技术特征：
技术总结
本发明提供一种用于处理流体的三维(“3D”)结构、一种包含所述三维结构的流体处理装置以及一种制作所述三维结构的方法。所述三维结构包括复合膜层。所述复合膜层包括第一光致抗蚀剂层，不具有疏水性试剂；以及至少一第二光致抗蚀剂层，包含所述疏水性试剂，其中所述复合膜层在所述第一光致抗蚀剂层与所述第二光致抗蚀剂层之间不具有粘附促进层。
技术研发人员：大卫·L·贝尔纳;克里斯多夫·A·克拉夫特;大卫·C·格拉姆;尚恩·T·威佛
受保护的技术使用者：船井电机株式会社
技术研发日：2018.08.14
技术公布日：2019.03.05