技术总结
本发明公开一种减小灌封应力的加速度传感器结构，包括管壳，管壳内设有传感器芯片，传感器芯片包含形成配合的衬底与盖帽，衬底设有可动结构活动空腔，可动结构活动空腔上方设有形成配合的可动电极，衬底顶面设有包围可动结构活动空腔的上环形槽，衬底底面设有与上环形槽同心的下环形槽，下环形槽外径大于上环形槽，所述上、下环形槽在衬底深度方向形成交错；衬底底面四周边缘通过粘接剂与管壳固定连接；管壳与传感器芯片之间填充有灌封料，管壳顶部通过盖板封装；上下交错的环形槽构成弹性应力隔离结构，可以隔离灌封应力的传递路径，避免灌封应力对压阻式加速度传感器敏感结构产生影响，从而有效减小了灌封应力对传感器零位的影响。
技术研发人员：王鹏;徐春叶;郭群英;何凯旋;黄斌;曹卫达
受保护的技术使用者：北方电子研究院安徽有限公司
文档号码：201710688342
技术研发日：2017.08.12
技术公布日：2018.02.09