技术总结
一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，该方法具有以下步骤：‑在结构元件(100)的MEMS元件(5)中或盖元件(6)中构造进入开口(7)；‑连接MEMS元件(5)与盖元件(6)，其中，在MEMS元件(5)和盖元件(6)之间构造至少一个空腔(8a、8b)；‑以及，借助于激光(9)在一个限定的气氛下封闭通到所述至少一个空腔(8a、8b)中的进入开口(7)。
技术研发人员：J·贡斯卡;J·赖因穆特;M·阿梅托沃布拉
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
文档号码：201480075314
技术研发日：2014.12.22
技术公布日：2017.02.22