一种用于拾取微型芯片的吸嘴装置及分选装置的制作方法

文档序号:18932657发布日期:2019-10-22 20:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于拾取微型芯片的吸嘴装置,包括有上下贯通的吸嘴(1),其特征在于:所述的吸嘴(1)内设有若干条相互独立且贯穿吸嘴(1)上下两端的气道(11),各气道(11)在吸嘴(1)下端的开口呈m*n矩阵状分布(m≥2,n≥1,m、n取整数),而各气道(11)在吸嘴(1)上端的开口呈1*k或2*k/2矩阵状分布(k=m*n),吸嘴(1)的上端罩设有密闭的真空罐体(2),所述的真空罐体(2)内且位于各气道(11)的上端开口处均设有的阀体(3),各气道(11)的通气量可通过调节对应阀体(3)与气道(11)的上端开口间隙来改变。

2.根据权利要求1所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,其特征在于:所述气道(11)在吸嘴(1)上端的开口呈1*k矩阵状分布。

3.根据权利要求2所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,其特征在于:所述的吸嘴(1)为塑料件,吸嘴的下半段经过加热软化后给予拉伸处理。

4.根据权利要求2或3所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,其特征在于:真空罐体(2)内设有k个压电陶瓷体(4),压电陶瓷体(4)的形变方向为水平设置,所述的阀体(3)为条形片状且为水平设置,压电陶瓷体(4)的形变端与阀体(3)固接。

5.根据权利要求4所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,其特征在于:所述的阀体(3)为Z字型结构。

6.根据权利要求2或3所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,其特征在于:真空罐体(2)内设有k个压电陶瓷体(4),压电陶瓷体(4)的伸缩轴为竖直设置,真空罐体(2)内还设有k根铰链杆(5),铰链杆(5)的铰接处位于自身杆体的中部,且铰接轴为水平固定设置,铰链杆(5)的一端与压电陶瓷体(4)的形变端连接,铰链杆(5)的另一端与阀体(3)连接。

7.根据权利要求6所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,其特征在于:所述的真空罐体(2)内固定有水平分布且弧形的铰接条(51),弧形开口朝阀体(3)设置,铰链杆(5)铰接在铰接条(51)上。

8.一种分选装置,它包括有第一运动台(6)、第二运动台(7)和摆臂(8),所述摆臂(8)为沿竖直轴向转动设置,同时摆臂(8)还可以沿该转轴上下运动设置,摆臂(8)的末端设有吸嘴装置,其特征在于:所述的吸嘴装置为权利要求1~7任意一项所述的用于拾取微型芯片的吸嘴装置,吸嘴装置可随摆臂(8)移动至第一运动台(6)和第二运动台(7)的上方区域,第一运动台(6)和第二运动台(7)均为可在二维平面内自由移动的XY轴联动平台。

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