尾气处理装置及尾气处理方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及尾气处理技术领域，具体地，涉及一种尾气处理装置及尾气处理方法。
【背景技术】
[0002]在显示面板的制备过程中，需要进行化学气相沉积、干法刻蚀等工艺，这时，会产生尾气，这些尾气需要处理过后才能排放进大气。具体地，对于其中的水溶性气体，一般将其溶入水中来滤除。
[0003]现有针对水溶性气体的尾气处理装置一般包括进气口、气体流通通道、喷水口、废水池和出气口。其中，进气口与工艺腔体连接，所述工艺腔体中产生的尾气通过进气口进入到尾气处理装置的气体流通通道中；喷水口位于气体流通通道的侧壁上，水栗通过喷水口向气体流通通道内喷水，使尾气中的水溶性气体溶于水中；因溶入水溶性气体而产生的废水流入到废水池中；而滤除了水溶性气体的尾气从出气口排出，或进行其他处理。
[0004]上述尾气处理装置在对水溶性气体进行处理时，无论工艺腔体内产生的尾气的多少，水栗保持常开状态，其始终通过喷水口以固定的流量向气体流通通道内喷水;这样在工艺腔体内产生的尾气的量较少时，从喷水口喷出的水就会有较大的浪费。此外，在对水溶性气体进行处理时，无论废水池中的水的水质如何，废水池中的废水全部向外排出；这样在废水池中的水的水质较好，就无法重复利用，从而也会造成水的浪费。
【发明内容】
[0005]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种尾气处理装置及尾气处理方法，其可以实现对废水的回收再利用，降低对水资源的消耗，提高水资源的利用率。
[0006]为实现本发明的目的而提供一种尾气处理装置，其包括进气口、气体流通通道、第一喷水口、废水池、出气口、水质检测单元、排水口和回水口；所述进气口为尾气进入尾气处理装置的入口 ；所述气体流通通道与进气口连通;所述第一喷水口用于向气体流通通道内的尾气喷水;所述废水池用于容纳对尾气进行处理后产生的废水;所述出气口为处理后的尾气的排出口，其与气体流通通道连通，且位于气体流通通道的末端;所述水质检测单元用于检测废水池内的废水的水质是否满足回收要求;所述排水口用于在废水池中水的水质不满足回收要求时将废水池内的废水排出；所述回水口通过回水管道与第一喷水口连接，其用于在废水池中水的水质满足回收要求时，将废水池中的水经回水管道输入到第一喷水口中。
[0007]其中，所述尾气处理装置还包括水位检测单元，所述水位检测单元用于检测废水池中水的水位。
[0008]其中，所述回水口设置有过滤装置。
[0009]其中，所述过滤装置为滤网。
[0010]其中，所述第一喷水口喷出的水为水雾状态。
[0011]其中，所述尾气处理装置还包括第二喷水口，所述第二喷水口用于朝向进气口和气体流通通道的内壁喷水，对其进行冲刷。
[0012]其中，所述进气口和出气口设置有气压检测装置。
[0013]本发明还提供一种尾气处理方法，其包括:
[0014]SI，向尾气喷水，使尾气中可溶于水的物质溶于水中；
[0015]S2，检测所产生的废水的水质是否满足回收要求；
[0016]S3，若废水水质满足回收要求，则将废水输入至喷水端;若废水水质不满足回收要求，则将废水排出。
[0017]其中，所述尾气处理方法还包括在步骤SI之后，S2之前进行的:
[0018]检测废水水位的步骤，且在废水水位达到预定水位时，进行步骤S2。
[0019]其中，所述尾气处理方法还包括检测进气口压力和出气口压力的步骤；
[0020]在进气口压力小于出气口压力时，向气体流通通道的内壁喷水，以将内壁上的附着物冲刷掉。
[0021]本发明具有以下有益效果:
[0022]本发明提供的尾气处理装置，在废水池内设置水质检测单元，用于检测废水池中废水的水质，当废水的水质被检测到符合回收再利用的要求时，将废水池中的废水输入到第一喷水口，从而实现对废水的再次利用，可以减少对水的浪费，有助于降低成本。
[0023]本发明提供的尾气处理方法，其增加检测废水水质的步骤，当废水的水质被检测到符合回收再利用的要求时，将废水输入到喷水端，从而实现对废水的再次利用，可以减少对水的浪费，有助于降低成本。
【附图说明】
[0024]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0025]图1为本发明提供的尾气处理装置在其实施方式中的示意图；
[0026]图2为真空腔体进行工艺处理的示意图；
[0027]图3为尾气处理装置在产线设备中的位置的示意图；
[0028]图4为本发明实施方式提供的尾气处理方法的流程图。
[0029]其中，附图标记:
[0030]1:进气口；2:气体流通通道;3:第一喷水口 ；4:废水池；5:出气口；6:水质检测单元;7:排水口； 8:回水口； 9:回水管道;10:水位检测单元;11:滤网；12:第二喷水口。
【具体实施方式】
[0031]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0032]本发明提供一种尾气处理装置的实施方式。图1为本发明提供的尾气处理装置在其实施方式中的示意图；图2为真空腔体进行工艺处理的示意图；图3为尾气处理装置在产线设备中的位置的示意图。如图1?3所示，在显示面板的制备过程中，需要在真空腔室内进行化学气相沉积、干法刻蚀等工艺;在这些工艺过程中，需要向真空腔体中通入工艺气体，如图2中的Gasl?Gas7;在通气管道上设置有质量流量控制器(MFC)，用以控制通入真空腔体的工艺气体的流量。经过工艺处理后，这些气体会变成废气和其他产物，其中的废气被排气系统抽出。如图3所示，废气在被排气系统抽出后，进入到尾气处理装置，经过处理后，通过向外排气管道被排放到外界中。
[0033]具体地，如图1所示，所述尾气处理装置包括进气口1、气体流通通道2、第一喷水口
3、废水池4、出气口 5、水质检测单元6、排水口 7和回水口 8。
[0034]所述进气口I为尾气进入尾气处理装置的入口；其与产生废气的工艺腔体连接。所述气体流通通道2与进气口 I连通。所述第一喷水口 3位于气体流通通道2的侧壁上，供水端经所述第一喷水口 3向气体流通通道2内的尾气喷水。所述废水池4用于容纳对尾气进行处理后产生的废水;所述废水池4位于气体流通通道2的底部。所述出气口 5为处理后的尾气的排出口，其与气体流通通道2连通，且位于气体流通通道2的末端。所述水质检测单元6设置于废水池内，其用于检测废水池4内的废水的水质是否满足回收要求。所述排水口7位于废水池4底部，其用于在废水池4中水的水质不满足回收要求时将废水池4内的废水排出;所述回水口 8位于废水池中，其通过回水管道9与第一喷水口 3连接，用于在废水池4中水的水质满足回收要求时，将废水池4中的水经回水管道9输入到第一喷水口 3中。
[0035]在本实施方式中，工艺腔体内产生的废气经进气口I进入到气体流通通道2内；第一喷水口 3向气体流通通道2内喷水，具体可以以水雾的形式喷射，以更好地吸收废气中的水溶性气体;这样在气体流通通道2内，废气的水溶性气体被溶于水中。之后，废气中的水溶性气体被滤除，其与气体经出气口5向外排出，或者进入到其他处理设备中进行再处理;而被溶入水溶性气体而产生的废水则流入到废水池4中。具体地，可以在气体流通通道2中设置干燥区或冷凝区，使气体流通通道2中的水分变为液态，使其最终流入到废水池4中(特别是在第一喷水口 3以水雾的形式喷水的情况下)。
[0036]所述水质检测单元6对流入到废水池4中的废水的水质进行检测，在检测到废水的水质较好，满足回收再利用的要求时，(采用水栗等设备)将废水池4中的废水通过回水管道9输入到第一喷水口3中，进行再利用。而在检测到废水的水质较差，不满足回收再利用的要求时，将废水池4中的废水从排水口 7排出。
[0037]优选地，在废水池4中的废水经回水管道9输入到第一喷水口3时，减少供水端向第一喷水口 3的输水量，或者，供水端停止向第一喷水口 3输水，此时，供水端输出的水量降低，为节水工作模式;尾气处理装置在节水模式下运行，直至废水池4中的水质变差，不满足回收再利用的要求时，废水池4中的废水经排水口 7向外排出，供水端增加向第一喷水口 3的输水量，或者，回复向第一喷水口 3输水，此时，供水端输出的水量增加，为正常工作模式，尾气处理装置在此模式下运行，直至废水池4中的水质变好后，再次进入节水工作模式。
[0038]本实施方式中，在废水池4内设置水质检测单元6，用于检测废水池4中废水的水质，当废水的水质被检测到符合回收再利用的要求时，将废水池4中的废水输入到第一喷水口 3，从而实现对废水的再次利用，可以减少对水的浪费，有助于降低成本。
[0039]优选地，所述尾气处理装置还包括水位检测单元10，所述水位检测单元10用于检测废水池4中水的水位。可以理解的是，由于废水是持续地流入到废水池4中的，