一种涂胶设备的制作方法

文档序号:11743737阅读:465来源:国知局

本实用新型涉及液晶产品制作技术领域,尤其涉及一种涂胶设备。



背景技术:

目前传统的涂胶设备无法保证涂胶起始部和结束部的光刻胶均一性,从而导致产品的线宽均一性较差。



技术实现要素:

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种涂胶设备,解决了对基板进行涂胶,基板的第一侧和第二侧涂胶不均匀的问题。

为了达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种涂胶设备,包括用于承载基板的承载台,设置于所述承载台上方的支架,所述支架上设有能够沿着涂胶方向移动以对基板进行涂胶的涂胶喷嘴,沿着涂胶方向基板包括相对设置的第一侧和第二侧,还包括设于所述基板的第一侧和第二侧的涂胶板,所述涂胶板具有与基板的表面位于同一平面的第一表面。

进一步的,所述涂胶板包括通过一连接杆连接且对称设置的第一子涂胶板和第二子涂胶板,

涂胶设备还包括控制所述涂胶板在第一状态和第二状态之间变化的控制结构;

其中,所述第一状态下,所述第一子涂胶板远离所述第二子涂胶板的第一面为所述第一表面;

所述第二状态下,所述第二子涂胶板远离所述第一子涂胶板的第二面为所述第一表面。

进一步的,所述控制结构包括设置于所述承载台一侧的用于驱动所述涂胶板翻转的伺服马达,所述伺服马达通过第一传动杆与设置于基板所述第一侧的涂胶板连接,所述伺服马达通过第二传动杆与设置于基板所述第二侧的涂胶板连接。

进一步的,还包括用于对在所述第一状态下对所述第二子涂胶板进行清洗干燥,或在所述第二状态下对所述第一子涂胶板进行清洗干燥的清洗干燥结构。

进一步的,所述清洗干燥结构包括喷嘴,在清洗状态下对所述喷嘴提供清洗液的清洗液供给结构,以及在干燥状态下对所述喷嘴提供干燥气体的干燥气体供给结构。

进一步的,所述第一子涂胶板沿涂胶方向的长度为10mm-50mm,所述第一子涂胶板在与涂胶方向垂直的方向的长度比基板在与涂胶方向垂直的方向上的长度大5mm-10mm,第一子涂胶板的厚度为5mm-10mm。

进一步的,所述第一子涂胶板采用不锈钢材料制成。

进一步的,沿着涂胶方向在所述承载台的至少一侧设有预喷涂滚轮。

进一步的,所述支架可沿涂胶方向在基板上方移动,所述支架上设有能够沿支架在与涂胶方向垂直的方向上移动的、用于检测基板上异物的异物检测结构。

进一步的,所述支架上还设有用于测量基板厚度的基板厚度检测结构。

本实用新型的有益效果是:涂胶板的设置解决了对基板进行涂胶,基板的第一侧和第二侧涂胶不均匀的问题。

附图说明

图1表示本实用新型实施例中涂胶设备结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的特征和原理进行详细说明,所举实施例仅用于解释本实用新型,并非以此限定本实用新型的保护范围。

如图1所示,本实施例提供一种涂胶设备,包括用于承载基板2的承载台4,设置于所述承载台4上方的支架1,所述支架1上设有能够沿着涂胶方向(图1中箭头方向为涂胶方向)移动以对基板2进行涂胶的涂胶喷嘴11,沿着涂胶方向基板2包括相对设置的第一侧和第二侧,还包括设于所述基板2的第一侧和第二侧的涂胶板3,所述涂胶板3具有与基板2的表面位于同一平面的第一表面。

所述基板2的第一侧和第二侧均设置一涂胶板3,在涂胶时,从设置在基板2的第一侧的涂胶板3开始,并结束于设置于基板2第二侧的涂胶板3,从而将涂胶不均匀的区域从基板2上转移到了涂胶板3上,涂胶板3的设置解决了对基板2进行涂胶,基板2的第一侧和第二侧涂胶不均匀的问题。

涂胶结束后,可以将涂胶板向远离基板的方向缓慢移动以分离,为了不影响基板上的涂胶质量,可以采用切割的方式在涂胶板与基板的接缝处切割分离,然后移开涂胶板,或者可以进行第一子涂胶板31和第二子涂胶板32上光刻胶的去除,可选的有化学的方法,如用丙二醇甲醚醋酸酯或乙二醇一乙基醚醋酸酯去边溶剂,喷出少量在边缘处,并小心控制不要到达基板2的有效区域,只要能够将第一子涂胶板31和第二子涂胶板32上光刻胶与基板2上的光刻胶分离即可,在此不再赘述。

所述涂胶板3的具体结构形式可以有多种,只要满实现对基板2的辅助涂胶,且开始涂胶的区域位于涂胶板3上,结束涂胶的区域位于涂胶板3上以转移涂胶不均匀区域即可,本实施例中,所述涂胶板3包括通过一连接杆33连接且对称设置的第一子涂胶板31和第二子涂胶板32,

涂胶设备还包括控制所述涂胶板3在第一状态和第二状态之间变化的控制结构;

其中,所述第一状态下,所述第一子涂胶板31远离所述第二子涂胶板32的第一面为所述第一表面;

所述第二状态下,所述第二子涂胶板32远离所述第一子涂胶板31的第二面为所述第一表面。

所述涂胶板3的第一表面与基板2的表面位于同一平面利于涂胶,所述第一状态下,所述第一子涂胶板31远离所述第二子涂胶板32的第一面为所述第一表面,在对一基板2涂胶结束后,更换下一基板2,在控制结构的控制下,涂胶板3由所述第一状态转换为所述第二状态,此时,所述第二子涂胶板32远离所述第一子涂胶板31的第二面为所述第一表面,所述第一子涂胶板31和第二子涂胶板32交替进入工作状态,提高工作效率。

优选的,为了使得涂胶板3的第一表面与基板2之间紧密接触无缝隙以防止漏胶以至影响涂胶质量,所述基板2在涂胶方向的长度小于承载基台4在涂胶方向的长度,在进行涂胶时,涂胶板3的第一表面部分覆盖于所述承载基台4上,为了配合此设置,所述连接杆33与所述第一子涂胶板31或第二子涂胶板32在涂胶方向上可相对移动;或者,所述第一子涂胶板31和所述第二子涂胶板32均可弹性伸缩;或者,所述承载基台4设置有能够供涂胶板3中第一子涂胶板31或者第二子涂胶板32的一端插入的插槽,所述插槽在涂胶方向上的深度大于所述涂胶板3的第一表面覆盖于所述承载基台4上的部分、在涂胶方向上的长度,即,所述第一状态下,所述第一子涂胶板31远离所述第二子涂胶板32的第一面为所述第一表面,所述第二子涂胶板32的一端插入所述插槽中以使得所述第一子涂胶板31与基板紧密接触,基板涂胶结束后,涂胶板3向远离所述承载基台4的方向移动使得所述第二子涂胶板32从所述插槽中脱离,涂胶板3翻转180度、并向靠近所述承载基台4的方向移动、使得所述第二子涂胶板32远离所述第一子涂胶板31的第二面为所述第一表面、且所述第二子涂胶板32与基板紧密接触,所述第一子涂胶板31的一端插入所述插槽中,涂胶板3由第一状态转换为第二状态。

优选的,所述控制结构包括设置于所述承载台4一侧的用于驱动所述涂胶板3翻转的伺服马达6,所述伺服马达6通过第一传动杆与设置于基板2所述第一侧的涂胶板3连接,所述伺服马达6通过第二传动杆与设置于基板2所述第二侧的涂胶板3连接。所述伺服马达6控制基板2第一侧或第二侧的涂胶板3翻转180度即可控制涂胶板3在第一状态和第二状态之间转换。

为了使得所述第一子涂胶板31和所述第二子涂胶板32可以循环使用,进一步的提高工作效率,本实施例中,涂胶设备还包括用于对在所述第一状态下对所述第二子涂胶板32进行清洗干燥,或在所述第二状态下对所述第一子涂胶板31进行清洗干燥的清洗干燥结构。

所述第一状态下,所述第一子涂胶板31远离所述第二子涂胶板32的第一面为所述第一表面;在一基板2涂胶结束后,通过控制结构的控制,涂胶板3由所述第一状态转换为所述第二状态,此时,所述第二子涂胶板32远离所述第一子涂胶板31的第二面为所述第一表面,第二个基板2进行涂胶;此时,通过清洗干燥结构对所述第一子涂胶板31远离所述第二子涂胶板32的第一面进行清洗干燥,以便在另一基板2进行涂胶时,只需通过控制结构控制涂胶板3由所述第二状态转换为第一状态,即清洗干燥后的所述第一面为所述第一表面再次进行辅助涂胶。如此循环工作,提高工作效率。

所述清洗干燥结构的具体结构形式可以有多种,只要实现对涂胶板3的清洗干燥即可,本实施例中,所述清洗干燥结构包括喷嘴,在清洗状态下对所述喷嘴提供清洗液的清洗液供给结构,以及在干燥状态下对所述喷嘴提供干燥气体的干燥气体供给结构

本实施例中,所述干燥气体优选为氮气。

优选的,所述第一子涂胶板31沿涂胶方向的长度为10mm-50mm,所述第一子涂胶板31在与涂胶方向垂直的方向的长度比基板2在与涂胶方向垂直的方向上的长度大5mm-10mm,第一子涂胶板31的厚度为5mm-10mm。

所述第一子涂胶板31与所述第二子涂胶板32为对称结构,所述第二子涂胶板32沿涂胶方向的长度为10mm-50mm,所述第二子涂胶板32在与涂胶方向垂直的方向的长度比基板2在与涂胶方向垂直的方向上的长度大5mm-10mm,第二子涂胶板32的厚度为5mm-10mm。上述数值的设定提供了涂胶的质量,但并不是对第一子涂胶板31或第二子涂胶板32的限定,具体的数值设定可以根据实际需要选取。

优选的,所述第一子涂胶板31采用不锈钢材料制成,所述第一子涂胶板31和所述第二子涂胶板32均为平面结构,利于转移基板2涂胶不均匀的区域。

优选的,沿着涂胶方向在所述承载台4的至少一侧设有预喷涂滚轮5。

承载台4的一侧设置有清洗涂胶喷嘴11的预喷涂滚轮5,在对基板表面进行涂胶时,首先需要将涂胶喷嘴11在预喷涂滚轮5上进行清洗,并在预喷涂滚轮5上进行预涂胶,涂胶喷嘴11在预喷涂滚轮5上进行清洗及预喷涂的同时,机械手将基板放置在承载台4的承载面,基板放好后支架1向承载台4一侧移动,支架1上的涂胶喷嘴11开始对基板的表面进行正式涂胶;正式涂胶完成后,涂胶喷嘴11抬起随支架1返回到预喷涂滚轮5上,在预喷涂滚轮5上进行清洗以及预喷涂,而在涂胶喷嘴11进行清洗及预喷涂的过程中,机械手更换上第二块基板,然后再开始第二块基板的涂胶作业;承载台4的两侧均设有预喷涂滚轮5时,正式涂胶完成后,涂胶喷嘴11在承载台4另一侧的预喷涂滚轮5上进行清洗以及预喷涂,而在涂胶喷嘴11进行清洗及预喷涂的过程中,机械手更换上第二块基板,然后再开始第二块基板的涂胶作业。

优选的,所述支架1可沿涂胶方向在基板2上方移动,所述支架1上设有能够沿支架1在与涂胶方向垂直的方向上移动的、用于检测基板2上异物的异物检测结构13。异物检测结构13的设置便于在对基板2涂胶之前清楚基板2上的异物,以防涂胶不良。

优选的,所述支架1上还设有用于测量基板2厚度的基板2厚度检测结构12,利于涂胶。

以上所述为本实用新型较佳实施例,需要说明的是,对于本领域普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。

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