高纯气体用电感式纯化器系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及气体纯化设备领域，具体涉及一种高纯气体用电感式纯化器系统。
【背景技术】
[0002]随着经济和科技的进步，许多技术对气体纯度的要求越来越高，例如半导体制造行业，反应性气体的纯度对半导体器件的品质具有重要的影响。通常高纯气体是通过以下方法制得的:使用具有纯化器的纯化系统，对气体进行处理，从而去除杂质。目前，大部分的研宄都集中在纯化器中的介质上，其技术已经相对成熟，而纯化器系统的研宄较少，现有的纯化器系统结构相对较复杂，加热过程的温度控制自动化程度低，从而影响纯化的效果及设备的稳定运行。
【实用新型内容】
[0003]根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是:提供一种高纯气体用电感式纯化器系统，结构简单，实现脱氧、干燥，纯化效果好，运行稳定可温控。
[0004]本实用新型所述的高纯气体用电感式纯化器系统，包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，气体管道依次连接第一吸附罐、冷却器、分离器和第二吸附罐，两个吸附罐的外面均套有线圈，线圈连接控制柜，吸附罐和线圈之间设有保温层，两个吸附罐的保温层上均设有测温元件；第一吸附罐和第二吸附罐内为填料区，第一吸附罐的填料区分为上、下两层，下层填装硅胶，上层填装脱氧剂，第二吸附罐内的填料区填装分子筛。
[0005]第一吸附罐分为两层，下层用于初步脱水，上层用于脱氧，达到在一个容器中实现初步脱水和脱氧，硅胶和脱氧剂可根据实际情况按比例分配，减少了吸附罐的数量，简化结构，第二吸附罐进行深度脱水；两个吸附罐通过线圈实现电感加热，电感加热速度快、高效节能、自动控制性好、安全可靠，保温层上的测温元件，可在工作加热的过程中进行实时监控，通过控制柜进行温度调整，使其达到最优反应温度。
[0006]所述的两个吸附罐出气口设有气体过滤装置，可以将气体中混入的少量粉末状填料过滤除去。
[0007]所述的保温层为硅酸铝保温层。
[0008]所述的分子筛为13x分子筛，该分子筛可实现气体的深度干燥与净化。
[0009]本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是:
[0010]高纯气体用电感式纯化器系统结构简单，实现脱氧、干燥，纯化效果好，运行稳定，自动控制程度高。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型结构示意图；
[0012]图2是吸附罐、控制柜结构示意图。
[0013]图中:1、保温层；2、硅胶；3、脱氧剂；4、第一吸附罐；5、冷却器；6、分离器；7、第二吸附罐；8、分子筛；9、任一吸附罐；10、线圈；11、控制柜。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型的实施例做进一步描述:
[0015]如图1和图2所示，高纯气体用电感式纯化器系统包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，气体管道依次连接第一吸附罐4、冷却器5、分离器6和第二吸附罐7，两个吸附罐的外面均套有线圈10，线圈10连接控制柜11，吸附罐和线圈10之间设有保温层1，两个吸附罐的保温层I上均设有测温元件；第一吸附罐4和第二吸附罐7内为填料区，第一吸附罐4的填料区分为上、下两层，下层填装硅胶2，上层填装脱氧剂3，第二吸附罐7内的填料区填装分子筛8。
[0016]两个吸附罐出气口均设有气体过滤装置。
[0017]保温层I优选为硅酸铝保温层。
[0018]分子筛8优选为13x分子筛。
[0019]图2中任一吸附罐9表示为第一吸附罐4和第二吸附罐7中的任意一个，吸附罐上缠绕的线圈10可一整段缠绕，也可分段缠绕，如第二吸附罐7中只有一种填充材料就可一整段缠绕，而第一吸附罐4中填充有两种材料就可根据材料的位置分两段缠绕，每一段线圈都单独连接到控制柜11上，每一段线圈对应的保温层上也单独设有测温元件，这样既可根据不同填充材料的性能单独控制工作过程中的温度，使其达到最优效果。
[0020]在进行纯化时，待纯化的气体从第一吸附罐4下方进口进入，先通过下层的硅胶2进行初步脱水，再经过上层脱氧剂3脱氧，然后经过冷却器5、分离器6分离水分，最后进入第二吸附罐7通过13x分子筛进行深度干燥和净化；在纯化需要加热活化时，通过线圈10进行电感加热，并根据测温元件进行实时监控，利用控制柜11进行温度调整，使其达到最优反应温度。
【主权项】
1.一种高纯气体用电感式纯化器系统，包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，其特征在于:气体管道依次连接第一吸附罐(4)、冷却器(5)、分离器(6)和第二吸附罐(7)，两个吸附罐的外面均套有线圈(10)，线圈(10)连接控制柜(11)，吸附罐和线圈(10)之间设有保温层(I)，两个吸附罐的保温层(I)上均设有测温元件；第一吸附罐(4)和第二吸附罐(7)内为填料区，第一吸附罐(4)的填料区分为上、下两层，下层填装硅胶(2)，上层填装脱氧剂(3)，第二吸附罐(7)内的填料区填装分子筛(8)。
2.根据权利要求1所述的高纯气体用电感式纯化器系统，其特征在于:所述的两个吸附罐出气口均设有气体过滤装置。
3.根据权利要求1或2所述的高纯气体用电感式纯化器系统，其特征在于:所述的保温层(I)为硅酸铝保温层。
4.根据权利要求1或2所述的高纯气体用电感式纯化器系统，其特征在于:所述的分子筛⑶为13x分子筛。
【专利摘要】本实用新型涉及气体纯化设备领域，具体涉及一种高纯气体用电感式纯化器系统，包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，气体管道依次连接第一吸附罐、冷却器、分离器和第二吸附罐，两个吸附罐的外面均套有线圈，吸附罐和线圈之间设有保温层，两个吸附罐的保温层上均设有测温元件，第一吸附罐和第二吸附罐内为填料区，第一吸附罐的填料区分为上、下两层，下层填装硅胶，上层填装脱氧剂，第二吸附罐内的填料区填装分子筛，该系统结构简单，实现脱氧、干燥，纯化效果好，运行稳定，自动控制程度高。
【IPC分类】B01D53-00, B01D53-04, B01D46-00, B01D53-26
【公开号】CN204582889
【申请号】CN201520179310
【发明人】杨高峰
【申请人】淄博安泽特种气体有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年3月27日