一种涂胶设备的制作方法

文档序号:11743737阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种涂胶设备,包括用于承载基板的承载台,设置于所述承载台上方的支架,所述支架上设有能够沿着涂胶方向移动以对基板进行涂胶的涂胶喷嘴,沿着涂胶方向基板包括相对设置的第一侧和第二侧,其特征在于,还包括设于所述基板的第一侧和第二侧的涂胶板,所述涂胶板具有与基板的表面位于同一平面的第一表面。

2.根据权利要求1所述的涂胶设备,其特征在于,所述涂胶板包括通过一连接杆连接且对称设置的第一子涂胶板和第二子涂胶板,

涂胶设备还包括控制所述涂胶板在第一状态和第二状态之间变化的控制结构;

其中,所述第一状态下,所述第一子涂胶板远离所述第二子涂胶板的第一面为所述第一表面;

所述第二状态下,所述第二子涂胶板远离所述第一子涂胶板的第二面为所述第一表面。

3.根据权利要求2所述的涂胶设备,其特征在于,所述控制结构包括设置于所述承载台一侧的用于驱动所述涂胶板翻转的伺服马达,所述伺服马达通过第一传动杆与设置于基板所述第一侧的涂胶板连接,所述伺服马达通过第二传动杆与设置于基板所述第二侧的涂胶板连接。

4.根据权利要求2所述的涂胶设备,其特征在于,还包括用于对在所述第一状态下对所述第二子涂胶板进行清洗干燥,或在所述第二状态下对所述第一子涂胶板进行清洗干燥的清洗干燥结构。

5.根据权利要求4所述的涂胶设备,其特征在于,所述清洗干燥结构包括喷嘴,在清洗状态下对所述喷嘴提供清洗液的清洗液供给结构,以及在干燥状态下对所述喷嘴提供干燥气体的干燥气体供给结构。

6.根据权利要求2所述的涂胶设备,其特征在于,所述第一子涂胶板沿涂胶方向的长度为10mm-50mm,所述第一子涂胶板在与涂胶方向垂直的方向的长度比基板在与涂胶方向垂直的方向上的长度大5mm-10mm,第一子涂胶板的厚度为5mm-10mm。

7.根据权利要求2所述的涂胶设备,其特征在于,所述第一子涂胶板采用不锈钢材料制成。

8.根据权利要求1所述的涂胶设备,其特征在于,沿着涂胶方向在所述承载台的至少一侧设有预喷涂滚轮。

9.根据权利要求1所述的涂胶设备,其特征在于,所述支架可沿涂胶方向在基板上方移动,所述支架上设有能够沿支架在与涂胶方向垂直的方向上移动的、用于检测基板上异物的异物检测结构。

10.根据权利要求1所述的涂胶设备,其特征在于,所述支架上还设有用于测量基板厚度的基板厚度检测结构。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1