1.一种微流体致动器,其特征在于,包含:
一基板,具有一第一表面及一第二表面,借助于蚀刻制程形成一出口沟槽、一进口沟槽、一出流孔洞、多个第一进流孔洞以及一第二进流孔洞,该出口沟槽与该出流孔洞相连通,该进口沟槽与该多个第一进流孔洞以及该第二进流孔洞相连通;
一腔体层,借助于沉积制程形成于该基板的该第一表面上,且借助于蚀刻制程形成一储流腔室,该储流腔室与该出流孔洞、该多个第一进流孔洞以及该第二进流孔洞相连通;
一振动层,借助于沉积制程形成于该腔体层上;
一下电极层,借助于沉积制程及蚀刻制程形成于该振动层上;
一压电致动层,借助于沉积制程及蚀刻制程形成于该下电极层上;
一上电极层,借助于沉积制程及蚀刻制程形成于该压电致动层上;
一孔板层,借助于蚀刻制程形成一出流口以及一进流口;以及
一流道层,借助于一干膜材料滚压制程形成于该孔板层之上,借助于光刻制程形成一出流通道、一进流通道以及多个柱状结构,借助于覆晶对位制程与热压制程接合于该基板的该第二表面,该孔板层的该出流口借由该出流通道与该基板的该出口沟槽相连通,该孔板层的该进流口借由该进流通道与该基板的该进口沟槽相连通;
其中,提供具有不同相位电荷的驱动电源至该上电极层以及该下电极层,以驱动并控制该振动层产生上下位移,使流体自该进流口吸入,通过该多个第一进流孔洞以及该第二进流孔洞流至该储流腔室,最后受挤压经由该出流孔洞后自该出流口排出以完成流体传输。
2.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,流体自该进流口吸入后,依序通过该进流通道、该进口沟槽以及该多个第一进流孔洞与该第二进流孔洞流进入该储流腔室。
3.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该储流腔室中的流体受挤压后依序通过该出流孔洞、该出口沟槽以及该出流通道后自该出流口排出。
4.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该多个柱状结构形成于该进流通道内。
5.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该基板为一硅基材。
6.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该腔体层为一二氧化硅材料。
7.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该下电极层为一铂金属材料。
8.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该下电极层为一钛金属材料。
9.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该上电极层为一金金属材料。
10.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该上电极层为一铝金属材料。
11.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该基板借助于深反应性离子蚀刻制程形成该出流孔洞、该多个第一进流孔洞以及该第二进流孔洞。
12.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该腔体层借助于氢氟酸湿蚀刻制程形成该储流腔室。
13.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该孔板层为一不锈钢材料。
14.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该孔板层为一玻璃材料。
15.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,该流道层的该干膜材料为一感光型高分子干膜。
16.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,施加正电压给该上电极层以及负电压给该下电极层,使得该压电致动层带动该振动层朝向远离该基板的方向位移。
17.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于,施加负电压给该上电极层以及正电压给该下电极层,使得该压电致动层带动该振动层朝向靠近该基板的方向位移。
18.如权利要求1所述的微流体致动器,其特征在于:
施加正电压给该上电极层以及负电压给该下电极层,使得该压电致动层带动该振动层朝向远离该基板的方向位移,使外部流体由该进流口被吸入至该微流体致动器内,而进入该微流体致动器内的流体,依序通过该进流通道、该进口沟槽、以及该多个第一进流孔洞与该第二进流孔洞流,再汇集于该储流腔室内;以及
转换该上电极层以及该下电极层的电性,施加负电压给该上电极层以及正电压给该下电极层,该振动层朝向靠近该基板的方向位移,使该储流腔室内体积受该振动层压缩,致使汇集于该储流腔室内的流体得以依序通过该出流孔洞、该出口沟槽以及该出流通道后自该出流口排出于该微流体致动器外,完成流体的传输。