技术特征：
技术总结
本发明提供一种能够抑制埋入配线中的碟形凹陷的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件的特征在于，具备：配线(46)，其通过在于基板(33)的第一面开口的凹部(47)中埋入导电部(48)而形成；和凸块电极(42)，其与配线电连接，在第一面上的与配线所延伸的第一方向交叉的第二方向上，配线与凸块电极被连接的连接区域内的凹部的开口的总宽度窄于连接区域以外的区域内的凹部的开口宽度。
技术研发人员：高部本规;平井荣树;西面宗英;松本泰幸;田中秀一;依田刚
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：2017.06.23
技术公布日：2018.01.05