工将车体18上的坩埚推向坩埚固定槽1,由于位于坩埚固定槽1下方的侧板3与侧板槽19的槽壁接触,即该侧板3对侧板槽19起到了阻挡作用,所以车体18不会因为受到坩埚移动中产生的摩擦力而向坩埚固定槽1一侧移动;当坩埚面向坩埚固定槽1的一端与侧板3接触,并沿侧板3的内侧面向上移动的时候,侧板3与侧板槽19的槽底贴合,即侧板槽19的槽底对侧板3因受到坩埚的重力向下摆动起到了阻挡作用,所以侧板3不会因为坩埚的重力而向下摆动,并在限位挡片20的导向作用,从而使得坩埚能够沿着侧板3顺利移动至坩埚固定槽1内;尤其是当侧板槽19的槽底向坩埚固定槽1一侧的方向向上倾斜的时候,擦板槽19的槽底对侧板3的阻挡效果更佳;由于侧板3包括了加热板,并且加热板是通过压紧弹簧16与加强框13连接的,所以当压紧弹簧16在自由状态下的时候,两侧的侧板3的加热板之间的距离小于坩埚的宽度,如果直接将坩埚推入这种状态的坩埚固定槽1的话,需要在坩埚固定槽1的进料口处将两侧侧板3的加热板往外撑开至加热板之间的距离大于等于坩埚的宽度,这样操作非常费力、麻烦;而通过限位挡片20的导向作用,坩埚沿着限位挡片20推向坩埚固定槽1,当限位挡片20之间的距离小于坩埚的宽度的时候,由于限位挡片20是光滑完整的可弯曲钢板,所以坩埚在推力的作用下会将限位挡片20向外挤压,并继续向前进,直至限位挡片20将坩埚固定槽1的两侧侧板3的加热板向外挤压压紧弹簧16,并使坩埚顺利进入坩埚固定槽1内;然后将车体18向远离坩埚固定槽1的方向移动,使限位挡片20不在侧板3绕铰链4活动的范围内;再将坩埚固定槽1绕转轴6转动,使侧板3位于坩埚固定槽1的上方,并将侧板3绕铰链4转动,使侧板3的两侧端与相邻两侧的侧板3接触,最后通过锁扣装置将侧板3固定。

利用本发明将坩埚进行上料的时候,将车体18推至坩埚固定槽1的槽口前方,然后通过锁扣装置将坩埚固定槽1位于下方的侧板3与相邻两侧的侧板3分离,并将位于下方的侧板3绕铰链4向下转动至车体18的侧板槽19上,并且使该侧板3的外侧面与侧板槽19的槽底贴合、该侧板3远离底板2的一侧与侧板槽19的槽壁接触;将坩埚从坩埚固定槽1内向下推出,使坩埚的底部与位于侧板槽19上的侧板3接触,继续将坩埚从坩埚固定槽1内向下推出,直至坩埚与侧板槽19的槽壁接触,再将坩埚与侧板槽19接触位置处向上抬起至高于或等于车体18顶面,并继续向下推动坩埚,使坩埚底部与车体18顶面接触,并沿车体18顶面移动;在这个过程中,由于坩埚与位于侧板槽19上的侧板3接触,所以坩埚的重力作用于侧板3,使侧板3压住侧板槽19,避免侧板3不会因为坩埚的重力而向下摆动的同时,避免车体18由于受到坩埚移动产生的摩擦力而移动;尤其是当侧板槽19的槽底向坩埚固定槽1一侧的方向向上倾斜的时候,受到坩埚重力作用的侧板3正好阻挡了侧板槽19的槽底的移动,效果更好;当坩埚完全位于车体18上之后,将车体18向远离坩埚固定槽1的一侧推动,并将侧板3绕铰链4转动,使侧板3的两侧端与相邻两侧的侧板3接触,最后通过锁扣装置将侧板3固定。

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