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隔热平台系统及方法与流程
文档序号:15301052
发布日期:2018-08-31 20:21
阅读:
来源:国知局
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隔热平台系统及方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明提供了一种设备和方法,用于支持机械稳定且隔热的平台,该隔热平台用于需求高隔热的工作样品装置。该设备包括安装底座、基体、及微结构管,微结构管连接安装底座与基体并具有高热阻的内部和高导电性、低热辐射的薄包覆层。辐射反射器可被整合到所述设备中以保护组件及反射红外辐射,装备在真空盖上的吸气剂可被密封到真空头以在所述设备中维持真空环境。
技术研发人员:
林穆宏
受保护的技术使用者:
时立方股份有限公司
技术研发日:
2017.01.27
技术公布日:
2018.08.31
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