包含压力传感器电路的封装体和压力传感器封装体的制作方法

文档序号:15422445发布日期:2018-09-11 23:56阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及包含压力传感器电路的封装体和压力传感器封装体。该封装体包括引线框,其具有在所述引线框中间的开口区域并且暴露于环境气氛;MEMS半导体裸片,其与所述引线框相邻,该MEMS半导体裸片的至少一部分暴露于所述环境气氛,至少一部分具有多个孔,多个孔将MEMS半导体裸片的内部空腔暴露于所述环境气氛;第二半导体裸片,其被附接于MEMS半导体裸片;第一多条键合接线,其连接在引线框和第二半导体裸片之间;第二多条键合接线,其至少连接在引线框与MEMS半导体裸片或MEMS半导体裸片与第二半导体裸片中的一者之间;以及模制化合物,其部分覆盖MEMS半导体裸片和引线框并且包封第二半导体裸片和多条键合接线。

技术研发人员:A·卡达格;F·阿雷拉诺;E·小安蒂拉诺
受保护的技术使用者:意法半导体公司
技术研发日:2017.04.27
技术公布日:2018.09.11

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