一种纳米结构定向有序组装装置的制作方法

文档序号:13148357阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种纳米结构定向有序组装装置,其特征在于,包括基底(1)、导管(2)、液体泵(3)、控制器(4)、进液口(5)、阿基米德通道(6)、出液口(7)、移动平台(8)和电机(9),所述基底(1)固定在移动平台(8)的上方,所述阿基米德通道(6)固定在基底(1)上,所述进液口(5)位于基底(1)的中心位置,即阿基米德通道(6)的起始位置,所述出液口(7)位于阿基米德通道(6)的边缘位置,所述导管(2)连接进液口(5)和液体泵(3),所述移动平台(8)和出液口(7)间隔一定距离,能够相对运动,电机(9)位于移动平台(8)侧面,控制移动平台(8)的位置和移动速度,控制器(4)控制液体泵(3)和电机(9)。2.根据权利要求1所述的纳米结构定向有序组装装置,其特征在于,所述基底(1)为微流通道加工的基材硅材料,加工后阿基米德通道(6)表面氧化一层二氧化硅,表现为亲水性。3.根据权利要求1所述的纳米结构定向有序组装装置,其特征在于,所述阿基米德通道(6)由两条具有起始角度差和螺距差的右旋阿基米德螺旋线构成,侧面有一玻璃盖板,阿基米德通道(6)由中心向外螺旋,宽度逐渐减小,阿基米德通道(6)的深度和出液口(7)的宽度根据加工精度来确定,均为1微米以下。
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