一种网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置的制作方法

本实用新型属于等离子体应用技术领域，具体涉及一种网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置。

背景技术：

等离子体是由电子、离子、自由基及中性物质等构成的一类导电性流体。其形成过程中生成的氧活性物质(O₃、·OH、·O、H₂O₂等)具有较强的氧化性，能够直接或者间接与气相或液相中的化合物发生快速、高效的氧化反应，实现常规方法难以实现的反应过程，在材料、能源、环境与化工等领域具有很好的应用前景。

介质阻挡放电是大气压环境下产生低温等离子体的有效方法之一，具有电子能量高和电子密度高，应用效果高等优点，受到等离子体技术应用者广泛青睐。介质阻挡放电是在两个金属导体电极之间放置绝缘介质，抑制了火花放电向弧光放电转变，易形成稳定的流光放电，故称为介质阻挡放电。按照金属导体电极和绝缘介质形状和放置方式分为沿面放电、体放电(包括板-板式、线-管式、管-管式、针-板式)和填充床等三种结构形式。采用交流、脉冲或高频电源给电极系统供电，产生低温等离子体。

体放电形式的介质阻挡放电等离子体电极系统是由金属导体电极、绝缘介质、气隙空间和金属导体电极构成的。如申请号为201610112218.5的中国实用新型专利申请公开的一种管形介质阻挡放电等离子体推进装置、申请号为200610104653.X的中国实用新型专利申请公开的一种介质阻挡放电产生的低温等离子体室内空气净化方法，由于电极系统中的气隙间距较小为毫米数量级，所以气隙间的电场强度较大，气体通过间隙时产生放电风力和活性物质总量较大，由此在相关方面得以应用。但是因为气隙间距较小，由此产生气体阻力大，难以作用于大气量的气体。填充床式介质阻挡放电等离子体电极系统是在两个金属电极之间放置直径毫米量级以下的绝缘介质颗粒球，当在金属导体电极之间施加电压时，绝缘介质颗粒球在电场作用下被极化，而且相邻两个颗粒球相近表面会极化出相反极性的电荷，在相邻两个颗粒球间形成强电场引发放电。填充床式介质阻挡放电等离子体电极系统，同样存在气体阻力大的问题。

沿面式介质阻挡放电等离子体电极系统是将两个金属导体电极放置于在绝缘介质壁上，当在金属导体电极之间施加电压时，金属导体电极周围的绝缘介质被极化产生与金属导体电极极性相反的电荷，这样金属导体电极和绝缘介质极化电荷形成强电场引发放电，通过调整电极长度调节电极与绝缘介质接触面积，进而调节放电等离子体面积或区域。气体是受绝缘介质壁上的等离子体作用，因此沿面式介质阻挡放电等离子体电极系统可以通过增加相邻绝缘介质间距(板-板间距或管的直径)，降低电极系统对气体阻力。如公开号CN103768902A公开的一种湿法烟气脱硫工艺中亚硫酸盐浆液氧化方法及其设备和公告号CN203790808U公开的一种湿法烟气脱硫工艺中亚硫酸盐浆液氧化设备，采用螺环型沿面放电式介质阻挡放电等离子体产生活性物质用于氧化燃煤烟气的脱硫浆液，取得了降低氧化空气量1倍的效果。对比文件【张颖等，沿面型介质阻挡放电中高压电极配置对放电特性及臭氧产量的影响，高电压技术，2015年第41卷、第2期、第539-546页】和【岳帅，沿面介质阻挡放电装置结构优化及供电研究，大连理工大学硕士论文，第16页】进一步研究了螺环沿面放电式介质阻挡等离子体电极结构配置方法，包括螺环线径、螺距、螺环线材料等，对螺环沿面放电式介质阻挡等离子体应用提供参考。沿面放电式介质阻挡等离子体区域是与绝缘介质表面放置金属导体电极长度呈正相关的，即金属导体电极长度大的，等离子体区域大，而螺环形式的沿面放电等离子体电极系统的金属导体电极线在增加长度方面受到绝缘介质表面参数的限制，由此导致沿面放电等离子体区域受到限制。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的体放电和填充床两种形式的介质阻挡放电等离子体气体阻力大与螺环形沿面放电等离子体区域有限等技术问题，本实用新型提供一种网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置，该装置包括网孔形沿面放电等离子体反应器、含氧气体发生器以及电源；其中，所述网孔形沿面放电等离子体反应器包括至少一个网孔形沿面放电等离子体模块，所述网孔形沿面放电等离子体模块包括具有高压接线电极和低压接线电极的阵列式放电电极系统或管式放电电极系统；

所述阵列式放电电极系统放置于一密封箱体内，所述阵列式放电电极系统包括绝缘支架以及等间距固定安装在所述绝缘支架上的多组放电板，每组放电板包括绝缘介质薄板、紧密安装在所述绝缘介质薄板一侧面的第一金属板以及紧密安装在所述绝缘介质薄板另一侧面的第二金属板，所述第一金属板上均匀开设有第一网孔，所有第一金属板和第二金属板分别通过导线连接起来，形成阵列式放电电极系统的两个接线电极；

所述管式放电电极系统包括母管、设置在所述母管两端的均布法兰以及两端穿过所述母管成阵列形式安装在所述均布法兰上的若干套电极管，每套电极管包括第一金属管、紧密放置于所述第一金属管内的绝缘介质管以及紧密安放于所述绝缘介质管内壁上的第二金属管，所述第二金属管上均匀开设有第二网孔，所有第一金属管和第二金属管分别通过导线连接起来，形成管式放电电极系统的两个接线电极。

按上述技术方案，在阵列式放电电极系统中，所述第一金属板作为高压接线电极，所述第二金属板作为低压接线电极；在管式放电电极系统中，所述第二金属管作为高压接线电极，所述第一金属管作为低压接线电极。

按上述技术方案，所述第一网孔和第二网孔的形状为长方形、圆形、三角形或多边形。

按上述技术方案，所述第一金属板和第二金属管的厚度是0.1mm-5mm，所述第一网孔和第二网孔的直径均为1mm-10mm，相邻第一网孔边缘的间距、相邻第二网孔边缘的间距均是0.1mm-50mm。

按上述技术方案，所述网孔形沿面放电等离子体模块还包括高压绝缘子和低压绝缘子，所述高压绝缘子的一端与阵列式放电电极系统或管式放电电极系统的高压接线电极连接，其另一端与电源的高压输出端连接，所述低压绝缘子的一端与阵列式放电电极系统或管式放电电极系统的低压接线电极连接，其另一端与电源的低压输出端连接。

按上述技术方案，所述网孔形沿面放电等离子体模块还包括设置在密封箱体两端或两个均布法兰上的进气头和出气头，所述进气头与含氧气体发生器连接，所述出气头与一微孔曝气器连接，所述微孔曝气器设置在一容器内。

按上述技术方案，所述绝缘介质薄板和绝缘介质管的绝缘介质为石英玻璃、陶瓷、云母或聚乙烯。

按上述技术方案，所述网孔形沿面放电等离子体反应器包括若干个串并联组成的网孔形沿面放电等离子体模块。

按上述技术方案，所述电源为一台或多台。

按上述技术方案，所述电源为脉冲波形高压、正弦波形高压、三角波波形高压或方波波形高压的交流高压电源，所述交流高压电源的频率为50Hz-20kHz。

本实用新型，具有以下有益效果：该装置通过设置具有网孔的第一金属板或第二金属管作为高压接线电极或低压接线电极，可以使得相同绝缘介质尺寸下产生沿面放电等离子体区域大，从而节省等离子体空间体积；另外，该装置采用气体阻力小的网孔形沿面放电等离子体反应器，适于对大流量空气或氧气进行放电活化处理。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1为本实用新型实施例一的结构示意图。

图2为本实用新型实施例一中阵列式放电电极系统的结构示意图。

图3为本实用新型实施例二中管式放电电极系统的结构示意图。

图4为本实用新型的应用效果图。

图中：1-密封箱体；2-网孔形沿面放电等离子体反应器；3-电源；4-含氧气体发生器；5-流量计；6-容器；7-导线；8-硅橡胶管；9-微孔曝气器；10-进气头；11-出气头；12-高压绝缘子；13-低压绝缘子；14-第一金属板；15-绝缘介质薄板；16-第二金属板；17-绝缘支架；18-母管；19-电极管；20-均布法兰。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的较佳实施例中，如图1-图3所示，一种网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置，该装置包括网孔形沿面放电等离子体反应器2、含氧气体发生器4(一般采用空气压缩机)以及电源3，含氧气体发生器用于向网孔形沿面放电等离子体反应器2提供含氧气体，电源用于向网孔形沿面放电等离子体反应器供电以产生等离子体，当含氧气体发生器4产生的含氧气体通过网孔形沿面放电等离子体反应器2中的等离子体区域时，含氧气体中的含氧物质(包括O₂和H₂O等)受到等离子体中高能电子作用，转变成含氧活性物质(包括O₃、O·、·OH等)；其中，网孔形沿面放电等离子体反应器2包括至少一个网孔形沿面放电等离子体模块，网孔形沿面放电等离子体模块包括具有高压接线电极和低压接线电极的阵列式放电电极系统或管式放电电极系统；

如图1所示，阵列式放电电极系统放置于一密封箱体1内，如图2所示，阵列式放电电极系统包括绝缘支架17以及等间距固定安装在绝缘支架17上的多组放电板，每组放电板包括绝缘介质薄板15、紧密安装在绝缘介质薄板15一侧面的第一金属板14以及紧密安装在绝缘介质薄板15另一侧面的第二金属板16，第一金属板14上均匀开设有第一网孔，所有第一金属板14和第二金属板16分别通过导线7连接起来，形成阵列式放电电极系统的两个接线电极；

如图3所示，管式放电电极系统包括母管18、设置在母管18两端的均布法兰20以及两端穿过母管18成阵列形式安装在均布法兰20上的若干套电极管19，每套电极管19包括第一金属管、紧密放置于第一金属管内的绝缘介质管以及紧密安放于绝缘介质管内壁上的第二金属管，第二金属管上均匀开设有第二网孔，所有第一金属管和第二金属管分别通过导线7连接起来，形成管式放电电极系统的两个接线电极。

在本实用新型的优选实施例中，在阵列式放电电极系统中，第一金属板作为高压接线电极，第二金属板作为低压接线电极；在管式放电电极系统中，第二金属管作为高压接线电极，第一金属管作为低压接线电极。

在本实用新型的优选实施例中，第一网孔和第二网孔的形状为长方形、圆形、三角形或多边形。

在本实用新型的优选实施例中，第一金属板14和第二金属管的厚度是0.1mm-5mm，第一网孔和第二网孔的直径均为1mm-10mm，相邻第一网孔边缘的间距、相邻第二网孔边缘的间距均是0.1mm-50mm，其中，第二金属管的内径是5mm-50mm，相邻第一金属板14、相邻第二金属管的间距是0.1mm-50mm。

在本实用新型的优选实施例中，如图1、图3所示，网孔形沿面放电等离子体模块还包括高压绝缘子12和低压绝缘子13，高压绝缘子12的一端与阵列式放电电极系统或管式放电电极系统的高压接线电极连接，其另一端与电源3的高压输出端连接，低压绝缘子13的一端与阵列式放电电极系统或管式放电电极系统的低压接线电极连接，其另一端与电源3的低压输出端连接。

在本实用新型的优选实施例中，如图1、图3所示，网孔形沿面放电等离子体模块还包括设置在密封箱体1两端或两个均布法兰20上的进气头10和出气头11，进气头10与含氧气体发生器4连接，出气头11与一微孔曝气器9连接，微孔曝气器9设置在一容器6内。

在本实用新型的优选实施例中，绝缘介质薄板15和绝缘介质管的绝缘介质为石英玻璃、陶瓷、云母或聚乙烯。

在本实用新型的优选实施例中，网孔形沿面放电等离子体反应器2包括若干个串并联组成的网孔形沿面放电等离子体模块，通过增加网孔形沿面放电等离子体模块的数量，以增加网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置处理气体流量的规模，其规模还可以通过增加网孔形沿面放电等离子体模块的尺寸来实现。

在本实用新型的优选实施例中，当使用多个网孔形沿面放电等离子体模块时，电源为一台或多台，可以是一台电源给所有模块供电，也可以将所有模块分成若干组，由若干台电源分组供电。

在本实用新型的优选实施例中，电源3为脉冲波形高压、正弦波形高压、三角波波形高压或方波波形高压的交流高压电源，交流高压电源的频率为50Hz-20kHz。

本实用新型中网孔形沿面放电等离子体模块做成阵列式结构，其电极结构形状分为两种，即平板式和管式。下面分别介绍平板式的网孔形沿面放电等离子体模块和管式的网孔形沿面放电等离子体模块。

如图1、图2所示，平板式的网孔形沿面放电等离子体模块包括密封箱体1(本实施例中密封箱体为有机玻璃箱)、阵列式放电电极系统、高压绝缘子12、低压绝缘子13、进气头10、出气头11等部件，阵列式放电电极系统由绝缘支架17、若干第一金属板14、若干绝缘介质薄板15(本实施例中绝缘介质薄板为石英玻璃板)和若干第二金属板16组成。

以下为平板式的网孔形沿面放电等离子体模块的组装步骤：

S1、组装阵列式放电电极系统：首先将第一金属板和第二金属板分别紧密固定安装于绝缘介质薄板的两个侧面上，组成一组放电板，其次将若干组组装好的放电板等间距、固定安放在绝缘支架上，构成阵列式放电电极系统，最后再利用导线将每组放电板中同一侧的第一金属板或第二金属板连接起来，形成阵列式放电电极系统的两个接线电极，其中一个作为阵列式放电电极系统的高压接线电极，另一个作为阵列式放电电极系统的低压接线电极；

S2、将组装好的阵列式放电电极系统放置于密封箱体内部，利用导线将阵列式放电电极系统的高压接线电极连接到密封箱体上的高压绝缘子的引线处，利用导线将阵列式放电电极系统的低压接线电极连接到密封箱体上的低压绝缘子的引线处；

S3、将进气头和出气头分别安装于密封箱体的前后两端，作为网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置的气体进口和气体出口；

S4、通过导线分别将交流高压电源的高压输出端和低压输出端与高压绝缘端子和低压绝缘子连接。

如图3所示，管式的网孔形沿面放电等离子体模块包括母管18、若干套电极管19、两个多孔成阵列对称排布的均布法兰20、高压绝缘子12、低压绝缘子13、进气头10、出气头11等部件，每套电极管由第一金属管、绝缘介质管和第二金属管(或者冲孔金属管)组成。

以下为管式的网孔形沿面放电等离子体模块的组装步骤：

S1、将均布法兰安装在母管上两端口处；

S2、根据均布法兰上阵列孔的数量，将若干根第一金属管成阵列形式固定在母管前后两个端口处的均布法兰上，然后将绝缘介质管紧密放置于每根第一金属管中，最后再将第二金属管紧密安放于绝缘介质管内壁上；

S3、将高压绝缘子和低压绝缘子分别安装于母管上两端口的均布法兰的侧壁上，利用导线将每根第二金属管连接在一起后再连接到高压绝缘子上，利用导线再将每根第一金属管连接在一起后再连接到低压绝缘子上；

S4、将母管前端的进气头或母管后端的出气头，分别安放于母管前后两端的均布法兰上，作为网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置的气体进口和气体出口；

S5、通过导线分别将交流高压电源的高压输出端和低压输出端与高压绝缘端子和低压绝缘子连接。

本实施例介绍一种采用平板式的网孔形沿面放电等离子体模块的网孔形沿面放电等离子体产生氧活性物质的装置，应用该装置氧化处理燃煤烟气湿法脱硫的模拟浆液，如图1所示，该装置包括有机玻璃箱、网孔形沿面放电等离子体反应器、交流高压电源、空气压缩机、流量计5、容器6、导线7、硅橡胶管8和微孔曝气器9等部件，网孔形沿面放电等离子体反应器2放置于有机玻璃箱内部，交流高压电源通过导线7、高压绝缘子12和低压绝缘子13连接到网孔形沿面放电等离子体反应器2上，利用硅橡胶管8将空气压缩机与流量计5、流量计5与网孔形沿面放电等离子体反应器2上的进气头10、网孔形沿面放电等离子体反应器2上的出气头11与微孔曝气器9等彼此连接好，微孔曝气器9放入容器6里面。

如图2所示，网孔形沿面放电等离子体反应器2包括第一金属板(冲孔金属板)、石英玻璃板、第二金属板和绝缘支架17。首先将第一金属板作为高压接线电极紧密放置于石英玻璃板的上表面，另一个第二金属板16作为低压接线电极紧密放置在石英玻璃板的下面，然后再将第一金属板、石英玻璃板和第二金属板组成的放电电极固定安放在绝缘支架17上，最后全部放置于有机玻璃箱中。作为高压接线电极的冲孔第二金属板是厚度0.05mm、边长70mm的正方形铝箔，其冲孔孔径为6mm，孔与孔边缘的间距为3mm；石英玻璃板是边长为110mm、厚度为1.5mm的正方形板；第二金属板16是厚度2mm、边长70mm的正方形不锈钢板；绝缘支架17用方形柱体制成；有机玻璃密封箱1是边长150mm、高度10mm的正方体。

当交流高压电源输出高压，在网孔形沿面放电等离子体反应器的电极系统内部产生沿面放电等离子体，空气压缩机鼓出的空气从网孔形沿面放电等离子体反应器的进气头进入等离子体区域，空气中含氧物质(包括O₂和H₂O等)受等离子体中高能电子作用，转变成含氧活性物质(包括O₃、O、·OH等)后再从网孔形沿面放电等离子体反应器的出气头导出，通过微孔曝气器注入到盛装亚硫酸钙溶液的容器6的浆液中，实现亚硫酸钙的氧化应用。

如图4所示，本实用新型的应用效果是，在空气压缩机输送流量1m³/h的空气，交流高压电源峰值电压19kV、50Hz，亚硫酸钙浆液的初始浓度0.01mol/L、初始pH值5.5的条件下，本实用新型的氧化速率是空气自身氧化速率的3.1倍，氧化时间60min时，等离子体氧化效率是92.4％，远高于空气自氧化效率的52.3％效果。可见，应用本实用新型氧化处理燃煤烟气湿法脱硫浆液，具有氧化效率和氧化速率高，以及操作方便等优点。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。