使用了滚珠1344cl、1344c2、1344c3、1344c4的球轴承(球轴承)机构的直线导向器1344。
[0159]另外，比起转动体与轨道和滑架以点接触的球轴承机构，以线接触的滚柱轴承机构的接触面积较大，可以获得高的刚性，因此，明显有利于提高共振频率。因而，在高频区域进行振动测试的情况下，应如上述实施方式使用滚柱轴承式的直线导向器。但是，并不需要全部直线导向器皆使用滚柱轴承式者。例如，也可以在可动部支承机构340和滑动连结机构(YZ滑块160、ZX滑块260和XY滑块360)等的移动量比较多的部位使用滚柱轴承式的直线导向器，在固定部支承机构(支承单元150、250和350)等的移动量比较少的部位使用球轴承式的直线导向器。此外，只要能够获得所需的共振频率特性，也可以一部分或全部直线导向器使用球轴承式的直线导向器。
[0160]<第二实施方式>
[0161]接着，说明本实用新型的第二实施方式。第二实施方式与上述第一实施方式差异之处为两轴滑块(滑动连结机构)的结构和可动部的形状。以下说明第二实施方式时，主要针对与第一实施方式的差异点，而省略与第一实施方式共通的结构的说明。
[0162]图29和图30分别是放大本实用新型第二实施方式的激振装置的振动台2400附近的俯视图和侧视图。
[0163]第一实施方式中，将形成有螺孔的安装孔的A型直线导向器的滑架与形成有切孔的安装孔的B型直线导向器364B的滑架仅用螺栓直接连结，而构成交叉滑架。相对于此，在第二实施方式中，采用经由连结板(中间台)连结可动方向不同的2个直线导向器的滑架的结构。本实施方式的结构与第一实施方式比较，虽然部件(连结板与螺栓)数量增加，使得重量和组装工时增加，激振性能降低，但是不需要使用专用的直线导向器(A型和B型直线导向器)，而能够使用市场上销售的通用直线导向器。
[0164]如图29和图30所示，激振装置2000的YZ滑块2160经由连结板2166连结Y轴直线导向器2165与3个Z轴直线导向器2167。Y轴直线导向器2165包括:固定于连结臂2162的1条Y轴轨道2165a ;和与该Y轴轨道2165a可滑动地卡合的3个Y轴滑架2165b。3个Y轴滑架2165b在Y轴方向等间隔排列并固定于连结臂2162。
[0165]另外，Z轴直线导向器2167包括1条Z轴轨道2167a和1个Z轴滑架2167b。3个Z轴直线导向器2167的Z轴轨道2167a在Y轴方向等间隔排列，并固定于振动台2400的与YZ滑块2160相对的侧面。此外，各Z轴滑架2167b固定于连结板2166。Y轴滑架2165b与Z轴滑架2167b对应的一组夹着连结板2166而固定于相对的位置。
[0166]同样地如图29所示，激振装置2000的ZX滑块2260经由连结板2266而连结X轴直线导向器2265与3个Z轴直线导向器2267。X轴直线导向器2265包括:固定于连结臂2262的1条X轴轨道2265a ;和与该X轴轨道2265a可滑动地卡合的3个X轴滑架2265b。3个X轴滑架2265b在X轴方向等间隔排列并固定于连结臂2262。
[0167]另外，Z轴直线导向器2267包括1条Z轴轨道2267a和1个Z轴滑架2267b。3个Z轴直线导向器2267的Z轴轨道2267a在X轴方向等间隔排列，并固定于振动台2400的与ZX滑块2260相对的侧面。此外，各Z轴滑架2267b固定于连结板2266。X轴滑架2265b与Z轴滑架2267b对应的一组夹着连结板2266而固定于相对的位置。
[0168]此外，如图29和图30所示，XY滑块2360经由4个连结板2366而连结2个X轴直线导向器2365与2个Y轴直线导向器2367。
[0169]各X轴直线导向器2365包括:固定于振动台2400下表面的1条X轴轨道2365a ；和与该X轴轨道2365a可滑动地卡合的2个X轴滑架2365b。
[0170]此外，各Y轴直线导向器2367包括:固定于Z轴激振单元的中继框架2324的顶板2324b上表面的1条Y轴轨道2367a ;和与该Y轴轨道2367a可滑动地卡合的2个Y轴滑架2367b。
[0171]各X轴滑架2365b分别经由连结板2366而与1个Y轴滑架2367b固定。具体而言，在各X轴轨道2365a安装的2个X轴滑架2365b中的一方和与Y轴轨道2367a的一方卡合的一个Y轴滑架2367b连结，另一方X轴滑架2365b和与另一方Y轴轨道2367a卡合的一个Y轴滑架2367b连结。S卩，各X轴轨道2365a经由通过连结板2366所连结的X轴滑架2365b和Y轴滑架2367b而与各Y轴轨道2367a连结。通过该结构，振动台2400可在X轴方向和Y轴方向滑动地与中继框架2324连结。
[0172]此外，如图29所示，YZ滑块2160的Y轴负方向端的Z轴轨道2167al与XY滑块2360的Y轴负方向端的X轴轨道2365al配置于与Y轴垂直的同一平面上。同样地，YZ滑块2160的Y轴正方向端的Z轴轨道2167a3与XY滑块2360的Y轴正方向端的X轴轨道2365a2配置于与Y轴垂直的同一平面上。换言之，对振动台2400施加X轴方向的力的YZ滑块2160的3条Z轴轨道2167a中两端的2条(2167al和2167a2)，与XY滑块2360的2条X轴轨道2365a(2365al和2365a2)分别配置于大致同一平面上。
[0173]通过该结构，因为施加于XY滑块2360的各交叉滑架2364 (X轴滑架2365b、Y轴滑架2367b)的Z轴周围的扭矩，和施加于YZ滑块2160的Z轴滑架2167b的变形减低，所以可进行噪音更小的正确激振，并且X轴滑架2365b、Y轴滑架2367b和Z轴滑架2167b的故障率减低，而实现耐用性更优的激振装置。
[0174]特别是，除了将Z轴轨道2167a安装于振动台2400的侧面，Z轴滑架2167b在垂直方向上不会被激振之外，通过将Z轴轨道2167a与X轴轨道2365a配置于同一平面上，不会对Z轴滑架2167b施加变形(Z轴周围的扭矩)，通过该相乘效果，能够显著减轻振动的噪音，Z轴滑架2167b的故障率也大幅降低。
[0175]此外，ZX滑块2260也与YZ滑块2160同样地构成。S卩，ZX滑块2260在X轴负方向端的Z轴轨道2267al与XY滑块2360在X轴负方向端的Y轴轨道2367al配置于与X轴垂直的同一平面上。同样地，ZX滑块2260在X轴正方向端的Z轴轨道2267a3与XY滑块2360在X轴正方向端的Y轴轨道2367a2配置于与X轴垂直的同一平面上。
[0176]通过这些结构，可实现特别是在高频区域的激振精度的大幅提高和耐用性的提尚ο
[0177]图31是Ζ轴激振单元的可动部2320的外观图。此外，图32是中继框架2324的外观图。如图32所示，中继框架2324包括:与主框架2322大致同径的主体部2324a ;和水平安装于主体部2324a上端的顶板2324b。顶板2324b是具有比主体部2324a的外径大的宽度(X轴方向尺寸)和长度(Y轴方向尺寸)的大致矩形平板状的部件。
[0178]在中继框架2324的顶板2324b上表面形成有在Y轴方向延伸的一对台阶2324bl，顶板2324b的上表面在X轴方向上中央部比周边部高1个台阶。沿着该一对台阶2324bl配置XY滑块2360的一对Y轴轨道2367a。S卩，台阶2324bl是用于将Y轴轨道2367a安装于顶板2324b上的正确位置的定位构造。通过设置一对台阶2324bl，只须将一对Y轴轨道2367a单纯地沿着台阶2324bl安装，即可以高平行度地配置在顶板2324b上。
[0179]图33是XY滑块2360的Y轴轨道2367a的立体图。如图33所示，在Y轴轨道2367a中形成有在其轴方向并列而配置的多个贯通孔2367ah。Y轴轨道2367a通过使螺栓穿过贯通孔2367ah拧入设置在中继框架2324的顶板2324b的螺孔2324b2，而被固定于顶板 2324b。
[0180]本实施方式中，Y轴轨道2367a的贯通孔2367ah的间隔(和顶板的螺栓孔之间隔)s，为Y轴轨道2367a的宽度W的2倍以下(优选宽度W以下，更优选宽度W的50?80%，进一步优选宽度W的60?70%)而比一般间隔短。如此，通过缩短Y轴轨道2367a的固定间隔，Y轴轨道2367a不会挠曲，而强固地固定于中继框架2324的顶板2324b。
[0181]另外，上述的第二实施方式中，Y轴轨道2367a固定于中继框架2324的顶板2324b，并且X轴轨道2365a固定于振动台2400，不过相反地，也可以构成为在振动台2400固定Y轴轨道2367a，并在Z轴激振单元的可动部固定X轴轨道2365a。
[0182]此外，上述的第二实施方式中，XY滑块2360包括2个X轴直线导向器2365 (X轴轨道2365a)和2个Y轴直线导向器2367 (Y轴轨道2367a)，不过，也可为包括3个以上X轴轨道2365a和/或Y轴直线导向器2367的结构。在该情况下，各X轴轨道2365a与各Y轴轨道2367a也经由交叉滑架2364分别连结。S卩，通过nXm个交叉滑架2364而连结η条X轴轨道2365a与m条Y轴轨道2367a。
[0183]<第三实施方式>
[0184]接着，说明本实用新型的第三实施方式。第三实施方式与上述第二实施方式差异之处为YZ滑块和ZX滑块的结构。以下第三实施方式的说明主要针对与第二实施方式的差异点，对与第二实施方式共通的结构省略说明。
[0185]图34是放大本实用新型第三实施方式的激振装置的振动台3400附近的俯视图。
[0186]上述第二实施方式中，在振动台的与X轴激振单元和Y轴激振单元相对的侧面分别固定Z轴轨道2167a和2267a。与此相对，第三实施方式中，在振动台3400的与X轴激振单元和Y轴激振单元相对的侧面分别固定Y轴轨道3165a和X轴轨道3265a。通过采用该结构，即使使用厚度(Z轴方向尺寸)比较薄的振动台的情况下，如图30所示，也能够防止Z轴轨道2167从振动台2400的上下表面向上下突出，提高被测体在振动台上的设置的自由度。
[0187]另外，如第二实施方式采用在振动台2400上安装YZ滑块2160和ZX滑块2260的Z轴轨道2167a和2267a的结构的情况下，因为YZ滑块2160的Z轴滑架2167b、连结板2166和X轴滑架2165b，以及ZX滑块2260的Z轴滑架2267b、连结板2266和Y轴滑架2265b不会被上下驱动，所以能够抑制随着这些部件的上下驱动而发生振动噪音。
[0188]此外，上述第二实施方式的YZ滑块2160 (ZX滑块2260)中，多个Y轴滑架2165b (X轴滑架2265b)与多个Z轴滑架2167b (2267b)分别固定于1个大的连结板2166 (2266)，形成1个大型的交叉滑架2164(2264)。与此相对，第三实施方式的YZ滑块3160 (ZX滑块3260)中，1个Y轴滑架3165b (X轴滑架3265b)与1个Z轴滑架3167b (3267b)分别固定于1个小的连结板3166 (3266)，形成小型的交叉滑架3164(3264)，并通过多个小型的交叉滑架3164(3264)连结Z轴轨道3167a (3267a)与Y轴轨道3165a (X轴轨道3265a)。
[0189]如此，通过将交叉滑架3164、3264小型、轻量化，容易高速驱动交叉滑架3164、3264，此外，能够提高交叉滑架3164、3264的共振频率使振动噪音降低。
[0190]此外，第三实施方式中，Z轴激振单元的可动部的顶板3324b以与振动台3400大致相同(或大小比其大)的平面尺寸形成。因而，即使将安装于顶板3324b上