激振装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激振装置。
【背景技术】
[0002]已知有为了进行振动试验而对对象物施加规定的振动的激振装置。专利文献1中记载了通过液压轴承而能够使振动台等的可动部可移动地被支承的激振装置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特公昭49-7171号公报【实用新型内容】
[0006]实用新型要解决的技术问题
[0007]液压轴承当例如以超过1kHz那样的高的频率进行动作时，存在摩擦热蓄积而使润滑油起火的情况。因此，不能够实现可在高频下激振的激振装置。
[0008]本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于实现高频下的激振。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]根据本实用新型一实施方式，提供一种激振装置，其包括:固定部；相对于固定部可移动的可动部；支承可动部，使可动部相对于固定部可移动的支承部；和在规定方向上驱动可动部的驱动部，支承部包括在规定方向上通过滚动接触来引导可动部的移动的直线导向器。
[0011]在上述激振装置中，可以为以下结构，直线导向器包括:在规定方向上延伸的轨道；和在该轨道上移动的滑架，滑架包括:滑架主体；和夹在轨道与滑架主体之间，伴随滑架的移动而在轨道的轨道面上滚动的多个滚动体，在滑架主体形成有:滚动面，其隔着收纳滚动体的间隙与轨道的轨道面相对，该滚动体在滚动面上滚动；和连通路径，其在规定方向的两端部与间隙连通而形成滚动体循环路径。
[0012]在上述激振装置中，可以为以下结构，滑架包括:比滚动体柔软的多个间隔件，该间隔件设置在滚动体间，与多个滚动体一同在滚动体循环路径循环；和连结多个间隔件的柔软的带状物，间隔件和带状物由树脂形成为一体。
[0013]在上述激振装置中，可以为以下结构，滚动体为圆柱状或球状。
[0014]在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括:在X轴方向上驱动可动部的X轴驱动部；和在与X轴方向正交的Y轴方向上驱动可动部的Y轴驱动部，直线导向器包括:在X轴方向上引导可动部的移动的X轴直线导向器；和在Y轴方向上引导可动部的移动的Y轴直线导向器。
[0015]在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括:在Z轴方向上驱动可动部的Z轴驱动部；和在与ζ轴方向正交的X轴方向上驱动可动部的X轴驱动部，直线导向器包括:在Z轴方向上引导可动部的移动的Z轴直线导向器；和在X轴方向上引导可动部的移动的X轴直线导向器。
[0016]在上述激振装置中，可以为以下结构，Z轴方向为铅垂方向。
[0017]在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括:在X轴方向上驱动可动部的X轴驱动部；在与X轴方向正交的Y轴方向上驱动可动部的Y轴驱动部；和在与X轴方向和Y轴方向两个方向正交的ζ轴方向上驱动可动部的Z轴驱动部，直线导向器包括:在X轴方向上引导可动部的移动的X轴直线导向器；在Y轴方向上引导可动部的移动的Y轴直线导向器；和在Z轴方向上引导可动部的移动的Z轴直线导向器。
[0018]在上述激振装置中，可以为以下结构，Z轴方向为铅垂方向。
[0019]实用新型的效果
[0020]根据本实用新型的一实施方式，能够通过摩擦热的蓄积少的滚动接触来移动可动部，由此实现高频下的激振。
【附图说明】
[0021]图1是本实用新型实施方式的激振装置的俯视图。
[0022]图2是本实用新型实施方式的激振装置的侧视图。
[0023]图3是本实用新型实施方式的激振装置的侧视图。
[0024]图4是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的俯视图。
[0025]图5是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的侧视图。
[0026]图6是本实用新型实施方式的Z轴激振单元的侧视图。
[0027]图7是本实用新型实施方式的X轴激振单元的俯视图。
[0028]图8是本实用新型实施方式的X轴激振单元的侧视图。
[0029]图9是本实用新型实施方式的X轴激振单元的正视图。
[0030]图10是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的侧视图。
[0031]图11是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的正视图。
[0032]图12是本实用新型实施方式的垂直驱动用电动型致动器的纵截面图。
[0033]图13是放大本实用新型实施方式的水平驱动用电动型致动器的中立弹簧机构附近的纵截面图。
[0034]图14是本实用新型实施方式的交叉导向器的外观图。
[0035]图15是本实用新型实施方式的A型直线导向器的俯视图。
[0036]图16是本实用新型实施方式的A型直线导向器的侧视图。
[0037]图17是本实用新型实施方式的A型直线导向器的正视图。
[0038]图18是本实用新型实施方式的B型直线导向器的俯视图。
[0039]图19是本实用新型实施方式的B型直线导向器的侧视图。
[0040]图20是本实用新型实施方式的B型直线导向器的正视图。
[0041]图21是说明安装于中继框架的顶板的轨道配置图。
[0042]图22是滚柱轴承式直线导向器的横截面图。
[0043]图23是图22的I 一 I截面图。
[0044]图24是表示直线导向器的滚柱与保持件的配置关系图。
[0045]图25是放大振动台附近的俯视图。
[0046]图26是放大X轴激振单元的支承单元的弹簧机构附近的图。
[0047]图27是本实用新型实施方式的激振装置的驱动控制系统的方块图。
[0048]图28是球轴承式直线导向器的横截面图。
[0049]图29是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0050]图30是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。
[0051]图31是本实用新型第二实施方式的Z轴激振单元的可动部外观图。
[0052]图32是本实用新型第二实施方式的中继框架外观图。
[0053]图33是本实用新型第二实施方式的XY滑块的Y轴轨道的立体图。
[0054]图34是放大本实用新型第三实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0055]图35是放大本实用新型第四实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。
[0056]图36是放大本实用新型第四实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。
[0057]图37是本实用新型第五实施方式的激振装置的侧视图。
[0058]图38是本实用新型第五实施方式的激振装置的侧视图。
[0059]图39是本实用新型第六实施方式的激振装置的俯视图。
[0060]图40是本实用新型第六实施方式的激振装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0061]以下，参照【附图说明】本实用新型的实施方式。
[0062]另外，各图中就同一或对应的要素注记同一或对应的符号，并省略重复的说明。
[0063]〈第一实施方式〉
[0064]图1是本实用新型第一实施方式的电动型3轴激振装置1 (以下简称为“激振装置1”)的机构部10的俯视图。在以下的说明中，将图1中的左右方向设为X轴方向(将右方向设为X轴正方向)，将上下方向设为Y轴方向(将下方向设为Y轴正方向)，将垂直于纸面的方向设为ζ轴方向(将从纸面背面侧朝向表面侧的方向设为Z轴正方向)。另外，Z轴方向是铅垂方向，且X轴和Y轴方向是水平方向。此外，图2和图3分别是激振装置1的侧视图。另外，图2是朝向Y轴负方向(图1中的上方向)观看激振装置1的图，图3是朝向X轴负方向(图1中的左方向)观看激振装置1的图。
[0065]如图1所示，激振装置1的机构部10包括:在其上表面固定被测体(未图示)的振动台400 ;对振动台400分别在X轴、Y轴和Z轴方向上进行激振的3个激振单元(X轴激振单元100、Y轴激振单元200和Ζ轴激振单元300);和安装各激振单元100、200和300的装置底座500。
[0066]图4是Ζ轴激振单元300的俯视图，图5和图6是Ζ轴激振单元300的侧视图。另夕卜，图5是朝向Υ轴负方向观看Ζ轴激振单元300的图，图6是朝向X轴负方向观看Ζ轴激振单元300的图。
[0067]此外，图7、图8和图9分别是X轴激振单元100的俯视图、侧视图和正视图。另夕卜，图7、图8和图9分别是朝向Ζ轴负方向、Υ轴负方向和X轴负方向观看X轴激振单元100的图。
[0068]各激振单元100、200和300是分别包括电动型致动器(音圈马达)的直动激振单元。振动台400与各激振单元100、200和300分别经由作为滑动连结机构的两轴滑块(ΥΖ滑块160、ZX滑块260和XY滑块360)而连结。激振装置1使用各激振单元100、200和300，对振动台400和固定于振动台400上的被测体在正交3轴方向上进行激振。
[0069]图27是表示激振装置1的驱动控制系统la的概略结构的方块图。驱动控制系统la包括:控制整个装置动作的控制部20 ;计测振动台400的振动的计测部30 ;对控制部20供给电力的电源部40 ;和与外部进行输入输出的接口部50。
[0070]接口部50包括例如与用户之间进行输入输出的用户接口、用于与LAN(局域网络)等各种网络连接的网络接口、用于与外部机器连接的USB(通用串行总线)和与GPIB(通用接口总线)等各种通信接口中的一个以上。此外，用户接口例如包含各种操作开关、显示器、LCD(液晶显示器)等各种显示设备、鼠标或触控垫等各种指示装置、触控屏幕、摄影机、打印机、扫描仪、蜂鸣器、扬声器、麦克风、存储卡读写器等各种输入输出装置中的一个以上。
[0071]计测部30包括安装于振动台400的3轴振动传感器(3轴振动拾取器)32，将3轴振动传感器32输出的信号(例如速度信号或加速度信号)放大并数字转换后传送至控制部20。另外，3轴振动传感器32独立检测X轴、Y轴和Z轴方向的振动。此外，计测部30根据3轴振动传感器32的信号来计算表示振动台400的振动状态的各种参数(例如，速度、加速度、振幅、功率谱密度等)，并传送至控制部20。控制部20根据经接口部50输入的激振波形和来自计测部30的信号，控制输入至各激振单元100、200和300的驱动线圈(后述)的交流电流大小和频率，能够以希望的振幅和频率使振动台400发生振动。
[0072]接着，说明各激振单元100、200和300的构造。如后述，X轴激振单元100和Y轴激振单元200分别包括水平驱动用电动型致动器(以下简称为“水平致动器”)100A和200A。另外，Z轴激振单元300包括铅垂驱动用电动型致动器(以下简称为“铅垂致动器”)300A。
[0073]铅垂致动器300A包括用于支承被测体和振动台的重量(静载荷)的空气弹簧330(后述)。另外，水平致动器100A和200A分别包括施加使振动台返回中立位置(原点、基准位置)的复原力的中立弹簧(复位弹簧，回位弹簧，neutral spring)机构130、230(后述)。X轴激振单元100和Y轴激振单元200除了包括中立弹簧机构130、230以取代空气弹簧330之外，与Z轴激振单元300的结构相同，所以代表各激振单元，对Z轴激振单元300的结构进行详细说明。
[0074]图10是铅垂致动器300A的侧视图，图11是其正视图。此外，图12是Z轴激振单元300 (铅垂致动器300A)的纵截面图。铅垂致动器300A包括:具有筒状体312的固定部310 ;和收纳于固定部310的