技术总结
本实用新型公开了一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器，包括过滤器本体，过滤器本体包括设有通道结构的框架、对流经通道结构的气流进行过滤的过滤单元、与流经通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片以及检测腐蚀试片电性能参数的检测单元。本实用新型根据检测单元检测腐蚀试片的电性能参数变化，进而确定腐蚀试片所接触的气流是否含有腐蚀性气体，如含有腐蚀性气体，可及时停止化学过滤器所对应FFU及其下方的机台的工作，防止更大量的腐蚀性气体进入洁净空间中及位于被污染FFU下方机台上产品被污染，由于FFU基本布满洁净空间的上方且不同腐蚀试片接触不同通道结构的气流，因此，能够实现检测的全面性和准确性。
技术研发人员：杨政谕
受保护的技术使用者：亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司
技术研发日：2018.08.07
技术公布日：2019.03.19