设有静电消散装置的点胶机的制作方法

文档序号:24918113发布日期:2021-05-04 10:25阅读:208来源:国知局
设有静电消散装置的点胶机的制作方法

本实用新型属于点胶技术领域,更具体地,涉及一种设有静电消散装置的点胶机。



背景技术:

随着科学技术的飞速发展,市场对半导体需求的不断增加,晶圆是制造半导体芯片的基本材料,晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术,其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中,其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率,从而延长产品的使用寿命。因此,点胶技术作为电子封装技术的关键和核心,其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。

如果在点胶过程中存在杂尘和静电将影响晶圆的质量,然而目前的点胶机的除静电装置无法移动,只能在固定位置发出离子风,无法保证除去点胶机工位内部每个角落的静电,极易产生静电去除不完全的情况。不仅容易导致点胶效果不好,影响晶圆的质量,而且静电会对电子设备造成干扰,影响正常使用。电荷通过不断积累会移动到电路、缆线等重要位置,若此时点胶会导致机器损坏,甚至会引起火灾造成人身伤亡。



技术实现要素:

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此,本实用新型提出一种设有静电消散装置的点胶机,该设有静电消散装置的点胶机具有静电去除区域覆盖广的优点。

根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机,包括:点胶机机体,所述点胶机机体上设有加工工位;点胶机机头组件,所述点胶机机头组件可活动地设于所述点胶机机体上且位于所述加工工位的上方以对放置在所述加工工位上的待加工件进行点胶;静电消散装置,所述静电消散装置可活动地设于所述点胶机机体上且位于所述加工工位的上方以对所述加工工位及待加工件进行静电去除处理。

根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机,利用静电消散装置将空气电离产生大量正负电荷,并将正负电荷吹出,形成一股正负电荷的气流,将物体表面所带的电荷中和掉。当物体表面所带为负电荷时,它会吸引气流中的正电荷,当物体表面所带为正电荷时,它会吸引电流中的负电荷,从而使物体表面上的静电被中和,进而达到消除静电的目的。

根据本实用新型一个实施例,所述点胶机机体设有位于所述加工工位两侧的导轨,所述点胶机机头组件和所述静电消散装置分别沿所述导轨的长度方向可活动地设于所述导轨。

根据本实用新型一个实施例,所述点胶机机头组件包括:横梁,所述横梁的两端分别可活动地与两个所述轨道相连,所述横梁上设有沿其长度方向延伸的轨道;纵梁,所述纵梁沿所述轨道的长度方向可活动地设于所述横梁;点胶机机头,所述点胶机机头设于所述纵梁。

根据本实用新型一个实施例,所述静电消散装置形成为长条形,所述静电消散装置的两端分别与所述导轨可活动地相连。

根据本实用新型一个实施例,所述静电消散装置与所述横梁平行设置。

根据本实用新型一个实施例,所述静电消散装置的静电去除区域覆盖两个所述导轨之间的位置。

根据本实用新型一个实施例,所述静电消散装置包括:本体,所述本体形成为长条形,所述本体的两端分别与所述导轨可活动地相连,所述本体的下方设有出风口;离子发生器,所述离子发生器设于所述本体内并向所述出风口发出离子风。

根据本实用新型一个实施例,所述本体在所述导轨上可摆动以调节所述出风口的出风方向。

根据本实用新型一个实施例,所述出风口处设有多个出风叶片,所述出风叶片可活动以调节所述出风口的出风方向。

根据本实用新型一个实施例,所述静电消散装置与所述点胶机机头组件相连,且跟随所述点胶机机头组件移动。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:

图1是根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机的立体结构示意图;

图2是根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机的局部结构示意图;

图3是根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机的静电消散装置的结构示意图。

附图标记:

设有静电消散装置的点胶机1000;

点胶机机体620;导轨621;

点胶机机头组件630;横梁631;纵梁632;

静电消散装置700;

本体710;离子发生器711;出风口712;出风叶片713。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机1000。

如图1至图3所示,根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机1000,包括:点胶机机体620、点胶机机头组件630和静电消散装置700。

具体而言,点胶机机体620上设有加工工位,点胶机机头组件630可活动地设于点胶机机体620上且位于加工工位的上方以对放置在加工工位上的待加工件进行点胶,静电消散装置700可活动地设于点胶机机体620上且位于加工工位的上方以对加工工位及待加工件进行静电去除处理。

换言之,根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机1000由点胶机机体620、点胶机机头组件630和静电消散装置700构成。点胶机机体620内设有加工工位用于放置晶圆,点胶机机头组件630设于加工工位上方用于对晶圆进行点胶,点胶过程中,点胶机机头组件630可移动到晶圆需要点胶的指定位置上方。点胶机机体620内还设有静电消散装置700,在点胶机机头组件630对晶圆点胶的过程中,静电消散装置700可以根据需要进行活动,对加工工位以及周围的加工环境进行静电去除处理。

由此,根据本实用新型实施例的设有静电消散装置的点胶机1000通过将点胶机机体620、点胶机机头组件630和静电消散装置700相结合,利用静电消散装置700将空气电离产生大量正负电荷,并将正负电荷吹出,形成一股正负电荷的气流,将物体表面所带的电荷中和掉。当物体表面所带为负电荷时,它会吸引气流中的正电荷,当物体表面所带为正电荷时,它会吸引电流中的负电荷,从而使物体表面上的静电被中和,从而达到消除静电的目的。

根据本实用新型的一个实施例,点胶机机体620设有位于加工工位两侧的导轨621,点胶机机头组件630和静电消散装置700分别沿导轨621的长度方向可活动地设于导轨621。通过在加工工位两侧设置导轨621,点胶机机头组件630可活动地设于导轨621上,从而可以保证加工工位的每个角落都得到充分的静电消除。

在本实用新型的一些具体实施方式中,点胶机机头组件630包括:横梁631、纵梁632和点胶机机头。横梁631的两端分别可活动地与两个轨道相连,横梁631上设有沿其长度方向延伸的轨道,纵梁632沿轨道的长度方向可活动地设于横梁631,点胶机机头设于纵梁632。点胶过程中,点胶机机头可以沿纵梁632方向或横梁631方向的轨道上运动,从而可以到达指定点胶位置。

根据本实用新型的一个实施例,静电消散装置700形成为长条形,静电消散装置700的两端分别与导轨621可活动地相连。通过将静电消散装置700设为长条形,从而可以保证静电消散装置700静电去除区域覆盖范围更广,而静电消散装置700的两端分别与导轨621可活动地相连,可以保证静电消散装置700跟随点胶机机头组件630移动,时刻保证点胶机机头周围的环境不存在静电。

可选地,静电消散装置700与横梁631平行设置。静电消散装置700平行于横梁631安装在点胶机机体620内,使得静电消散装置700与点胶机机头组件630和加工工位正对,保证了最大限度区域的覆盖,尽可能全方位消除静电,提高点胶质量。

根据本实用新型的一个实施例,静电消散装置700的静电区域覆盖两个导轨621之间的位置。由于在点胶过程中,点胶机机头组件630不断地在导轨621上滑动,从而摩擦导轨621过程中会产生大量的静电,所以需要静电消散装置700的静电区域覆盖两个导轨621之间的位置,将导轨621周围的静电去除。

可选地,静电消散装置700包括:本体710和离子发生器711。本体710形成为长条形,本体710的两端分别与导轨621可活动地相连,本体710的下方设有出风口712,离子发生器711设于本体710内并向出风口712发出离子风。本体710设为长条形,本体710下方的出风口712用于输送离子发生器711发出的离子风,离子风可以中和静电,从而可以起到消除静电的作用。

优选地,本体710在导轨621上可摆动以调节出风口712的出风方向。通过摆动本体710可以改变出风口712出风的方向,从而静电消散装置700去除区域可以广泛。

进一步地,出风口712处设有多个出风叶片713,出风叶片713可活动以调节出风口712的出风方向。出风口712通过设置多个出风叶片713可以保证每个角度都有离子风吹出,从而可以去除点胶机机体620内各个角落的静电,保证点胶的质量。

根据本实用新型的一个实施例,静电消散装置700与点胶机机头组件630相连,且跟随所述点胶机机头组件630移动。静电消散装置700可以根据具体情况适当调整位置,以保证加工工位或点胶机机头组件630的周围静电去除完全。

总而言之,根据本实用新型实施例的设有静电消散装置700的点胶机1000,通过将点胶机机体620、点胶机机头组件630和静电消散装置700相结合,利用静电消散装置700将空气电离产生大量正负电荷,并将正负电荷吹出,形成一股正负电荷的气流,可以将物体表面所带的电荷中和掉。并且静电消散装置700可以跟随点胶机机头组件630移动,通过摆动静电消散装置700的本体710还可以改变出风口712出风的方向,从而使得静电消散装置700去除静电的区域覆盖范围更广。

在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

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