专利名称：一种碳化硅切割液及其使用方法
技术领域：
本发明涉及一种硅片切割辅料技术领域，特别是涉及一种碳化硅切割液及其使用方法。
背景技术：
硅片是半导体、太阳能以及液晶显示等行业的基础材料，分为单晶硅片和多晶硅片，其原料为单晶硅或多晶硅，经过铸锭炉拉成硅锭，再切成硅棒，之后使用线切割机加工成各种规格的硅片。线切割机加工过程中需配制切割液，再混合碳化硅制成砂浆，随后使用砂浆对硅片进行切割。聚乙二醇(PEG)因其浸润性好、空间位阻效应强等特点对碳化硅(SiC)类磨料具有优良的分散特性，因而在硅片加工过程起着无可替代的作用。PEG的浸润性和空间位阻效应主要依靠其分子结构中的多羟基基团来实现的，并且PEG分子中羟基数量越多、分子链节越长，其浸润性和空间位阻效应将越强。聚乙二醇(PEG)切割液是以PEG为主成分的产品，是目前市场上主导的切割液。该类产品具有无毒、无刺激，具有良好的水溶性，并有与许多有机物组分有良好的相容性等特点，该产品具有高悬浮力、高润滑性及高分散特性，将 SiC等切割磨料均勻地附着在切割钢丝线上，并通过钢丝快速的运动来带动磨料从而实现对硅片的切割成片加工。PEG属非离子型聚合物，在正常条件下是稳定的，但当温度升至300°C左右时，分子链节发生断裂而降解，分子量相应降低。而多线切割机在切割硅棒的过程中，会产生大量的磨削热，据相关研究得知，在磨削表层形成的温度梯度可达600 1000°C。在我们的实际测试中得知，PEG 205新液的平均分子量约270 280，而切割后的回收液平均分子量约 230 240，分子结构的变化将务必会影响PEG的空间位阻效应，导致对SiC类磨料的分散性降低，从而影响切割效果。PEG的高温裂解反应是先通过部分PEG均相裂解产生自由基，再通过自由基连锁反应引发其它的聚合物分子也产生裂解反应来实现的，其裂解过程和自由基引发反应过程如下所示PEG高温裂解过程自由基引发反应
其中
权利要求
1.一种碳化硅切割液，含有聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液中的一种， 其特征在于，还含有多酚类化合物。
2.根据权利要求1所述的切割液，其特征在于，所述多酚类化合物为原花青素类、黄酮类、单宁类、酚酸类、花色苷类中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的切割液，其特征在于，所述多胺醇切割液为三乙醇胺切割液、 三异丙醇胺切割液和三己醇胺切割液中的一种。
4.根据权利要求1所述的切割液，其特征在于，所述多酚类化合物在聚乙二醇切割液、 二甘醇切割液和多胺醇切割液其中一种中的重量百分比为0. 5.0%。
5.一种碳化硅切割液的使用方法，其特征在于包括以下步骤(1)各组分称量将多酚类化合物和碳化硅分别进行称量；(2)称量切割液聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液中的一种；(3)配制砂浆取步骤(1)中所称量的多酚类化合物、添加入聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液中其中一种中，充分搅拌下溶解，然后加入碳化硅搅拌，制得砂浆。
6.根据权利要求5所述的使用方法，其特征在于，步骤(1)中多酚类化合物在聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液其中一种中的重量百分比为0. 5.0%。
7.根据权利要求5所述的使用方法，其特征在于，步骤(3)中混合比例为碳化硅聚乙二醇切割液=0. 8 1. 2KG IL0
8.根据权利要求5所述的使用方法，其特征在于，步骤(3)中混合比例为碳化硅二甘醇切割液=0. 8 1. 2KG IL0
9.根据权利要求5所述的使用方法，其特征在于，步骤(3)中混合比例为碳化硅多胺醇切割液=0. 8 1. 2KG IL0
10.根据权利要求5所述的使用方法，其特征在于，步骤(3)中进行充分搅拌时，搅拌时间为12 18小时。
全文摘要
本发明公开了一种碳化硅切割液及其使用方法，通过采用多酚类化合物添加入PEG切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液其中一种中，可起到清除多线切割过程中少量PEG、二甘醇和多胺醇裂解产生的自由基的作用，阻止发生自由基链式反应，从而稳定整体其分子结构和分子量。本发明设计合理、使用过程简单、操作方便、使用效果好且实用价值高，能解决现有硅片切割液存在的污染较严重、污片率较高的缺陷。
文档编号C10M159/00GK102433191SQ20111032583
公开日2012年5月2日 申请日期2011年10月24日 优先权日2011年10月24日
发明者付红平, 刘宁, 刘渝龙, 章金兵 申请人:江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司