专利名称：一种金刚石线切割液及其制备方法
技术领域：
本发明涉及一种硅片切割辅料技术领域，特别是涉及一种金刚石线切割液及其制备方法。
背景技术：
硅片是半导体、太阳能以及液晶显示等行业的基础材料，分为单晶硅片和多晶硅片，其原料为单晶硅或多晶硅，经过铸锭炉拉成硅锭，再切成硅棒，之后使用线切割机加工成各种规格的硅片。丙二醇(简写PG)，具有优良的润滑性和冷却性能，可用作金钢石线切割液，占切割液比例约65% 75% (其余成分主要是水)。PG的浸润性和空间位阻效应主要依靠其分子结构中的多羟基基团来实现的，并且PG分子中羟基数量越多、分子链节越长，其浸润性和空间位阻效应将越强。PG切割液是以PG为主成分的产品，该类产品具有无毒、无刺激， 具有良好的水溶性，并有与许多有机物组分有良好的相容性等特点，该产品具有高悬浮力、 高润滑性及高分散特性，将切割液均勻地附着在切割钢丝线上，并通过钢丝快速的运动来从而实现对硅片的切割成片加工。PG因其摩擦系数小(约0. 28)、比热大(约3J/g · · K)等特点对电镀金钢石切割线具有优良的润滑性和冷却性，因而在金钢石线切割硅片过程中起着非常重要的作用。PG 在正常条件下是稳定的，但当温度升至300°C左右时，分子链节发生断裂而降解，生成甲醛、 乙醛和丙烯醛等，其中甲醛和乙醛在常温下为气态且对人体有毒性，丙烯醛在通常情况下是无色透明有恶臭的液体。而多线切割机在切割硅棒的过程中，会产生大量的磨削热，据相关研究得知，在磨削表层形成的温度梯度可达600 1000°C。在我们的实际测试中得知， PG切割液每次使用量约300L，但最后回收只能得到约270L，即有约10% PG切割液在高温下裂解成其它挥发成分，从而影响切割效果。PG的高温裂解反应是通过均相裂解产生自由基，再通过自自由基连锁反应引发其
它的聚合物分子也产生裂解反应来实现的。其反应过程如下所示
权利要求
1.一种金刚石线切割液，含有丙二醇切割液，其特征在于，还含有多酚类化合物。
2.根据权利要求1所述的切割液，其特征在于，所述多酚类化合物为原花青素类、黄酮类、单宁类、酚酸类、花色苷类中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的切割液，其特征在于，所述多酚类化合物为粉末状。
4.根据权利要求1所述的切割液，其特征在于，所述多酚类化合物在丙二醇切割液中的重量百分比为0. 5.0%。
5.一种金刚石线切割液的制备方法，其特征在于包括以下步骤(1)各组分称量将多酚类化合物和丙二醇切割液分别进行称量；(2)配制金刚石线切割液取步骤(1)中所称量的多酚类化合物、添加入丙二醇切割液中，充分搅拌下溶解，制得金刚石线切割液。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中多酚类化合物在丙二醇切割液中的重量百分比为0. 5.0%。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤O)中进行充分搅拌时，搅拌时间为0. 5 1小时。
全文摘要
本发明公开了一种金刚石线切割液及其制备方法，通过采用多酚类化合物添加入PG切割液中，可起到清除多线切割过程中少量PG裂解产生的自由基的作用，阻止发生自由基链式反应，从而稳定整体PG组成成分。本发明设计合理、使用过程简单、操作方便、使用效果好且实用价值高，能解决现有硅片切割液存在的污染较严重、污片率较高的缺陷。
文档编号C10M159/02GK102433190SQ20111032595
公开日2012年5月2日 申请日期2011年10月24日 优先权日2011年10月24日
发明者付红平, 刘宁, 刘渝龙, 章金兵 申请人:江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司