微型流路器件的制作方法

本公开涉及一种微型流路器件。

背景技术：

已知有具有由多个流路部件划定形成的被称为微型流路的微米级宽度的流路的器件(以下，称为“微型流路器件”。)。例如，日本专利第5700460号公报、日本专利第5771962号公报中公开有在微型流路内培养细胞的细胞培养器件或作为微型流路芯片使用了微型流路器件的结构。并且，日本专利第5415538号公报中公开有作为具有微型流路(微通道)的器官模仿装置使用了微型流路器件的结构。

技术实现要素：

发明要解决的技术课题

在日本专利第5700460号公报中所公开的细胞培养器件中，划定形成作为微型流路的培养室的作为流路部件的一对基板彼此通过吸附(自吸附)而相互接合。并且，在日本专利第5771962号公报中所公开的微型流路芯片中，划定形成作为微型流路的流路的作为流路部件的三个基材通过阳极接合或压接等方法相互接合。

而且，在日本专利第5415538号公报中所公开的器官模仿装置中，划定形成作为微型流路的微通道的作为流路部件的一对外体部分彼此通过附着剂或环氧树脂等粘接剂相互粘接。

然而，当通过由粘接剂粘接来接合流路部件彼此时，粘接剂成分流入微型流路内，从而存在对微型流路内的溶液或细胞等造成影响的可能性。并且，当通过压接或吸附来接合流路部件彼此时，流路部件彼此的接合强度较低，从而存在无法确保所需的接合强度的可能性。

考虑到上述情况，本公开提供一种能够抑制流路部件的接合强度的下降并且能够防止粘接剂成分流入微型流路内的微型流路器件。

用于解决技术课题的手段

本公开的第1方式为微型流路器件，其具有：流路单元，由沿厚度方向层叠而划定形成微型流路的多个流路部件构成，并且至少一个流路部件由弹性材料制成；及保持部件，与流路单元分体或一体设置，且将流路单元以沿厚度方向压缩的状态来保持。

根据本公开的第1方式，通过将流路单元用保持部件来保持，接合构成流路单元的流路部件彼此。因此，第1方式的微型流路器件与分别通过粘接剂来粘接构成流路单元的多个流路部件的结构相比，能够防止粘接剂成分流入微型流路内。

并且，构成流路单元的流路部件中至少一个流路部件由弹性材料制成，流路单元通过保持部件以沿厚度方向压缩的状态被保持。因此，第1方式的微型流路器件与通过吸附或压接来接合流路部件彼此的结构相比，能够提高流路部件彼此的接合强度。

本公开的第2方式在第1方式中，可以是如下，即，保持部件为设置于流路单元的厚度方向上的两端且分别形成有沿厚度方向贯穿的多个螺栓孔的一对保持板，一对保持板通过分别插入贯通于螺栓孔的螺栓而相互接合。

根据本公开的第2方式，保持部件由设置于流路单元的厚度方向上的两端的一对保持板制成，因此能够通过一对保持板夹持并保持流路部件。并且，在一对保持板中形成有多个螺栓孔，并且通过插入贯通于螺栓孔的多个螺栓接合保持板彼此。因此，第2方式的微型流路器件能够轻松地接合保持板彼此，并且与通过粘接剂粘接的结构相比，能够防止粘接剂成分流入微型流路内。

本公开的第3方式在第1方式中，可以是如下，即，保持部件为设置于流路单元的厚度方向上的两端的一对保持板，一对保持板通过将形成于其中一个保持板的卡止凸起卡止到形成于另一个保持板的被卡止部而相互接合。

根据本公开的第3方式，通过将形成于其中一个保持板的卡止凸起卡止到形成于另一个保持板的被卡止部，能够接合保持板彼此。因此，第3方式的微型流路器件与通过螺栓接合保持板彼此的结构相比，能够减少部件件数。

本公开的第4方式在第1方式中，可以是如下方式，即，保持部件为设置于流路单元的厚度方向上的两端的一对保持板，一对保持板通过基于焊接或粘接剂的粘接而相互接合。

根据本公开的第4方式，通过焊接或粘接接合保持板彼此，因此能够减少部件件数。并且，第4方式的微型流路器件与通过粘接剂粘接流路部件彼此的结构相比，能够防止粘接剂成分流入微型流路内。

本公开的第5方式在第2至第4方式中，可以是如下，即，一对保持板与流路单元分体设置，且设为覆盖流路单元的厚度方向上的两端面整体的大小。

根据本公开的第5方式，保持板与流路单元分体设置且设为覆盖流路单元的厚度方向上的两端面的大小。因此，第5方式的微型流路器件能够更均匀地压缩由弹性材料制成的流路部件整体，从而能够进一步提高流路部件彼此的接合强度。

本公开的第6方式在第2至第5方式中，可以是如下，即，在一对保持板之间的流路单元的周围设置有规定一对保持板的间隔的至少一个间隔物。

根据本公开的第6方式，在保持板之间设置有间隔物。因此，第6方式的微型流路器件能够通过间隔物规定保持板的间隔，从而能够更均匀地压缩由弹性材料制成的流路部件整体。

本公开的第7方式在第1至第6方式中，可以是如下，即，在构成流路单元的流路部件之间配置有多孔膜，相对于被保持部件夹持而压缩之前的流路单元的压缩后的流路单元的厚度方向的变形量大于多孔膜的厚度，且小于微型流路的高度。

通常，当在流路部件之间配置有多孔膜时，流路部件彼此的接合变得特别困难。具体而言，当通过粘接剂粘接流路部件彼此时，粘接剂经由多孔膜容易流入微型流路内，并且，当通过吸附或焊接接合流路部件彼此时，存在多孔膜损伤的可能性。

在此，根据本公开的第7方式，通过保持部件压缩保持流路单元，因此能够防止粘接剂向微型流路流出，并且能够抑制多孔膜的损伤。并且，第7方式的微型流路器件的流路部件的厚度方向的变形量大于多孔膜的厚度，且小于微型流路的高度，因此能够抑制流路部件之间的多孔膜的周围留出间隙，并且能够抑制微型流路被压缩而堵塞。

本公开的第8方式在第1至第7方式中，可以是如下，即，由弹性材料制成的流路部件的基于jisk6253的a型硬度计的橡胶硬度设为20度以上且80度以下。

根据本公开的第8方式，由弹性材料制成的流路部件的基于jisk6253的a型硬度计的橡胶硬度设为20度以上且80度以下。因此，第8方式的微型流路器件与流路部件的橡胶硬度大于80度的情况相比，能够提高流路部件彼此的接合强度，与流路部件的橡胶硬度小于20度的情况相比，能够抑制微型流路被压缩而变形或堵塞。

本公开的第9方式在第1至第8方式中，流路单元的厚度方向的变形量为0.1μm以上且500μm以下。

从流路部件彼此的接合强度及微型流路的形状变形等观点考虑，流路单元的厚度方向的变形量优选设为0.1μm以上且500μm以下。

本公开的第10方式在第1至第9方式中，保持部件是基于jisk6253的a型硬度计的橡胶硬度为80度以上的保持板。

根据本公开的第10方式，保持部件设为基于jisk6253的a型硬度计的橡胶硬度为80度以上的保持板。因此，第10方式的微型流路器件与保持板的橡胶硬度小于80度的情况相比，能够更有效地进行流路部件向厚度方向的压缩，从而能够提高流路部件彼此的接合强度。

发明效果

根据上述方式，本公开的微型流路器件能够防止流路部件的接合强度的下降并且能够防止粘接剂成分流入微型流路内。

附图说明

图1是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的整体结构的立体图。

图2是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的整体结构的分解立体图。

图3是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的多孔膜的俯视图。

图4是图3中的b-b线剖视图。

图5是表示流路单元压缩之前的微型流路器件的图1中的a-a线剖视图。

图6是表示流路单元压缩之后的微型流路器件的图1中的a-a线剖视图。

图7是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的制作工序的剖视图。

图8是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的制作工序的剖视图。

图9是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的制作工序的剖视图。

图10是表示本例示的实施方式中的微型流路器件的制作工序的剖视图。

图11是表示变形例中的微型流路器件的剖视图。

图12是表示变形例中的微型流路器件的剖视图。

具体实施方式

以下，利用图1～10对本公开例示的实施方式的一例进行说明。另外，以下例示的实施方式为例示本公开的实施方式，而不是限制本公开的范围的实施方式。并且，为了便于说明各结构，适当变更了图中的各结构的尺寸。因此，图中的缩尺与实际不同。

＜流路单元＞

如图1、图2所示，本例示的实施方式的微型流路器件10具有由沿厚度方向层叠的上侧流路部件12及下侧流路部件14构成的流路单元16。作为一例，上侧流路部件12及下侧流路部件14优选由pdms(聚二甲基硅氧烷)等弹性透明的材料构成。

另外，作为构成上侧流路部件12及下侧流路部件14的材料，除了pdms(聚二甲基硅氧烷)以外，还可以举出环氧系树脂、氨基甲酸酯系树脂、苯乙烯热塑性弹性体、烯烃热塑性弹性体、丙烯酸热塑性弹性体及聚乙烯醇等。

在此，上侧流路部件12及下侧流路部件14的橡胶硬度优选设为20度以上且80度以下，进一步优选设为50度以上且70度以下。用jisk6253：2012中规定的方法，通过a型硬度计测量上侧流路部件12及下侧流路部件14的硬度，由此能够评价“橡胶硬度”。

如图2所示，在上侧流路部件12的下表面即与下侧流路部件14的对置面12a形成有划定形成上侧微型流路18的凹部20。凹部20具有流入口20a、流出口20b及连通流入口20a与流出口20b的流路部20c。并且，在上侧流路部件12中分别形成有沿厚度方向贯穿上侧流路部件12且下端与流入口20a及流出口20b连通的贯穿孔22a、22b。

相同地，在下侧流路部件14的上表面即与上侧流路部件12的对置面14a形成有划定形成下侧微型流路24的凹部26。凹部26具有流入口26a、流出口26b及连通流入口26a与流出口26b的流路部26c。

在此，下侧流路部件14的流入口26a及流出口26b设置于在俯视观察下不与上侧流路部件12的流入口20a及流出口20b重叠的位置。另一方面，下侧流路部件14的流路部26c设置于在俯视观察下与上侧流路部件12的流路部20c重叠的位置。

并且，在上侧流路部件12中分别形成有沿厚度方向贯穿上侧流路部件12且下端与下侧流路部件14的流入口26a及流出口26b连通的贯穿孔28a、28b。而且，在流路单元16(上侧流路部件12及下侧流路部件14)的外周面，在配置后述的间隔物46的位置上分别设置有凹部29。

＜多孔膜＞

在上侧流路部件12及下侧流路部件14的对置面12a、14a之间配置有多孔膜30。作为一例，多孔膜30由可溶解于疏水性有机溶剂的疏水性聚合物制成。另外，疏水性有机溶剂是溶解度相对于25℃的水为10(g/100g水)以下的液体。

作为疏水性聚合物，可举出聚苯乙烯、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯、聚丙烯酰胺、聚甲基丙烯酰胺、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚偏二氟乙烯、聚六氟丙烯、聚乙烯醚、聚乙烯基咔唑、聚乙酸乙烯酯、聚四氟乙烯、聚酯(例如，聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚乙二醇丁二酸酯、聚丁二酸丁二醇酯、聚乳酸、聚3-羟基丁酸酯等)、聚内酯(例如，聚己内酯等)、聚酰胺或聚酰亚胺(例如，尼龙、聚酰胺酸等)、聚氨酯、聚脲、聚丁二烯、聚碳酸酯、多环芳烃、聚砜、聚醚砜、聚硅氧烷衍生物及纤维素酰化物(例如，三乙酰纤维素、乙酸丙酸纤维素、乙酸丁酸纤维素)等聚合物。

从对溶剂的溶解性、光学物性、电物性、膜强度、弹性等观点考虑，根据需要，这些聚合物可以是均聚物、共聚物、共混聚合物或聚合物合金。并且，这些聚合物可以单独使用一种或组合两种以上使用。另外，多孔膜30的材料并不限于疏水性聚合物，从细胞的粘接性的观点等考虑，能够选择各种材料。

多孔膜30的上表面30a及下表面30b(以下，有时将上表面30a及下表面30b统称为主表面)设为大致覆盖上侧微型流路18及下侧微型流路24的流路部20c、26c的大小，且隔开上侧微型流路18与下侧微型流路24。

具体而言，多孔膜30的上表面30a即面对上侧流路部件12的主表面一同划定形成上侧流路部件12的凹部20及上侧微型流路18，多孔膜30的下表面30b即面对下侧流路部件14的主表面一同划定形成下侧流路部件14的凹部26及下侧微型流路24。

如图3、图4所示，在多孔膜30中形成有沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔32，在多孔膜30的上表面30a及下表面30b分别设置有贯穿孔32的开口32a。并且，如图3所示，开口32a设为在俯视观察下呈圆形状。开口32a彼此相互分开设置，平坦部34在相邻的开口32a之间延伸。另外，开口32a并不限于圆形状，也可以设为多边形状或椭圆形状。

多个开口32a有序配置，在本例示的实施方式中，作为一例，配置成蜂窝状。蜂窝状配置是指，以平行六边形(优选正六边形)或与其相似的形状为单位，开口32a的中心位于这些图形的顶点及对角线的交点上的配置。在此，“开口的中心”是指开口32a在俯视观察下的中心。

另外，开口32a的配置并不限于蜂窝状，也可以设为格栅状或面心格栅状。格栅状的配置是指，以平行四边形(当然，包含正方形、长方形、菱形。优选正方形)或与其相似的形状为单位，开口的中心位于这些图形的顶点上的配置。面心格栅状的配置是指，以平行四边形(当然，包含正方形、长方形、菱形。优选正方形)或与其相似的形状为单位，开口的中心位于这些图形的顶点及对角线的交点上的配置。

如图4所示，多孔膜30的贯穿孔32设为切除了球体的上端及下端的球截形状。并且，彼此相邻的贯穿孔32彼此在多孔膜30的内部通过连通孔36连通。

一个贯穿孔32优选与相邻的所有贯穿孔32连通，如本例示的实施方式，当多个贯穿孔32的开口32a配置成蜂窝状时，一个贯穿孔32通过六个连通孔36分别与相邻的六个贯穿孔32连通。另外，贯穿孔32也可以设为桶形状、圆柱形状或多边柱形状等，并且，连通孔36也可以设为连结相邻的贯穿孔32彼此的筒状空隙。

另外，当将本例示的实施方式的微型流路器件10用作细胞培养器件等时，多孔膜30的至少主表面的细胞被种植的区域优选被选自由纤连蛋白、胶原蛋白(例如，i型胶原蛋白、iv型胶原蛋白或v型胶原蛋白)、层粘蛋白、玻连蛋白、明胶、珍珠聚糖、巢蛋白、蛋白聚糖、骨桥蛋白、腱生蛋白、肾连蛋白、基底膜基质胶及聚赖氨酸组成的组中的至少一种包覆。通过包覆多孔膜30，能够提高细胞的粘接性。

并且，当将本例示的实施方式的微型流路器件10用作器官模拟装置等时，优选在多孔膜30的主表面设置构成模拟对象的器官的细胞层。通过在多孔膜30的主表面设置细胞层，能够将上侧微型流路18内及下侧微型流路24内设为与模拟对象的器官内近似的环境。

作为制作形成有贯穿孔32的多孔膜30的方法，例如除了纳米印刷法或结露法以外，还可以举出蚀刻法、喷砂法及冲压成型等方法。纳米印刷法是指，在具有凹凸形状的模具中浇注构成多孔膜30的材料或通过将模具按压到构成多孔膜30的材料而制作贯穿孔32的方法。并且，结露法是指，使构成多孔膜30的材料的表面结露并将水滴作为模具来形成贯穿孔32的方法。

与其他方法相比，结露法能够使多孔膜30的膜厚变薄，并且能够加大孔隙率或开口32a的开口率，并且，在多孔膜30内能够设置连通孔36。因此，在本例示的实施方式中，通过结露法制作多孔膜30。例如，在日本专利第4945281号公报、日本专利第5422230号公报、日本专利公开2011-74140号公报及日本专利第5405374号公报中记载有结露法的详细内容。

＜保持部件＞

如图1、图2所示，微型流路器件10具有将流路单元16以沿厚度方向压缩的状态来保持的作为保持部件的一对保持板38。一对保持板38在流路单元16的厚度方向上的两端即上侧流路部件12的上侧及下侧流路部件14的下侧与流路单元16分体设置，且设为覆盖上侧流路部件12的上表面整体及下侧流路部件14的下表面整体的大小。

保持板38优选由硬质且透明的高分子材料构成。因此，作为保持板38的构成材料，可举出环烯烃聚合物、丙烯酸、聚碳酸酯、聚苯乙烯及聚对苯二甲酸乙二酯等。并且，保持板38优选硬于上侧流路部件12及下侧流路部件14，而且，橡胶硬度优选为80度以上，更优选为90度以上。

如图2所示，在一对保持板38的彼此对应的位置上分别形成有沿厚度方向贯穿的多个(在本例示的实施方式中为八个)螺栓孔40。并且，在设置于上侧流路部件12的上侧的保持板38中分别形成有分别与上侧流路部件12的贯穿孔22a、22b、28a、28b连通的贯穿孔42a、42b、44a、44b。

另外，在贯穿孔42a、42b、44a、44b分别连接有未图示的软管，溶液或细胞悬浮液等通过软管流入上侧微型流路18及下侧微型流路24，溶液或细胞悬浮液等从上侧微型流路18及下侧微型流路24流出。

在一对保持板38之间的流路单元16的凹部29的外侧分别设置有规定保持板38的间隔的多个(在本例示的实施方式为八个)间隔物46。间隔物46是内径设为与螺栓孔40的内径大致相同的大小的圆筒形状的部件，且分别配置于与螺栓孔40对应的位置。

一对保持板38通过由插入贯通于螺栓孔40及间隔物46并且被螺母48固定的多个螺栓50而相互接合。此时，上侧流路部件12及下侧流路部件14以在其之间夹持多孔膜30的状态被一对保持板38压缩保持。

具体而言，如图5、图6所示，通过被一对保持板38夹持而压缩，流路单元16的厚度从厚于间隔物46高度的厚度t1向与间隔物46的高度相同的厚度即厚度t2发生变化(变形)。

在此，流路单元16的厚度方向的变形量t1-t2优选大于多孔膜30的厚度s，且小于上侧微型流路18的高度h1，并且小于下侧微型流路24的高度h2。

更具体而言，从上侧流路部件12与下侧流路部件14的接合强度以及上侧微型流路18及下侧微型流路24的形状变形等观点考虑，流路单元16的厚度方向的变形量t1-t2优选设为0.1μm以上且500μm以下。并且，流路单元16的厚度方向的变形量t1-t2更优选设为1μm以上且50μm以下。另外，流路单元16的厚度t1例如设为0.5mm～20mm左右。

＜微型流路器件的制作方法＞

若要制作本例示的实施方式的微型流路器件10，则首先准备灭菌纸贴附于主表面的多孔膜30。然后，用镊子剥离多孔膜30的下表面30b的灭菌纸，如图7所示，在形成有凹部26的下侧流路部件14上载置多孔膜30，并接合多孔膜30与下侧流路部件14。由此，通过下侧流路部件14的凹部26与多孔膜30划定形成下侧微型流路24。

接着，用镊子剥离多孔膜30的上表面30a的灭菌纸，并且一边确认显微镜一边对齐上侧流路部件12与下侧流路部件14的位置，如图8所示，将形成有凹部20的上侧流路部件12层叠于多孔膜30上。由此，通过上侧流路部件12的凹部20与多孔膜30划定形成上侧微型流路18。

接着，如图9所示，一边对齐彼此的贯穿孔22a、22b、42a、42b的位置，一边在上侧流路部件12的上表面载置保持板38。然后，翻转流路单元16，并在下侧流路部件14的下表面载置保持板38。

接着，如图10所示，在流路单元16的周围配置间隔物46，并通过螺栓50及螺母48紧固保持板38彼此，由此制作微型流路器件10。另外，上述制作工序为一例，顺序前后颠倒也无妨。并且，在上述工序中追加其他工序也无妨。

根据本例示的实施方式，通过与流路单元16分体的一对保持板38来夹持构成流路单元16的上侧流路部件12及下侧流路部件14，并通过螺栓50接合保持板38彼此，由此接合上侧微型流路18与下侧微型流路24。

因此，也能够轻松地接合保持板38彼此，并且通过粘接剂粘接上侧流路部件12与下侧流路部件14彼此的结构相比，能够防止粘接剂成分流入上侧微型流路18内及下侧微型流路24内。

并且，构成流路单元16的上侧流路部件12及下侧流路部件14由弹性材料制成，且通过保持板38以沿厚度方向压缩的状态被保持。因此，与通过吸附或压接来接合上侧流路部件12与下侧流路部件14的结构相比，能够提高上侧流路部件12与下侧流路部件14的接合强度。

而且，根据本例示的实施方式，保持板38设为覆盖上侧流路部件12的上表面整体及下侧流路部件14的下表面整体的大小。并且，规定保持板38的间隔的多个间隔物46设置于保持板38之间。因此，能够均匀地压缩上侧流路部件12整体及下侧流路部件14整体，从而能够提高上侧流路部件12与下侧流路部件14的接合强度。

并且，通常，当在上侧流路部件12与下侧流路部件14之间配置有多孔膜30时，上侧流路部件12与下侧流路部件14的接合变得特别困难。具体而言，当通过粘接剂粘接上侧流路部件12与下侧流路部件14时，粘接剂变得容易经由多孔膜30流入上侧微型流路18内及下侧微型流路24内。并且，通过吸附或焊接来接合上侧流路部件12与下侧流路部件14时，存在多孔膜30损伤的可能性。

在此，根据本例示的实施方式，通过保持板38压缩保持流路单元16，因此能够防止粘接剂向上侧微型流路18内及下侧微型流路24内流出，并且能够抑制多孔膜30的损伤。

并且，流路单元16的厚度方向的变形量t1-t2大于多孔膜30的厚度s，且小于上侧微型流路18的高度h1，并且小于下侧微型流路24的高度h2。因此，抑制在上侧流路部件12与下侧流路部件14之间的多孔膜30的周围留出间隙，并且能够抑制上侧微型流路18及下侧微型流路24被压缩而堵塞。

尤其在本例示的实施方式中，上侧流路部件12及下侧流路部件14的橡胶硬度设为20度以上且80度以下。因此，与上侧流路部件12及下侧流路部件14的橡胶硬度大于80度的情况相比，能够进一步提高上侧流路部件12与下侧流路部件14的接合强度。并且，与上侧流路部件12及下侧流路部件14的橡胶硬度小于20度的情况相比，能够进一步抑制上侧微型流路18及下侧微型流路24被压缩而变形或堵塞。

＜其他例示的实施方式＞

以上，对本公开例示的实施方式的一例进行了说明，但本公开并不限定于上述，除了上述以外，在不脱离其宗旨的范围内，能够进行各种变形来实施。

在上述例示的实施方式中，微型流路器件10具备由多孔膜30隔开的上侧微型流路18及下侧微型流路24，并且，由以弹性材料制成的上侧流路部件12及下侧流路部件14来构成流路单元16。但是，微型流路器件10也可以不具有多孔膜30，并且，只要构成流路单元16的流路部件中至少一个流路部件由弹性材料构成即可。

具体而言，如图11所示，微型流路器件60的流路单元62也可以由彼此沿厚度方向层叠的上侧流路部件64、中间流路部件66及下侧流路部件68这三个流路部件构成。

在此，上侧流路部件64及下侧流路部件68由非弹性材料制成，仅中间流路部件66由弹性材料制成。并且，通过形成于上侧流路部件64的下表面的凹部64a、形成于中间流路部件66的贯穿孔66a及形成于下侧流路部件68的上表面的凹部68a划定形成有一个微型流路70。

另外，微型流路器件60的其他结构设为与微型流路器件10相同的结构。在图11所示的微型流路器件60中，通过用一对保持板72来夹持流路单元62，沿厚度方向压缩中间流路部件66，从而能够将上侧流路部件64、中间流路部件66及下侧流路部件68相互接合。

并且，在上述例示的实施方式中，彼此通过螺栓50接合的一对保持板38用作保持部件，但保持部件只要设为至少将流路单元16以沿厚度方向压缩的状态来保持的结构即可。

具体而言，如图12所示，微型流路器件80的保持部件也可以具有在上侧流路部件82的上侧与上侧流路部件82分体设置的上侧保持板84及与下侧流路部件86一体设置的下侧保持板88。另外，上侧流路部件82由弹性材料制成，下侧流路部件86由非弹性材料制成。

在此，上侧保持板84具有设为覆盖上侧流路部件82的上表面整体的大小的主表面部84a、从主表面部84a的外周部向下方延伸的下垂部84b及从下垂部84b的下端向内侧突出的卡止凸起84c。另一方面，在下侧保持板88的外周面形成有作为被卡止部的凹部88a。另外，微型流路器件80的其他结构设为与微型流路器件10相同的结构。

在图12所示的微型流路器件80中，在夹持了上侧流路部件82的状态下，通过将形成于上侧保持板84的卡止凸起84c卡止到形成于下侧保持板88的凹部88a，能够将上侧保持板84与下侧保持板88相互接合。因此，与通过螺栓接合上侧保持板84与下侧保持板88的结构相比，能够减少部件件数。

此外，在上述例示的实施方式中，也可以将一对保持板38彼此通过基于焊接或粘接剂的粘接来相互接合。在该情况下，与通过螺栓50接合保持板38彼此的结构相比，能够减少部件件数。并且，与通过粘接剂粘接上侧流路部件12与下侧流路部件14的结构相比，能够抑制粘接剂成分流入上侧微型流路18内及下侧微型流路24内。

并且，在上述例示的实施方式中，在保持板38之间设置有多个间隔物46。但是，间隔物46至少设置一个以上即可，例如也可以将在与螺栓孔40对应的位置分别形成有贯穿孔的一个环状间隔物设置于保持板38之间。

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