液体浸膜装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜装置领域，特别是涉及一种液体浸膜装置。

背景技术：

现代精密光学元件向功能集成化和高精度方向发展，光学元器件的分光光谱特性等需依靠光学镀膜实现，光学镀膜技术已成为光学元器件行业的关键技术之一。

光学元器件镀膜是指在光学元器件上或独立的基板材料上镀上一层或多层，甚至数百层的介电质膜、金属膜、介电质膜与金属膜组成的膜系。

现有的镀膜技术，具有较高的技术门槛，目前高效、高品质、低成本的批量化生产技术仍不成熟，尤其是在黏稠性液体镀膜过程中，液体结晶而影响工件质量，成品率低、浪费资源。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单、成本低、操作简便的液体浸膜装置。

本实用新型液体浸膜装置，包括储液装置和浸液装置，所述储液装置与所述浸液装置连通，所述浸液装置内设有工件进出口、供液管道、浸液池和回液腔道，所述供液管道、所述浸液池和所述回液腔道连通，所述供液管道、所述回液腔道均与所述储液装置连通，所述浸液池内放置工件，所述浸液池与工件进出口连通，所述储液装置内的液体流入所述供液管道内，工件在所述浸液池进行镀膜，液体沿回液腔道回流到所述储液装置内。

优选的，所述浸液装置包括浸液组件，所述浸液组件拼接形成腔体结构，腔体结构内设置有分隔组件，所述分隔组件与所述浸液组件之间形成所述供液管道，所述分隔组件内形成所述浸液池，所述供液管道与所述浸液池顶部连通，所述分隔组件与所述浸液组件底部连通形成所述回液腔道。

在上述任意方案中优选的是，所述浸液组件内设有供液通道和均液通道，所述均液通道与所述供液通道连通，且所述均液通道设置在所述供液通道顶部，所述供液通道的底部开设有进液口，所述进液口与所述储液装置连通，所述供液通道上设有若干个分流隔板形成若干个纵向通道。

在上述任意方案中优选的是，所述浸液组件内设有储液凹槽，所述储液凹槽上开设有排液口，所述排液口与所述储液装置连通，所述储液凹槽与所述分隔组件组合形成所述回液腔道。

在上述任意方案中优选的是，所述浸液组件包括第一浸液组件和第二浸液组件，所述第一浸液组件与所述第二浸液组件拼接形成墙体结构，所述第一浸液组件与所述第二浸液组件结构相同。

在上述任意方案中优选的是，所述第一浸液组件与所述第二浸液组件拼接后顶部形成开口结构，开口结构为所述工件进出口。

在上述任意方案中优选的是，所述分隔组件包括第一浸液隔板和第二浸液隔板，所述第一浸液隔板和所述第二浸液隔板拼接形成所述浸液池，所述第一浸液隔板、所述第二浸液隔板均与所述浸液组件之间形成供液管道，所述第一浸液隔板和/或所述第二浸液隔板上开设有导通槽，所述导通槽连通所述浸液池与所述回液腔道。

在上述任意方案中优选的是，所述第一浸液隔板和/或所述第二浸液隔板上设有导流面。

在上述任意方案中优选的是，所述第一浸液隔板和/或所述第二浸液隔板上设有储液曲面，所述储液曲面与所述浸液组件配合形成所述回液腔道。

在上述任意方案中优选的是，所述储液装置上连接有补液装置。

本实用新型液体浸膜装置现有技术不同之处在于：本实用新型液体浸膜装置，包括储液装置和浸液装置，工件在浸液装置内进行浸液式覆膜加工，浸液装置内的液体保持循环流动状态，防止液体结晶，保证工件的镀膜质量，

工件从工件进出口放置到浸液池内，储液装置内的液体沿供液管道流入浸液池内，工件在浸液池内进行浸镀，浸液池内的的液体向回液腔道流动，液体沿回液腔道回流到储液装置内，形成循环流动状态，防止镀液固化形成晶体而影响工件的镀膜质量，工件在浸液池内浸镀完成后，从工件进出口取出工件，完成工件的镀膜过程。采用本实施例的装置进行镀膜，工件进出口的液体受风化作用会形成固相晶体，固相晶体在随液相材料流动的过程中能够复溶形成液相材料，可直接重复利用，形成气液相界面防结膜循环补液状态，并且，浸液池内能够容置多个工件，同时对多个工件进行镀膜，多批次工件能够连续生产，提高加工效率，并且成品率高，镀膜过程操作简单、生产效率高；

尤其适用于粘稠挥发性液体的浸膜过程，具体适用于电子行业线路板底漆涂覆、测温元件抗热辐射基底的“增亮”工艺、家具装饰面板的镜面处理工艺、漆饰“流延”工艺的改进等工艺过程。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的液体浸膜装置作进一步说明。

图1为本实用新型液体浸膜装置的一优选实施例的整体结构示意图；

图2为本实用新型液体浸膜装置的图1所示实施例的浸膜装置的整体结构示意图；

图3为本实用新型液体浸膜装置的图2所述实施例的侧视结构示意图；

图4为本实用新型液体浸膜装置的图2所示实施例的浸液隔板的结构示意图；

图5为本实用新型液体浸膜装置的图2所述实施例的浸液组件的结构示意图；

图6为本实用新型液体浸膜装置的图5所示实施例的浸液组件的正视结构示意图。

附图标注：1、补液装置；2、补液管道；3、通气管；4、储液装置；5、供液管；6、供液泵；7、第一供液管道；8、浸液池；9、第二供液管道；10、回液腔道；11、排液管道；12、通断阀；13、卸料阀；14、第一浸液组件；15、第二浸液组件；16、第一浸液隔板；17、第二浸液隔板；18、导通槽；19、储液槽；20、进液口；21、排液口；22、定位面；23、储液曲面；24、工件进出口；25、导流面；26、供液通道；27、储液凹槽；28、分流隔板；29、均液通道。

具体实施方式

结合图1-6所示，本实用新型的液体浸膜装置的一种优选实施例，其包括储液装置4和浸液装置，工件在浸液装置内进行浸液式覆膜加工，浸液装置内的液体保持循环流动状态，防止液体结晶，保证工件的镀膜质量。储液装置4与浸液装置连通，储液装置4向浸液装置循环供给液体，保证液体的循环流动；浸液装置内设有工件进出口24、供液管道、浸液池8和回液腔道10，供液管道、浸液池8和回液腔道10连通，供液管道、回液腔道10均与储液装置4连通，浸液池8内放置工件，浸液池8与工件进出口24连通，储液装置4内的液体流入供液管道内，工件在浸液池8进行镀膜，液体沿回液腔道10回流到储液装置4内。

工件从工件进出口24放置到浸液池8内，储液装置4内的液体沿供液管道流入浸液池8内，工件在浸液池8内进行浸镀，浸液池8内的的液体向回液腔道10流动，液体沿回液腔道10回流到储液装置4内，形成循环流动状态，防止镀液固化形成晶体而影响工件的镀膜质量，工件在浸液池8内浸镀完成后，从工件进出口24取出工件，完成工件的镀膜过程。采用本实施例的装置进行镀膜，工件进出口24的液体受风化作用会形成固相晶体，固相晶体在随液相材料流动的过程中能够复溶形成液相材料，可直接重复利用，形成气液相界面防结膜循环补液状态，并且，浸液池8内能够容置多个工件，同时对多个工件进行镀膜，多批次工件能够连续生产，提高加工效率，并且成品率高，镀膜过程操作简单、生产效率高。

本实施例的液体浸膜装置，尤其适用于粘稠挥发性液体的浸膜过程，具体适用于电子行业线路板底漆涂覆，如微小电子器件、微小线路板、静电镀膜等，测温元件抗热辐射基底的“增亮”工艺，家具装饰面板的镜面处理工艺，漆饰“流延”工艺的改进等工艺过程。

进一步的，浸液装置包括浸液组件，浸液组件拼接形成腔体结构，腔体结构内设置有分隔组件，分隔组件与浸液组件之间形成供液管道，分隔组件内形成浸液池8，供液管道与浸液池8顶部连通，分隔组件与浸液组件底部连通形成回液腔道10。浸液装置内设有浸液组件和分隔组件，浸液组件与分隔组件配合形成供液管道、浸液池8和回液腔道10，浸液组件与分隔组件两部分结构即形成循环流动系统，结构简单、方便安装、成本低，便于维护。

进一步的，浸液组件内设有供液通道26和均液通道29，均液通道29与供液通道26连通，且均液通道29设置在供液通道26顶部，供液通道26的底部开设有进液口20，进液口20与储液装置4连通，供液通道26上设有若干个分流隔板28形成若干个纵向通道。

储液装置4内的液体沿浸液组件底部的进液口20进入到浸液组件内，液体沿供液通道26流动，供液通道26被分流隔板28分隔形成若干个纵向通道，液体沿若干个纵向通道流动到均液通道29中，供液通道26的整体面积缩小，加速供液通道26中的液体流动速率，防止液体粘附在浸液组件的壁面上，供液通道26中的液体在均液通道29中汇聚并溢流到浸液池8中。进液口20设置在供液通道26的底部，液体从底部进入浸液装置内，防止液体中产生气泡，保证镀膜的平整性。

分流隔板28可以设为竖直隔板，还可以设为纵向倾斜隔板，即纵向通道设为竖直通道或倾斜通道，分流隔板28的侧边还可以设为平面或曲面，纵向通道的结构形式根据实际需要设计，结构形式多样，适用范围广。

具体的，进液口20与储液装置4之间连接有供液管5，供液管5上连接有供液泵6，供液泵6提供液体循环流动的动力。供液管5连接在储液装置4的底部，以便储液装置4内的液体受重力作用而流出，减小供液泵6的动力消耗。

进一步的，浸液组件内设有储液凹槽27，储液凹槽27上开设有排液口21，排液口21与储液装置4连通，储液凹槽27与分隔组件组合形成回液腔道10。储液凹槽27形成回液腔道10的一部分，储液凹槽27为在浸液组件的地面开设的长圆形槽，储液凹槽27的底面沿两端向中间倾斜下凹，排液口21设置在储液凹槽27的中间部位，便于液体流动，防止液体在浸液组件中积存。

具体的，浸液组件与分隔组件可以为一体成型的结构，结构简单、一体成型的结构强度高，防止泄漏；浸液组件与分隔组件还可以为分体拼装式结构，分体拼装式结构方便拆卸、便于检修和维护、便于拆装运输。

进一步的，浸液组件包括第一浸液组件14和第二浸液组件15，浸液组件为拼装式结构，方便拆卸，第一浸液组件14与第二浸液组件15拼接形成腔体结构，第一浸液组件14与第二浸液组件15结构相同。

结合图5和图6所示，第一浸液组件14结构示意图，第一浸液组件14包括底板、侧封板、导流侧板，储液凹槽27开设在底板上，供液通道26、均液通道29和分流隔板28设置在导流侧板上，侧封板对宽度方向进行封闭，第二浸液组件15包括侧封板和导流侧板，第二浸液组件15上无需设置底板，第二浸液组件15的侧封板和导流侧板抵接在第一浸液组件14的底板上。第一浸液组件14与第二浸液组件15相互对接形成浸液装置的外壳，并且液体能够在其内流动，拼装简便。

第一浸液组件14和/或第二浸液组件15还可以由若干块分体式板材拼接形成图5所示的结构，提升可拆卸性能，便于运输。

进一步的，第一浸液组件14与第二浸液组件15拼接后顶部形成开口结构，开口结构为工件进出口24。工件进出口24设置在浸液装置的顶部，以便随时放置和拿取工件，便于工件的循环连续加工。第一浸液组件14和第二浸液组件15上均设有顶板，两块顶板并不完全对接，两块顶板之间的开口结构形成工件进出口24。具体的，顶板的顶面设为倾斜面，倾斜面起到导向作用，便于工件进出。

进一步的，分隔组件包括第一浸液隔板16和第二浸液隔板17，第一浸液隔板16和第二浸液隔板17拼接形成浸液池8，第一浸液隔板16、第二浸液隔板17均与浸液组件之间形成供液管道，第一浸液隔板16和/或第二浸液隔板17上开设有导通槽18，导通槽18连通浸液池8与回液腔道10。

第一浸液隔板16和第二浸液隔板17的两端均抵接在浸液组件的侧封板上，形成浸液池8，第一浸液隔板16和第二浸液隔板17将浸液组件的内部空间分隔出浸液池8，节省空间；并且第一浸液隔板16与浸液组件之间形成第一供液管道，第二浸液隔板17与浸液组件之间形成第二供液管道，两个供液管道同时进行供液，提升供液效率。

导通槽18用来连接浸液池8与回液腔道10，导通槽18可以在第一浸液隔板16和/或第二浸液隔板17上开设，既能保证结构强度，又能保证液体的流动性。

第一浸液隔板16和第二浸液隔板17的结构相同，第一浸液隔板16与第二浸液隔板17对称安装，第一浸液隔板16与第二浸液隔板17可以一体成型，还可以为分体拼接式结构。优选的，第一浸液隔板16与第二浸液隔板17设为分体式结构，结合图4所示，第一浸液隔板16与第二浸液隔板17上均设有定位面22，第一浸液隔板16与第二浸液隔板17的定位面22相互抵接。

进一步的，第一浸液隔板16和/或第二浸液隔板17上设有导流面25，导流面25设为向下凹陷的弧形曲面，导流面25设置在导通槽18的上方，以便浸液池8中的液体向导通槽18流动。弧形曲面结构的导流面25，减小液体流动对设备的冲击，保证设备的稳定性。

进一步的，第一浸液隔板16和/或第二浸液隔板17上设有储液曲面23，储液曲面23与浸液组件配合形成回液腔道10。储液曲面23设为向第一浸液隔板16或第二浸液隔板17内凹陷的曲面，储液曲面23可以设扇形曲面，第一浸液隔板16、第二浸液隔板17中任何一个设有储液曲面23即能达到储液功能。优选的，第一浸液隔板16与第二浸液隔板17上均设有储液曲面23，储液曲面23组合形成半圆柱形腔体，并且储液曲面23形成的腔体与储液凹槽27连通，储液曲面23形成的腔体的径向尺寸大于储液凹槽27的径向尺寸，储液曲面23围成的空间覆盖储液凹槽27，储液曲面23与储液凹槽27组合形成储液槽19。

具体的，第一浸液隔板16和第二浸液隔板17的结构如图4所示，第一浸液隔板16的长度方向间隔设置有若干个导通槽18，导通槽18的上部设有导流面25，导通槽18的下部设有储液曲面23。

排液口21与储液装置4之间连接有排液管道11，排液管道11上设有通断阀12，通断阀12用来调控储液装置4与浸液装置之间的排液管道11的通断，防止储液装置4内的液体沿排液管道11回流到浸液装置内。储液装置4上还连接有卸料阀13，停机检修或故障时，便于储液装置4内的液体排放。

进一步的，储液装置4上连接有补液装置1，补液装置1与储液装置4之间设有补液管道2，补液管道2，补液装置1内的液体通过补液管道2流入储液装置4内，保证储液装置4内的液体充足，以保证浸膜工艺的稳定进行。储液装置4为密封装置，储液装置4内液体流出的同时在压力作用下，补液装置1内的液体自动流入储液装置4，进行自动补给，补液装置1上连接有通气管3，以便补液装置1内压力平衡，保证设备的安全稳定。

本实施例的液体浸膜装置，优点在于：

1.利用液体流动及便于补充液添加，完成浸膜的连续化生产；

2.合理设计液体循环回路，使不可避免的结晶随流动液体，通过专用通道带回储液槽19，重新溶化，不影响浸液池8内的工作环境；

3.利用后续加热工序，使工件上的液体膜可挥发物质升华，完成干燥、固化工艺流程；

4.将手工操作转化为流程可控的自动工序，提高生产效率，解决了高挥发粘稠液体结晶对工件成膜质量影响的问题。

以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。