晶粒筛选清洗容器的制作方法

文档序号:5086765阅读:247来源:国知局
专利名称:晶粒筛选清洗容器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及的是电子元器件技术领域,尤其是一种晶粒筛选清洗容器。
背景技术
导体芯片制成后,需要从大的晶圆片上分割成上千个小型的晶粒,形状一般为正四边形或正六边形,在切割过程中往往有切割破碎形成小于规格尺寸和未切割完全的多个晶粒连在一起的情况,需要进行筛选,去除不合格的晶粒,同时在操作过程对晶粒造成脏污
需要清洗。目前,对于晶粒尺寸的筛选仍采用人工挑选,人工挑选耗费人力、工时,同时在清洗过程中因为清洗器具不合适的问题导致清洗效果不良。这是现有技术所存在的不足之处。
发明内容本实用新型的目的,就是针对现有技术所存在的不足,而提供一种新型、简单、实用的晶粒筛选清洗容器。为了解决上述存在的技术问题,本实用新型采用下述技术方案包括有上筛网、下部筛网,所述下部筛网是一面敞开的容器。本实用新型的进一步改进有,上述下部筛网包括侧壁筛网、容器侧壁支柱、底部筛网,其截面呈圆柱形。在所述下部筛网敞开的一端设置上筛网。所述上筛网的尺寸要大于所述下部筛网的尺寸。上筛网与下部筛网是可分离的。本实用新型的进一步改进还有,上述上筛网、所述侧壁筛网与底部筛网的网孔采用正六边形。上述上筛网、所述侧壁筛网与所述底部筛网的网孔采用正四边形。本容器的筛网根据晶粒的规格具体制定,同时筛网的网孔形状应适应正四边形和正六边形的晶粒要求。在所述侧壁筛网上设置至少两根所述容器侧壁支柱。这样就加强了筛网的强度。工作原理利用上筛网(在容器上部)对倒入的晶粒进行初步的筛选,主要是将连在一起未分开的晶粒筛选出,上筛网可以单独取出,筛选出的连在一起的晶粒进行再次分割。容器的四壁及底部均采用筛网覆盖,可以保证合适规格的晶粒留在筛网内,小规格的筛选出筛网。本容器与超声清洗设备配合,在超声清洗槽内注入清洗液后,用支架将本容器悬于清洗液内,开启超声后对晶粒进行全方位的超声清洗。筛网与清洗容器结合,极大的节省了挑选晶粒的人工,同时本清洗容器在筛选合适的晶粒后,清洗晶粒过程可以使晶粒悬于清洗液内,进行全方位的超声振荡清洗,清洗效果极好。由此可见,本实用新型与现有技术相比,具有实质性特点和进步,其实施的有益效
3果也是显而易见的。
图1为本实用新型具体实施方式
的结构示意图。图2为上筛网俯视图。图中,1为上筛网,2为侧壁筛网,3为侧壁支柱,4为底部筛网。
具体实施方式
为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过一个具体实施方式
,并结合其附图,对本方案进行阐述。通过附图1附图2可以看出,本方案提供了一种晶粒筛选清洗容器,包括有上筛网 1、下部筛网,下部筛网是一面敞开的容器。下部筛网包括侧壁筛网2、容器侧壁支柱3、底部筛网4,其截面呈圆柱形。在下部筛网敞开的一端设置上筛网1。上筛网1的尺寸要大于下部筛网的尺寸。上筛网1、侧壁筛网2与底部筛网4的网孔采用正六边形。上筛网1、侧壁筛网2与底部筛网4的网孔采用正四边形。侧壁筛网2上设置所述容器侧壁支柱3。上网筛的网孔按照晶粒最大宽度的1. 5倍左右设置。下部筛网的筛网孔径按照晶粒宽度的0.9倍左右设置。容器仅在圆周上设置四根支柱。本实用新型未经描述的技术特征可以通过现有技术实现,在此不再赘述。当然,上述说明并非是对本实用新型的限制,本实用新型也并不仅限于上述举例,本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换,也应属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.晶粒筛选清洗容器,包括有上筛网(1)、下部筛网,其特征在于所述下部筛网是一面敞开的容器。
2.根据权利要求1所述的筛选晶粒清洗容器,其特征在于所述下部筛网包括侧壁筛网(2)、容器侧壁支柱(3)、底部筛网(4),其截面呈圆柱形。
3.根据权利要求1所述的晶粒筛选清洗容器,其特征在于在所述下部筛网敞开的一端设置上筛网(1)。
4.根据权利要求1或3所述的晶粒筛选清洗容器,其特征在于所述上筛网(1)的尺寸要大于所述下部筛网的尺寸。
5.根据权利要求1或2所述的晶粒筛选清洗容器,其特征在于所述上筛网(1)、所述侧壁筛网(2 )与底部筛网(4 )的网孔采用正六边形。
6.根据权利要求1或2所述的晶粒筛选清洗容器,其特征在于所述上筛网(1)、所述侧壁筛网(2)与所述底部筛网(4)的网孔采用正四边形。
7.根据权利要求2所述的晶粒筛选清洗容器,其特征在于在所述侧壁筛网(2)上设置至少两根所述容器侧壁支柱(3 )。
专利摘要本实用新型涉及的是电子元器件技术领域,尤其是一种晶粒筛选清洗容器。本实用新型公开了一种晶粒筛选清洗容器,包括有上筛网(1)、下部筛网,其特征在于所述下部筛网是一面敞开的容器。由于在该方案中,筛网与清洗容器结合,极大的节省了挑选晶粒的人工,同时清洗容器在筛选合适的晶粒后,清洗晶粒过程可以使晶粒悬于清洗液内,进行全方位的超声振荡清洗,清洗效果极好。
文档编号B07B1/46GK201940364SQ20112001454
公开日2011年8月24日 申请日期2011年1月18日 优先权日2011年1月18日
发明者吕明, 李秉永, 郭城 申请人:山东科芯电子有限公司
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