包括散热器的流体推动装置的制作方法

技术总结
一种流体推动装置，其包括塑性化合物、至少部分地由所述化合物围绕的MEMS、及紧邻所述MEMS的散热器以用于将热从所述MEMS传递出去，其中所述散热器至少部分地由所述化合物围绕。

技术研发人员：G·E·克拉克;M·W·坎比;陈健华
受保护的技术使用者：惠普发展公司,有限责任合伙企业
技术研发日：2016.02.29
技术公布日：2018.08.03